一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置制造方法及图纸

技术编号:29503909 阅读:17 留言:0更新日期:2021-07-30 19:19
本实用新型专利技术公开了一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置,包括底板、侧架、连接杆、固定杆、限位组件、上限位转板、下限位转板、钢瓶、连接气管、顶管、支脚和斜坡台,上下两根固定杆两侧分别等距离设置有若干限位组件,并通过限位组件分别固接有上限位转板和下限位转板,所述底板的顶部设置有若干钢瓶,且钢瓶交错设置在相邻的限位组件之间;所述限位组件包括限位杆、活动槽、滑道、插杆、插板、插槽、插块、第一弹簧、第二弹簧和限位槽,该用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置,通过限位组件能够对钢瓶进行有效的限位,保证了钢瓶使用过程的稳定,且限位便捷,便于装卸,还能在有限空间内对其进行限位使用,便捷稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置
本技术涉及半导体生产
,具体为一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置。
技术介绍
半导体工业用的气体统称电子气体。在半导体的生产过程中,从芯片生长到最后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体。电子气体成本占IC材料总成本的5%~6%。电子气体的纯度对芯片质量有很大的影响。但是现有的用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置不便于钢瓶的限位,不便于其稳定使用,因此设计一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置是十分有必要的。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术的目的可以通过以下技术方案实现:一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置,包括底板、侧架、连接杆、固定杆、限位组件、上限位转板、下限位转板和钢瓶,所述底板的顶部窄边两侧均竖直焊接固定有侧架,且两个侧架之间上下水平设置有两根固定杆,每根所述固定杆的两端分别与两个上下设置在两个侧架上的连接杆,且上下两根固定杆两侧分别等距离设置有若干限位组件,并通过限位组件分别固接有上限位转板和下限位转板,所述底板的顶部设置有若干钢瓶,且钢瓶交错设置在相邻的限位组件之间;所述限位组件包括限位杆,所述限位杆的一端垂直固定在固定杆的侧面,且另一端开设有活动槽,所述活动槽的内壁上下两侧均设置有滑道,且滑道分别与两个插块滑动配合连接,两个所述插块分别通过开设于插板上下两端的插槽与其连接,且插槽内部还设置有第一弹簧,所述插板固接在插杆的一端,且另一端与上限位转板或下限位转板侧面中心固接,所述插板与活动槽的底部之间设置有第二弹簧,且第二弹簧的最大行程处与滑道之间的活动槽开设有限位槽。作为本技术进一步的方案:所述底板的底部两侧等距离并列设置有若干支脚,且两侧底部等距离并列设置有若干斜坡台,所述斜坡台的竖直中心线位于下限位转板的中部。作为本技术进一步的方案:两个所述连接杆水平设置,且水平高度分别位于钢瓶的3/5高度处和1/5高度处。作为本技术进一步的方案:所述上限位转板的长度为下限位转板的2倍,且每个上限位转板的正下方均设置有两个下限位转板。作为本技术进一步的方案:所述钢瓶的顶部出气端均通过连接气管与顶管连通,且顶管设置在侧架的顶部。作为本技术进一步的方案:所述第二弹簧具有三个,且竖直等距离分布在活动槽底壁上。作为本技术进一步的方案:所述限位槽与活动槽交叉设置,且二者的轴线相互垂直。与现有技术相比,本技术所达到的有益效果是:该用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置,通过限位组件能够对钢瓶进行有效的限位,保证了钢瓶使用过程的稳定,且限位便捷,便于装卸,还能在有限空间内对其进行限位使用,便捷稳定。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本技术的实施例一起用于解释本技术,并不构成对本技术的限制。在附图中:图1为本技术整体正视图;图2为本技术局部结构立体图;图3和图4均为本技术限位组件结构示意图;图5为本技术限位槽结构位置示意图;图中:1、底板;2、侧架;3、连接杆;4、固定杆;5、限位组件;51、限位杆;52、活动槽;53、滑道;54、插杆;55、插板;56、插槽;57、插块;58、第一弹簧;59、第二弹簧;510、限位槽;6、上限位转板;7、下限位转板;8、钢瓶;9、连接气管;10、顶管;11、支脚;12、斜坡台。