一种大尺寸硅单晶提渣装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种大尺寸硅单晶提渣装置，涉及单晶加工提渣技术领域。本发明专利技术包括析出坩埚，析出坩埚的四端均焊接有辅助引导滑轨，辅助引导滑轨的外侧滑动连接有配动水冷屏，配动水冷屏的两端固定连接有速冷型水冷屏结构，配动水冷屏的两侧均固定连接有自动化调位支撑结构。本发明专利技术通过自动化调位支撑结构的设计，使得装置便于带动水冷屏进行自动化的高度调节，并便于控制调节高度的具体数值，从而在加最后一桶料后，逐步调整水冷屏位置，析出更多的非硅、难溶物，提高引放成活率，且通过速冷型水冷屏结构的设计，使得装置便于对水冷屏形成高效稳定的制冷温度导出，大大提高了低温渣子析出晶体的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸硅单晶提渣装置
本专利技术涉及单晶加工提渣
，具体为一种大尺寸硅单晶提渣装置。
技术介绍
在单晶提渣加工的过程中，在加最后一桶料后，炉内高温化料，水冷屏位置在上限，由于水冷屏在使用过程中不便于调节高度，导致冷却线在应用过程中无法进行合适的调节，导致坩埚料块熔化过快，料块中的夹杂或表面的非硅、难溶物析出量较少，造成拉晶过程中断线较多，引放成活率偏低，且由于水冷屏在使用过程中自身导的热量循环导出性能较差，析出效率受到影响。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种大尺寸硅单晶提渣装置，以解决了现有的问题水冷屏在使用过程中不便于调节高度，导致冷却线在应用过程中无法进行合适的调节，导致坩埚料块熔化过快，料块中的夹杂或表面的非硅、难溶物析出量较少，造成拉晶过程中断线较多，引放成活率偏低。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种大尺寸硅单晶提渣装置，包括析出坩埚，所述析出坩埚的四端均焊接有辅助引导滑轨，所述辅助引导滑轨的外侧滑动连接有配动水冷屏，所述配动水冷屏的两端固定连接有速冷型水冷屏结构，所述配动水冷屏的两侧均固定连接有自动化调位支撑结构，所述自动化调位支撑结构包括定量推导调节结构和微调高度锁紧定位结构，所述定量推导调节结构的一端固定连接有微调高度锁紧定位结构。优选的，所述定量推导调节结构包括第一定位支撑板、第一电机、螺杆、配动光杆、第二定位支撑板、联动升降动力导出板、第一收折推杆和第二收折推杆，所述第一定位支撑板的一端通过螺钉固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有螺杆，所述第一定位支撑板另一端的一侧焊接有配动光杆，所述配动光杆的另一端焊接有第二定位支撑板，所述螺杆的另一端与第二定位支撑板转动连接，所述第二定位支撑板的两侧转动连接有第一收折推杆，所述螺杆的外侧和配动光杆的外侧活动连接有联动升降动力导出板，所述联动升降动力导出板的两侧转动连接有第二收折推杆，所述第二收折推杆和第一收折推杆交叉转动连接。优选的，所述定量推导调节结构还包括配动滑板、引导光杆、第三定位置板和升降导出板，所述第一收折推杆的顶端转动连接有配动滑板，所述第二收折推杆的顶端转动连接有第三定位置板，所述第三定位置板的顶端焊接有升降导出板，所述升降导出板另一端的底端也焊接有第三定位置板，两个所述第三定位置板之间焊接有引导光杆，所述配动滑板与引导光杆滑动连接。优选的，所述联动升降动力导出板的内部开设有配动通孔和限位通孔，所述限位通孔位于配动通孔的一侧，所述配动通孔与螺杆通过螺纹连接，所述限位通孔与配动光杆为滑动连接。优选的，所述微调高度锁紧定位结构包括引导限位滑块、锁紧定位插孔、第二电机、拨动齿轮轴、延伸L搭载板和液压活塞缸，所述引导限位滑块的一侧开设有锁紧定位插孔，靠近锁紧定位插孔处的所述引导限位滑块的顶端焊接有延伸L搭载板，所述延伸L搭载板的一侧通过螺钉固定连接有液压活塞缸，所述引导限位滑块一端的一侧通过螺钉固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有拨动齿轮轴。