一种检查硅晶片位置的装置制造方法及图纸

技术编号:29509014 阅读:19 留言:0更新日期:2021-07-30 19:29
本实用新型专利技术提供一种检查硅晶片位置的装置,用以进行硅晶片位置的检查,从而确保硅晶片在硅晶片盒中位置的准确性。所述装置包括一底板、轴承座、LED灯箱、硅晶片盒固定座;所述底板用以放置轴承座;所述轴承座上放置LED灯箱及硅晶片盒固定座;所述LED灯箱用以观察硅晶片盒中硅晶片的位置;所述硅晶片盒固定座用以固定硅晶片盒。产品在终清洗制程工艺后包装前需检查硅晶片盒中硅晶片的位置,及检验硅晶片盒盖是否符合包装要求,从而减少硅晶片由于错位及硅晶片盒盖引起的刮伤,提高产品良率。

【技术实现步骤摘要】
一种检查硅晶片位置的装置
本技术与检查硅晶片制程有关;具体设计一种用以检查硅晶片在硅晶片盒中位置的装置。
技术介绍
近年来电子产业发展突飞猛进,多种多样的可携式电子产品如智能型手机、平板电脑等都已融入一般居民生活中,使得人们生活越来越便捷。电子产业的发展,带动了半导体集成电路产业的发展。半导体制程制作出的硅晶片可广泛地利用于各种民生、军事、生物科技等领域中,晶片的良率可说直接决定了最终产品的质量,因此,在硅晶片的材料以及制作方式上各界均以投入大量实验研究以确保其质量。硅晶片加工过程中,在终清洗制程后,包装出货之前,还需对硅晶片盒中的硅晶片进行检查。硅晶片盒包括上盖、花篮及下盖三部分。花篮中带卡槽,以供每片硅晶片单独放置,卡槽间保持一定距离,从而确保硅晶片与硅晶片相互之间不会发生碰撞,损伤硅晶片。硅晶片盒上盖具有与卡篮的相应位置的卡槽,从而确保硅晶片位置固定,不易造成硅晶片位置偏移,保护硅晶片。硅晶片盒可装置一定数量的硅晶片,工人在最后装硅晶片片时,由于人工操作易发生硅晶片位置错误,出现硅晶片叠片、错位等异常现象,使得硅晶片盒晃动时造成硅晶片损伤,影响最终产品的良率。硅晶片在硅晶片盒中保持每一硅晶片固定在硅晶片盒对应的卡槽中。为了更有效地检查硅晶片盒中硅晶片的位置,提高检查效率,减少产品的损伤,故设计了该装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种检查硅晶片位置的装置,能有效地检查硅晶片在硅晶片盒中的位置是否符合要求,减少硅晶片由于叠片及错位引起的刮伤,从而提高硅晶片的生产良率。为实现上述目的,本技术公开一种检查硅晶片位置的装置,其中包括:一底板;一轴承座,设置于底板之上;一LED灯箱,位于轴承座与硅晶片盒固定装置之间;一硅晶片盒固定座,放置于LED灯箱之上。基于上述,本技术的优点与特点是检查硅晶片盒中硅晶片的位置是否符合要求,使用该装置可以有效且快速的检查硅晶片盒中硅晶片的位置是否出现叠片、错位等异常情况,避免硅晶片出现刮伤,从而提高产品良率。附图说明图1为检查硅晶片位置的装置的正视示意图。图2为检查硅晶片位置的装置的俯视示意图。图3为检查硅晶片位置的装置的侧视示意图。附图标号说明:1底板2轴承座3LED灯箱4硅晶片盒固定座5硅晶片盒具体实施方式硅晶片最终包装出货前需进行检验,其中包括检查硅晶片在硅晶片盒中的位置是否准确,硅晶片盒盖与硅晶片位置是否契合。当在检查硅晶片位置时,可通过轴承座调整方向,从而检查不同角度的硅晶片位置。本技术结合硅晶片制程工艺需要,对现有检查硅晶片位置的方式进行改进,通过该检查装置,可以在检查硅晶片在硅晶片盒中的位置时,由原先肉眼检查,改善为使用该检查装置。下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。实施例:通过硅晶片盒固定座4中的卡槽将需检查的硅晶片盒5放置在硅晶片盒固定座4上,硅晶片盒固定座4与LED灯箱3相连接,需检查的硅晶片盒5底部抵靠在LED灯箱3上,LED灯箱3与轴承座2相连接,轴承座2放置在底板1之上;当检查硅晶片盒5中硅晶片位置时,轴承座2可旋转,使得放置在轴承座2之上的LED灯箱3与水平桌面形成一定角度,使得LED灯箱2中LED灯照射的光线可折射至需检查的硅晶片盒5上,LED灯箱3选用不透光的黑色PVC材料,从而通过LED灯箱3中光线的明暗检查硅晶片盒5中硅晶片是否在对应的卡槽位置中。所述检查硅晶片位置的装置有一底板1,用来放置轴承座2,在检查硅晶片时需将底板1倾斜至一定角度;所述检查硅晶片位置的装置的硅晶片盒固定座4的内部设置数个卡槽,根据不同尺寸的硅晶片盒5将放置在相对应的卡槽位置,从而使得硅晶片盒5与之契合,达到固定的作用;所述检查硅晶片位置的装置有一轴承座2,轴承座2可360°旋转,根据检查需求可调整旋转不同的方向,轴承座2并连接LED灯箱3及硅晶片盒固定器4;所述检查硅晶片位置的装置有一LED灯箱3,LED灯箱包含一定数量的LED灯,为检查硅晶片在硅晶片盒5中的位置提供一定的光线;所述检查硅晶片位置的装置的LED灯箱3使用不透光的黑色PVC材料,增强检查时的照明效果;本技术的检查装置结合现有工艺需要,解决了检查硅晶片在硅晶片盒中位置准确性的问题。该装置检查硅晶片盒中的硅晶片是否出现层叠、错位或其他异常位置情况,还可以检查硅晶片盒的位置是否符合包装出货要求,同时还具有使用检查范围广、使用便捷的优点。产品在终清洗制程工艺后出货包装前需检查硅晶片盒中硅晶片的位置,使用该装置可以提高检查的效率。避免硅晶片盒晃动时造成硅晶片损伤,影响最终产品的良率。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查硅晶片位置的装置,用于进行硅晶片在硅晶片盒中位置的检验,其特征在于,所述检查装包括:/n一底板;/n一轴承座,设置于底板之上;/n一LED灯箱,位于轴承座与硅晶片盒固定装置之间;/n一硅晶片盒固定座,放置于LED灯箱之上。/n

【技术特征摘要】
1.一种检查硅晶片位置的装置,用于进行硅晶片在硅晶片盒中位置的检验,其特征在于,所述检查装包括:
一底板;
一轴承座,设置于底板之上;
一LED灯箱,位于轴承座与硅晶片盒固定装置之间;
一硅晶片盒固定座,放置于LED灯箱之上。


2.如权利要求1所述的一种检查硅晶片位置的装置,其特征在于,所述检查硅晶片位置的装置有一底板,用来放置轴承座,在检查硅晶片位置时需将底板倾斜至一定角度。


3.如权利要求1所述的一种检查硅晶片位置的装置,其特征在于,所述检查硅晶片位置的装置有一轴承座,可360°旋转,用来调整检查硅晶片方向,并承载LED灯箱及硅晶片盒固定器。


4.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:李汉生蔡雪良黄建光王帅
申请(专利权)人:昆山中辰矽晶有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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