【技术实现步骤摘要】
一种检查硅晶片位置的装置
本技术与检查硅晶片制程有关;具体设计一种用以检查硅晶片在硅晶片盒中位置的装置。
技术介绍
近年来电子产业发展突飞猛进,多种多样的可携式电子产品如智能型手机、平板电脑等都已融入一般居民生活中,使得人们生活越来越便捷。电子产业的发展,带动了半导体集成电路产业的发展。半导体制程制作出的硅晶片可广泛地利用于各种民生、军事、生物科技等领域中,晶片的良率可说直接决定了最终产品的质量,因此,在硅晶片的材料以及制作方式上各界均以投入大量实验研究以确保其质量。硅晶片加工过程中,在终清洗制程后,包装出货之前,还需对硅晶片盒中的硅晶片进行检查。硅晶片盒包括上盖、花篮及下盖三部分。花篮中带卡槽,以供每片硅晶片单独放置,卡槽间保持一定距离,从而确保硅晶片与硅晶片相互之间不会发生碰撞,损伤硅晶片。硅晶片盒上盖具有与卡篮的相应位置的卡槽,从而确保硅晶片位置固定,不易造成硅晶片位置偏移,保护硅晶片。硅晶片盒可装置一定数量的硅晶片,工人在最后装硅晶片片时,由于人工操作易发生硅晶片位置错误,出现硅晶片叠片、错位等异常现象,使得硅晶片盒晃动时造成硅晶片损伤,影响最终产品的良率。硅晶片在硅晶片盒中保持每一硅晶片固定在硅晶片盒对应的卡槽中。为了更有效地检查硅晶片盒中硅晶片的位置,提高检查效率,减少产品的损伤,故设计了该装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种检查硅晶片位置的装置,能有效地检查硅晶片在硅晶片盒中的位置是否符合要求,减少硅晶片由于叠片及错位引起的刮伤,从而提高硅晶片的生产良率。为实现 ...
【技术保护点】
1.一种检查硅晶片位置的装置,用于进行硅晶片在硅晶片盒中位置的检验,其特征在于,所述检查装包括:/n一底板;/n一轴承座,设置于底板之上;/n一LED灯箱,位于轴承座与硅晶片盒固定装置之间;/n一硅晶片盒固定座,放置于LED灯箱之上。/n
【技术特征摘要】
1.一种检查硅晶片位置的装置,用于进行硅晶片在硅晶片盒中位置的检验,其特征在于,所述检查装包括:
一底板;
一轴承座,设置于底板之上;
一LED灯箱,位于轴承座与硅晶片盒固定装置之间;
一硅晶片盒固定座,放置于LED灯箱之上。
2.如权利要求1所述的一种检查硅晶片位置的装置,其特征在于,所述检查硅晶片位置的装置有一底板,用来放置轴承座,在检查硅晶片位置时需将底板倾斜至一定角度。
3.如权利要求1所述的一种检查硅晶片位置的装置,其特征在于,所述检查硅晶片位置的装置有一轴承座,可360°旋转,用来调整检查硅晶片方向,并承载LED灯箱及硅晶片盒固定器。
4.如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:李汉生,蔡雪良,黄建光,王帅,
申请(专利权)人:昆山中辰矽晶有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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