优选的，所述微调高度锁紧定位结构还包括锁紧插杆、定位调节齿条和定量锁紧通孔，所述液压活塞缸的输出端固定连接有锁紧插杆，所述引导限位滑块的内部滑动连接有定位调节齿条，所述定位调节齿条的一端与拨动齿轮轴啮合连接，所述定位调节齿条的内部开设有多个定量锁紧通孔，所述锁紧插杆两端分别与锁紧定位插孔及定量锁紧通孔间隙配合。优选的，所述速冷型水冷屏结构包括辅助引导搭载管、导温硅胶、速冷散热循环结构和风力扇，所述辅助引导搭载管的一端通过螺钉固定连接有风力扇，所述辅助引导搭载管的另一端依次固定连接有速冷散热循环结构和导温硅胶。优选的，所述速冷散热循环结构包括水体箱、半导体制冷板、导温基座块、第一抽排泵、导出分流管、温度维持导管、间隙过流散热板和集中回流管，所述水体箱顶端固定连接有半导体制冷板，所述水体箱的内侧固定连接有导温基座块，所述半导体制冷板的底端与导温基座块通过导温垫连接，所述水体箱的一端固定连接有第一抽排泵，所述水体箱的一侧固定连接有第二抽排泵，所述第一抽排泵的输出端焊接有导出分流管，所述导出分流管输出端的底端焊接有多个温度维持导管，所述温度维持导管的外侧焊接有间隙过流散热板，所述温度维持导管的输出端与集中回流管的输入端焊接连接，所述集中回流管的输出端与第二抽排泵焊接连接。优选的，所述温度维持导管的材质和间隙过流散热板的材质均为铜，所述间隙过流散热板的内侧开设有多个过流散温间隙槽。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、本专利技术通过自动化调位支撑结构的设计，使得装置便于带动水冷屏进行自动化的高度调节，并便于控制调节高度的具体数值，从而在加最后一桶料后，逐步调整水冷屏位置，析出更多的非硅、难溶物，提高引放成活率；2、本专利技术通过速冷型水冷屏结构的设计，使得装置便于对水冷屏形成高效稳定的制冷温度导出，大大提高了低温渣子析出晶体的效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术整体的结构示意图；图2为本专利技术整体的侧视图；图3为本专利技术局部的连接示意图；图4为本专利技术自动化调位支撑结构的局部结构示意图；图5为本专利技术定量推导调节结构的局部结构示意图；图6为本专利技术微调高度锁紧定位结构的局部结构示意图；图7为本专利技术速冷型水冷屏结构的局部结构示意图；图8为本专利技术速冷散热循环结构的局部结构示意图。图中：1、析出坩埚；2、辅助引导滑轨；3、配动水冷屏；4、速冷型水冷屏结构；5、自动化调位支撑结构；6、定量推导调节结构；7、微调高度锁紧定位结构；8、第一定位支撑板；9、第一电机；10、螺杆；11、配动光杆；12、第二定位支撑板；13、联动升降动力导出板；14、第一收折推杆；15、第二收折推杆；16、配动滑板；17、引导光杆；18、第三定位置板；19、升降导出板；20、引导限位滑块；21、锁紧定位插孔；22、第二电机；23、拨动齿轮轴；24、延伸L搭载板；25、液压活塞缸；26、锁紧插杆；27、定位调节齿条；28、定量锁紧通孔；29、辅助引导搭载管；30、导温硅胶；31、速冷散热循环结构；32、风力扇；33、水体箱；34、半导体制冷板；35、导温基座块；36、第一抽排泵；37、导出分流管；38、温度维持导管；39、间隙过流散热板；40、集中回流管；41、第二抽排泵。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。请参阅图1-8：一种大尺寸硅单晶提渣装置，包括析出坩埚1，析出坩埚1的四端均焊接有辅助引导滑轨2，辅助引导滑轨2的外侧滑动连接有配动水冷屏3，配动水冷屏3的两端固定连接有速本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大尺寸硅单晶提渣装置，包括析出坩埚(1)，其特征在于：所述析出坩埚(1)的四端均焊接有辅助引导滑轨(2)，所述辅助引导滑轨(2)的外侧滑动连接有配动水冷屏(3)，所述配动水冷屏(3)的两端固定连接有速冷型水冷屏结构(4)，所述配动水冷屏(3)的两侧均固定连接有自动化调位支撑结构(5)，所述自动化调位支撑结构(5)包括定量推导调节结构(6)和微调高度锁紧定位结构(7)，所述定量推导调节结构(6)的一端固定连接有微调高度锁紧定位结构(7)。/n

