一种半导体批量测试系统技术方案

本发明专利技术公开了一种半导体批量测试系统，该系统包括：测试板以及直流特性测试装置；所述测试板包括：若干用于放置待检测半导体器件的老化座子以及与所述直流特性测试装置连接的金手指；每一所述老化座子内设置有若干用于为待测试半导体器件提供电压的金属触点；所述直流特性测试装置包括金手指插槽；所述直流特性测试装置通过所述金手指插槽与所述测试板的金手指连接；所述直流特性测试装置，用于根据预设的测试参数对各老化座子上的待检测半导体器件进行直流测试。通过实施本发明专利技术能够对半导体器件进行批量测试，提高测试效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体批量测试系统
本专利技术涉及半导体测试领域，尤其涉及一种半导体批量测试系统。
技术介绍
GaAs半导体器件在研发转量产阶段需要通过可靠性验证。可靠性验证需要对器件的直流特性进行测量，通过对比可靠性试验前后的特性变化，来评估GaAs半导体器件是否通过可靠性验证。目前的GaAs半导体器件可靠性前测、后测都是手动测量，需要手动搭建电源、布置线路来进行器件的直流特性测量。每次只能测量单个器件，测量完成后将线路拆开，再重新装上另一颗器件，最后再进行测试，不断重复。在对大批量器件进行测试时，耗费时间长，效率低下。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种半导体批量测试系统，能够对半导体器件进行批量测试，提高测试效率。本专利技术一实施例提供了一种半导体批量测试系统，包括：测试板以及直流特性测试装置；所述测试板包括：若干用于放置待检测半导体器件的老化座子以及与所述直流特性测试装置连接的金手指；每一所述老化座子内设置有若干用于为待测试半导体器件提供电压的金属触点；所述直流特性测试装置包括金手指插槽；所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体批量测试系统，其特征在于，包括：测试板以及直流特性测试装置；/n所述测试板包括：若干用于放置待检测半导体器件的老化座子以及与所述直流特性测试装置连接的金手指；每一所述老化座子内设置有若干用于为待测试半导体器件提供电压的金属触点；/n所述直流特性测试装置包括金手指插槽；所述直流特性测试装置通过所述金手指插槽与所述测试板的金手指连接；/n所述直流特性测试装置，用于根据预设的测试参数对各老化座子上的待检测半导体器件进行直流测试。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体批量测试系统，其特征在于，包括：测试板以及直流特性测试装置；
所述测试板包括：若干用于放置待检测半导体器件的老化座子以及与所述直流特性测试装置连接的金手指；每一所述老化座子内设置有若干用于为待测试半导体器件提供电压的金属触点；
所述直流特性测试装置包括金手指插槽；所述直流特性测试装置通过所述金手指插槽与所述测试板的金手指连接；
所述直流特性测试装置，用于根据预设的测试参数对各老化座子上的待检测半导体器件进行直流测试。


2.如权利要求1所述的半导体批量测试系统，其特征在于，所述预设测试参数包括：待测试老化座子参数以及测试电压参数；
所述直流特性测试装置，用于根据预设的测试参数对各老化座子上的待检测半导体器件进行直流测试，具体为：
根据所述待测试老化座子参数获取需要施加测试电压的选定老化座子，继而根据所述测试电压参数对所述选定老化座子施加测试电压，对放置在所述选定老化座子上的待检测半导体器件进行直流测试。


3.如权利要求2所述的半导体批量测试系统，其特征在于，所述直流特性测试装置，还包括：可编程程控电源以及数据采集模块；
所述可编程程控电源，用于根据所述待...

【专利技术属性】
技术研发人员：林楹镇，
申请(专利权)人：深圳市时代速信科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44