气体溶解液制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够将未溶解于气体溶解液的气体再利用来生成高浓度的气体溶解液的气体溶解液制造装置。气体溶解液制造装置(1)具备：气体供给管线(2)，供给作为气体溶解液的原料的气体；液体供给管线(3)，供给作为气体溶解液的原料的液体；气体溶解液生成部(4)，将气体与液体混合而生成气体溶解液；气液分离部(5)，将生成的气体溶解液气液分离为向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体；以及气体溶解部(6)，设置于液体供给管线(4)，且使气液分离后的排出气体溶解于液体。气体溶解部(6)由中空纤维膜构成，该中空纤维膜由气体透过性膜构成。

【技术实现步骤摘要】
气体溶解液制造装置
本专利技术涉及将作为气体溶解液的原料的气体与液体混合而生成气体溶解液的气体溶解液制造装置。
技术介绍
近年，伴随制造过程的复杂化、电路图案的微细化，半导体器件、液晶等电子部件的制造工厂的清洗方法越来越高度集成化。一般地，在硅晶片的清洗中，使用将高纯度的气体溶解于被称为功能水的液体(例如纯水)而得到的特殊的清洗液(气体溶解液)，除去附着于硅晶片的微粒子、金属污染、有机污染等。用于清洗的臭氧水等气体溶解液由气体溶解液制造装置制造，并被供给到清洗装置等使用点。在气体溶解液制造装置中，在气体溶解部(臭氧溶解机构)将作为气体溶解液的原料的气体(臭氧气体)与液体(纯水)混合而生成气体溶解液(臭氧水)。所生成的气体溶解液在气液分离部被气液分离为向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体。一直以来，期望将该排出气体(未溶解于气体溶解液的气体)进行再利用。因此，以往，提出了一种如下的臭氧水制造系统：在向使用点供给的供给管线(气体溶解部的下游侧)设置其他的气体溶解部(其他的臭氧溶解机构)，从而将未溶解的臭氧气体进行再利用(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004-188246号公报在以往的臭氧水制造系统中，其他的气体溶解部(其他的臭氧溶解机构)设置于向使用点供给的供给管线(气体溶解部的下游侧)，但是，在气体溶解部的下游侧，臭氧气体的溶解浓度高，因此存在难以在其他的气体溶解部进一步使臭氧气体溶解、即难以生成高浓度的臭氧水的问题。<br>
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种如下的气体溶解液制造装置：容易将未溶解于气体溶解液的气体进行再利用来生成高浓度的气体溶解液。本专利技术的气体溶解液制造装置具备：气体供给管线，该气体供给管线供给作为气体溶解液的原料的气体；液体供给管线，该液体供给管线供给作为气体溶解液的原料的液体；气体溶解液生成部，该气体溶解液生成部将所述气体与所述液体混合而生成气体溶解液；气液分离部，该气液分离部将生成的所述气体溶解液气液分离为向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体；以及气体溶解部，该气体溶解部设置于所述液体供给管线，且使气液分离后的所述排出气体溶解于所述液体，所述气体溶解部由中空纤维膜构成，该中空纤维膜由气体透过性膜构成。根据该结构，从气体供给管线供给的气体和从液体供给管线供给的液体在气体溶解液生成部混合而生成气体溶解液，在气液分离部被气液分离为向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体。排出气体(未溶解于气体溶解液的气体)在设置于液体供给管线(气体溶解液生成部的上游侧)的气体溶解部溶解于作为气体溶解液的原料的液体。这样，能够将排出气体(未溶解于气体溶解液的气体)在液体供给管线(气体溶解液生成部的上游侧)进行再利用。在该情况下，由于气体溶解部由中空纤维膜构成而该中空纤维膜由气体透过性膜构成，因此能够在气体和液体被膜(由气体透过性膜构成的中空纤维膜)隔离的状态下以比液体的压力低的压力供给气体，能够使排出气体高效地溶解于液体。由此，容易将未溶解于气体溶解液的气体进行再利用来生成高浓度的气体溶解液。另外，在本专利技术的气体溶解液制造装置中，也可以是，在所述液体供给管线设置有升压泵，该升压泵使向所述气体溶解液生成部供给的所述液体的压力上升，所述气体溶解部在所述液体供给管线中与所述升压泵相比设置于下游侧。根据该结构，气体溶解部与升压泵相比设置于下游侧(后段)，因此向气体溶解部供给的液体的压力变高。因此，向气体溶解部供给的排出气体的压力比液体的压力低，能够在气体溶解部使排出气体容易地溶解于液体。另外，在本专利技术的气体溶解液制造装置中，也可以是，在所述液体供给管线设置有升压泵，该升压泵使向所述气体溶解液生成部供给的所述液体的压力上升，所述气体溶解部在所述液体供给管线中与所述升压泵相比设置于上游侧，在所述气体溶解部与所述气液分离部之间具备使气液分离后的所述排出气体的压力下降的压力调整部。根据该结构，在气体溶解部与升压泵相比设置于上游侧(前段)的情况下，通过压力调整部降低向气体溶解部供给的排出气体的压力。因此，能够使向气体溶解部供给的排出气体的压力比液体的压力低，能够在气体溶解部使排出气体高效地溶解于液体。另外，在本专利技术的气体溶解液制造装置中，向所述气体溶解部供给的所述排出气体的压力也可以设定为比向所述气体溶解部供给的所述液体的压力低。根据该结构，向气体溶解部供给的排出气体的压力被设定为比液体的压力低，因此能够在气体溶解部扩散溶解排出气体，能够生成没有气泡的气体溶解液。另外，在本专利技术的气体溶解液制造装置中，也可以是，具备：送出管线，该送出管线从所述气液分离部向所述使用点送出所述供给液体；以及排水管线，该排水管线从所述送出管线分支地设置，并与排水口连接，在所述排出管线连接有稀释管线，该稀释管线供给用于稀释所述供给液体的稀释用液体，在所述稀释管线设置有调整所述稀释用液体的流量的流量调整部。根据该结构，当在使用点不使用供给液体时从排水口排水的情况下，能够用稀释用液体稀释供给液体(高浓度的气体溶解液)而降低对设备、环境等的影响。在该情况下，由于在稀释管线设置有流量调整部，因此能够适当地调整稀释用液体的流量。另外，在本专利技术的气体溶解液制造装置中，也可以是，所述流量调整部根据输送至所述排水管线的所述供给液体的流量来调整所述稀释用液体的流量。根据该结构，能够根据输送至排水管线的供给液体(高浓度的气体溶解液)的流量来适当地调整稀释用液体的流量。另外，在本专利技术的气体溶解液制造装置中，也可以是，在所述排水管线设置有浓度测定部，该浓度测定部对输送至所述排水口的所述供给液体的浓度进行测定，所述流量调整部根据由所述浓度测定部测定出的所述供给液体的浓度来调整所述稀释用液体的流量。根据该结构，能够根据输送至排水口的供给液体(高浓度的气体溶解液)的浓度来适当地调整稀释用液体的流量。另外，在本专利技术的气体溶解液制造装置中，也可以是，在所述排水管线设置有压力释放阀，所述浓度测定部设置在所述压力释放阀的下游侧，所述稀释管线在所述压力释放阀的下游侧与所述排水管线连接。根据该结构，根据在压力释放阀的下游侧测定出的供给液体(高浓度的气体溶解液)的浓度来调整稀释用液体的流量，在压力释放阀的下游侧稀释供给液体(高浓度的气体溶解液)。在该情况下，在压力释放阀的下游侧进行稀释(使稀释用液体流入压力被释放后的供给液体)，因此不需要使稀释用液体升压。另外，在本专利技术的气体溶解液制造装置中，也可以是，在所述排水管线设置有压力释放阀，所述浓度测定部设置在所述压力释放阀的上游侧，所述稀释管线在所述压力释放阀的上游侧与所述排水管线连接，在所述稀释管线设置有升压泵。根据该结构，根据在压力释放阀的上游侧测定出的供给液体(高浓度的气体溶解液)的浓度来调整稀释用液体的流量，在压力释放阀的下游侧稀释供给液体(高浓度的气体溶解液)。在该情况下，在压力释放阀的上游侧(在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体溶解液制造装置，其特征在于，具备：/n气体供给管线，该气体供给管线供给作为气体溶解液的原料的气体；/n液体供给管线，该液体供给管线供给作为气体溶解液的原料的液体；/n气体溶解液生成部，该气体溶解液生成部将所述气体与所述液体混合而生成气体溶解液；/n气液分离部，该气液分离部将生成的所述气体溶解液气液分离为向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体；以及/n气体溶解部，该气体溶解部设置于所述液体供给管线，且使气液分离后的所述排出气体溶解于所述液体，/n所述气体溶解部由中空纤维膜构成，该中空纤维膜由气体透过性膜构成。/n