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸硅单晶提渣装置，包括析出坩埚(1)，其特征在于：所述析出坩埚(1)的四端均焊接有辅助引导滑轨(2)，所述辅助引导滑轨(2)的外侧滑动连接有配动水冷屏(3)，所述配动水冷屏(3)的两端固定连接有速冷型水冷屏结构(4)，所述配动水冷屏(3)的两侧均固定连接有自动化调位支撑结构(5)，所述自动化调位支撑结构(5)包括定量推导调节结构(6)和微调高度锁紧定位结构(7)，所述定量推导调节结构(6)的一端固定连接有微调高度锁紧定位结构(7)。


2.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶提渣装置，其特征在于：所述定量推导调节结构(6)包括第一定位支撑板(8)、第一电机(9)、螺杆(10)、配动光杆(11)、第二定位支撑板(12)、联动升降动力导出板(13)、第一收折推杆(14)和第二收折推杆(15)，所述第一定位支撑板(8)的一端通过螺钉固定连接有第一电机(9)，所述第一电机(9)的输出端固定连接有螺杆(10)，所述第一定位支撑板(8)另一端的一侧焊接有配动光杆(11)，所述配动光杆(11)的另一端焊接有第二定位支撑板(12)，所述螺杆(10)的另一端与第二定位支撑板(12)转动连接，所述第二定位支撑板(12)的两侧转动连接有第一收折推杆(14)，所述螺杆(10)的外侧和配动光杆(11)的外侧活动连接有联动升降动力导出板(13)，所述联动升降动力导出板(13)的两侧转动连接有第二收折推杆(15)，所述第二收折推杆(15)和第一收折推杆(14)交叉转动连接。


3.根据权利要求2所述的一种大尺寸硅单晶提渣装置，其特征在于：所述定量推导调节结构(6)还包括配动滑板(16)、引导光杆(17)、第三定位置板(18)和升降导出板(19)，所述第一收折推杆(14)的顶端转动连接有配动滑板(16)，所述第二收折推杆(15)的顶端转动连接有第三定位置板(18)，所述第三定位置板(18)的顶端焊接有升降导出板(19)，所述升降导出板(19)另一端的底端也焊接有第三定位置板(18)，两个所述第三定位置板(18)之间焊接有引导光杆(17)，所述配动滑板(16)与引导光杆(17)滑动连接。


4.根据权利要求2所述的一种大尺寸硅单晶提渣装置，其特征在于：所述联动升降动力导出板(13)的内部开设有配动通孔和限位通孔，所述限位通孔位于配动通孔的一侧，所述配动通孔与螺杆(10)通过螺纹连接，所述限位通孔与配动光杆(11)为滑动连接。


5.根据权利要求3所述的一种大尺寸硅单晶提渣装置，其特征在于：所述微调高度锁紧定位结构(7)包括引导限位滑块(20)、锁紧定位插孔(21)、第二电机(22)、拨动齿轮轴(23)、延伸L搭载板(24...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨昊，孙伟，李向宇，牛豪超，
申请(专利权)人：弘元新材料包头有限公司，
类型：发明
国别省市：内蒙古;15