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本发明公开了一种ITO靶材的抛光清洗方法，包括以下步骤：(1)将绑定后的ITO靶材安装于可使ITO靶材旋转的装置上；(2)使60～100目的金刚海绵刷接触靶材待清洗的表面；(3)粗清洗；(4)用800～1200目的金刚海绵刷替换所述60～1...
该专利属于先导薄膜材料(广东)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料(广东)有限公司授权不得商用。

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