【技术特征摘要】
20200206 JP 2020-0191621.一种气体溶解液制造装置，其特征在于，具备：
气体供给管线，该气体供给管线供给作为气体溶解液的原料的气体；
液体供给管线，该液体供给管线供给作为气体溶解液的原料的液体；
气体溶解液生成部，该气体溶解液生成部将所述气体与所述液体混合而生成气体溶解液；
气液分离部，该气液分离部将生成的所述气体溶解液气液分离为向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体；以及
气体溶解部，该气体溶解部设置于所述液体供给管线，且使气液分离后的所述排出气体溶解于所述液体，
所述气体溶解部由中空纤维膜构成，该中空纤维膜由气体透过性膜构成。


2.根据权利要求1所述的气体溶解液制造装置，其特征在于，
在所述液体供给管线设置有升压泵，该升压泵使向所述气体溶解液生成部供给的所述液体的压力上升，
所述气体溶解部在所述液体供给管线中与所述升压泵相比设置于下游侧。


3.根据权利要求1所述的气体溶解液制造装置，其特征在于，
在所述液体供给管线设置有升压泵，该升压泵使向所述气体溶解液生成部供给的所述液体的压力上升，
所述气体溶解部在所述液体供给管线中与所述升压泵相比设置于上游侧，
在所述气体溶解部与所述气液分离部之间具备使气液分离后的所述排出气体的压力下降的压力调整部。


4.根据权利要求1所述的气体溶解液制造装置，其特征在于，
向所述气体溶解部供给的所述排出气体的压力被设定为...

【专利技术属性】
技术研发人员：小泽卓，荒木裕二，中川洋一，渡边敏史，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP