一种ITO靶材的抛光清洗方法技术

本发明专利技术公开了一种ITO靶材的抛光清洗方法，包括以下步骤：(1)将绑定后的ITO靶材安装于可使ITO靶材旋转的装置上；(2)使60～100目的金刚海绵刷接触靶材待清洗的表面；(3)粗清洗；(4)用800～1200目的金刚海绵刷替换所述60～100目的金刚海绵刷；(5)精抛光，即得清洗后的ITO靶材。本发明专利技术所述清洗方法通过步骤(3)的粗清洗和步骤(5)的精抛光，选用不同目数的金刚海绵刷，并且控制打磨的压力和速度，达到靶材表面粗糙度的要求。通过本发明专利技术所述清洗方法清洗后的ITO靶材表面粗糙度均匀性好，且Ra＜0.8μm。

【技术实现步骤摘要】
一种ITO靶材的抛光清洗方法
本专利技术涉及溅射靶材的清洗方法，具体涉及一种ITO靶材的抛光清洗方法。
技术介绍
ITO靶材主要做成透明导电薄膜和导电玻璃，作为导电电极，广泛应用在光电显示器件领域，其中最主要的应用领域为平板显示。ITO靶材对表面粗糙度的大小以及粗糙度的一致性有着极高的要求，控制不好，大大降低ITO靶材的品质和应用效果。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术存在的不足之处而提供一种ITO靶材的抛光清洗方法。为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：一种ITO靶材的抛光清洗方法，包括以下步骤：(1)将绑定后的ITO靶材安装于可使ITO靶材旋转的装置上；(2)使60～100目的金刚海绵刷接触靶材待清洗的表面；(3)使所述可旋转的装置的旋转速度为10～25转/min，使所述60～100目的金刚海绵刷与靶材之间的打磨压力为0.2～0.4MPa，使所述60～100目的金刚海绵刷沿靶材轴向往复运动至少1次，所述轴向往复运动的速度为0.2～0.4m/min，沿所述金刚海绵刷的前进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种ITO靶材的抛光清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：/n(1)将绑定后的ITO靶材安装于可使ITO靶材旋转的装置上；/n(2)使60～100目的金刚海绵刷接触靶材待清洗的表面；/n(3)使所述可旋转的装置的旋转速度为10～25转/min，使所述60～100目的金刚海绵刷与靶材之间的打磨压力为0.2～0.4MPa，使所述60～100目的金刚海绵刷沿靶材轴向往复运动至少1次，所述轴向往复运动的速度为0.2～0.4m/min，沿所述金刚海绵刷的前进方向往靶材上滴加异丙醇；/n(4)用800～1200目的金刚海绵刷替换所述60～100目的金刚海绵刷；/n(5)使所述可旋转的装置的旋转速度为30...

【技术特征摘要】
1.一种ITO靶材的抛光清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将绑定后的ITO靶材安装于可使ITO靶材旋转的装置上；
(2)使60～100目的金刚海绵刷接触靶材待清洗的表面；
(3)使所述可旋转的装置的旋转速度为10～25转/min，使所述60～100目的金刚海绵刷与靶材之间的打磨压力为0.2～0.4MPa，使所述60～100目的金刚海绵刷沿靶材轴向往复运动至少1次，所述轴向往复运动的速度为0.2～0.4m/min，沿所述金刚海绵刷的前进方向往靶材上滴加异丙醇；
(4)用800～1200目的金刚海绵刷替换所述60～100目的金刚海绵刷；
(5)使所述可旋转的装置的旋转速度为30～40转/min，使所述800～1200目的金刚海绵刷与靶材之间的打磨压力为0.3～0.5MPa，使所述800～1200目的金刚海绵刷沿靶材轴向往复运动至少1次，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：余芳，文崇斌，童培云，朱刘，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44