半导体泵浦全固体激光多功能电子散斑干涉仪制造技术

本实用新型专利技术涉及一种半导体泵浦全固体激光多功能电子散斑干涉仪，包括测量装置及处理测量数据的计算机构成，其特点是，测量装置包括箱体、激光源、光路部件、成像部件、分光器件；激光源设置在箱体内前部；光路部件由若干个反射镜、一分光棱镜以及若干个扩束镜组件组成；成像部件由设置在箱体后部内的摄像头和设置在箱体后部外的成像镜前、后对应设置构成；摄像头的信号输出端通过数据总线与计算机的输入端连接；分光器件设置在成像镜前端部。更换或改变光路部件中个别元件的位置，由摄像头获取被测件的图像，输入计算机中程序处理，可测得物体变形后的高精度离面位移、面内位移、离面位移梯度；在屏幕上显示干涉条纹，使用方便，功能强。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于物体变形后对其结构微位移量精确测量的半导体泵浦全固体激光多功能电子散斑干涉仪。
技术介绍
目前用于对物体结构变形后的检测技术有以下几种一种是激光全息干涉技术，先布置好全息光路，对被测物体受力前后两次曝光，再对全息干版进行显定影处理，最后通过激光实现再现。总之，该技术必须经过繁杂的显定影湿处理，且还要经过一个再现的过程，以上的工作必须严格在暗房中进行。若要用此技术实现实时检测，必须使全息干版精确复位，方法更为复杂，因此该技术在实际推广应用中受到限制。另一种电子散斑干涉器件，用参考物形成参考光，测量物体变形后的离面位移，但测得并非纯离面位移W场的结果。还有一种采用朗其光栅产生剪切，实现电子剪切散斑干涉，检测物体变形后的离面位移，但朗其光栅制造相对困难。目前国外也有多种电子散斑干涉仪，但只具有单独测量离面位移W场功能或只有单一剪切散斑的检测功能，国外的各类电子散斑干涉仪结构相对复杂，功能单一，并且测得的不是纯离面位移W场，而是离面位移W场和面内位移U场的混合场。
技术实现思路
本技术的目的是解决现有的电子散斑干涉仪功能单一，结构复杂，测量误差大的缺点，而提供一种具有测量离面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体泵浦全固体激光多功能电子散斑干涉仪，由测量装置及处理测量数据的计算机构成，该计算机的输入端通过数据总线与测量装置的输出端连接；其特征在于：所述的测量装置包括箱体、激光源、光路部件、成像部件、分光器件；所述的激光源设置在箱体内前部；所述的光路部件由设在箱体内的若干个反射镜、一分光棱镜以及设在箱体外的若干个扩束镜组件组成；其中：第一反射镜间隔设置在激光源的激光输出端一侧，该反射镜中心与激光输出端在同一光轴线上；一分光棱镜与第二反射镜前、后对应间隔设置在第一反射镜后部，该分光棱镜与第二反射镜的中心在同一光轴线上；第三反射镜与第四反射镜横向对应间隔设置在第二反射镜右侧，该第三反射镜中心与第四...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张熹，吴君毅，夏远富，陆鹏，李利平，
申请(专利权)人：中国船舶重工集团公司第七一一研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]