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5,本技术提供一种技术方案:一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置,包括底板1、侧架2、连接杆3、固定杆4、限位组件5、上限位转板6、下限位转板7和钢瓶8,底板1的顶部窄边两侧均竖直焊接固定有侧架2,且两个侧架2之间上下水平设置有两根固定杆4,每根固定杆4的两端分别与两个上下设置在两个侧架2上的连接杆3,且上下两根固定杆4两侧分别等距离设置有若干限位组件5,并通过限位组件5分别固接有上限位转板6和下限位转板7,底板1的顶部设置有若干钢瓶8,且钢瓶8交错设置在相邻的限位组件5之间;限位组件5包括限位杆51,限位杆51的一端垂直固定在固定杆4的侧面,且另一端开设有活动槽52,活动槽52的内壁上下两侧均设置有滑道53,且滑道53分别与两个插块57滑动配合连接,两个插块57分别通过开设于插板55上下两端的插槽56与其连接,且插槽56内部还设置有第一弹簧58,插板55固接在插杆54的一端,且另一端与上限位转板6或下限位转板7侧面中心固接,插板55与活动槽52的底部之间设置有第二弹簧59,且第二弹簧59的最大行程处与滑道53之间的活动槽52开设有限位槽510。作为本技术的一种实施方式,底板1的底部两侧等距离并列设置有若干支脚11,且两侧底部等距离并列设置有若干斜坡台12,斜坡台12的竖直中心线位于下限位转板7的中部。作为本技术的一种实施方式,两个连接杆3水平设置,且水平高度分别位于钢瓶8的3/5高度处和1/5高度处,便于对钢瓶8进行限位。作为本技术的一种实施方式,上限位转板6的长度为下限位转板7的2倍,且每个上限位转板6的正下方均设置有两个下限位转板7,便于对钢瓶8进行限位。作为本技术的一种实施方式,钢瓶8的顶部出气端均通过连接气管9与顶管10连通,且顶管10设置在侧架2的顶部,便于钢瓶8气体输送。作为本技术的一种实施方式,第二弹簧59具有三个,且竖直等距离分布在活动槽52底壁上,使得插板55移动的更加平稳。作为本技术的一种实施方式,限位槽510与活动槽52交叉设置,且二者的轴线相互垂直,便于插板55的限位。本技术的工作原理:钢瓶8通过斜坡台12移动至底板1上,将旋转上限位转板6和下限位转板7的插杆54沿着滑道53插入活动槽52内,直至插杆54上的插板55脱离滑道53,同时旋转旋转上限位转板6和下限位转板7,使其水平设置,并带动插板55旋转,当插板55旋转至插块57在第一弹簧58的弹性作用力下弹出时,插块57与限位槽510卡接固定,此时上限位转板6和下限位转板7均水平设置,用于对钢瓶8进行限位;且固定杆4的两侧均可设置钢瓶8,有效利用了空间,并且使用便捷稳定,便于使用。需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置,其特征在于,包括底板(1)、侧架(2)、连接杆(3)、固定杆(4)、限位组件(5)、上限位转板(6)、下限位转板(7)和钢瓶(8),所述底板(1)的顶部窄边两侧均竖直焊接固定有侧架(2),且两个侧架(2)之间上下水平设置有两根固定杆(4),每根所述固定杆(4)的两端分别与两个上下设置在两个侧架(2)上的连接杆(3),且上下两根固定杆(4)两侧分别等距离设置有若干限位组件(5),并通过限位组件(5)分别固接有上限位转板(6)和下限位转板(7),所述底板(1)的顶部设置有若干钢瓶(8),且钢瓶(8)交错设置在相邻的限位组件(5)之间;/n所述限位组件(5)包括限位杆(51),所述限位杆(51)的一端垂直固定在固定杆(4)的侧面,且另一端开设有活动槽(52),所述活动槽(52)的内壁上下两侧均设置有滑道(53),且滑道(53)分别与两个插块(57)滑动配合连接,两个所述插块(57)分别通过开设于插板(55)上下两端的插槽(56)与其连接,且插槽(56)内部还设置有第一弹簧(58),所述插板(55)固接在插杆(54)的一端,且另一端与上限位转板(6)或下限位转板(7)侧面中心固接,所述插板(55)与活动槽(52)的底部之间设置有第二弹簧(59),且第二弹簧(59)的最大行程处与滑道(53)之间的活动槽(52)开设有限位槽(510)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置,其特征在于,包括底板(1)、侧架(2)、连接杆(3)、固定杆(4)、限位组件(5)、上限位转板(6)、下限位转板(7)和钢瓶(8),所述底板(1)的顶部窄边两侧均竖直焊接固定有侧架(2),且两个侧架(2)之间上下水平设置有两根固定杆(4),每根所述固定杆(4)的两端分别与两个上下设置在两个侧架(2)上的连接杆(3),且上下两根固定杆(4)两侧分别等距离设置有若干限位组件(5),并通过限位组件(5)分别固接有上限位转板(6)和下限位转板(7),所述底板(1)的顶部设置有若干钢瓶(8),且钢瓶(8)交错设置在相邻的限位组件(5)之间;
所述限位组件(5)包括限位杆(51),所述限位杆(51)的一端垂直固定在固定杆(4)的侧面,且另一端开设有活动槽(52),所述活动槽(52)的内壁上下两侧均设置有滑道(53),且滑道(53)分别与两个插块(57)滑动配合连接,两个所述插块(57)分别通过开设于插板(55)上下两端的插槽(56)与其连接,且插槽(56)内部还设置有第一弹簧(58),所述插板(55)固接在插杆(54)的一端,且另一端与上限位转板(6)或下限位转板(7)侧面中心固接,所述插板(55)与活动槽(52)的底部之间设置有第二弹簧(59),且第二弹簧(59)的最大行程处与滑道(53)之间的活动槽(52)开设有限位槽(510)。...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐蓉吴汉涛孙珏
申请(专利权)人:无锡恒大电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1