有机发光显示器件的阵列基板及其制备方法技术

本申请实施例公开了一种有机发光显示器件的阵列基板及其制备方法，包括衬底层、第一绝缘层、第一金属层、层间绝缘层、第二金属层和第二绝缘层。其中，第一金属层包括第一金属子层和第二金属子层。第一金属子层化学性质稳定，具备耐聚酰亚胺和反射金属蚀刻液腐蚀以及耐高温的特性，且导电性能良好。第二金属子层靠近第一绝缘层的一面具备良好的粘附性，不会产生膜层相互剥离的现象，且导电性能良好。因此，采用第一金属层来作为搭接金属，可以将外部信号经第二金属层传入阵列基板内部。而且第一金属层是通过一道光罩制程形成位于薄膜晶体管区的第一部分和位于焊盘区的第二部分，从而可以节省一道光罩，达到降低成本的效果。

【技术实现步骤摘要】
有机发光显示器件的阵列基板及其制备方法
本申请涉及显示领域，尤其涉及一种有机发光显示器件的阵列基板及其制备方法。
技术介绍
目前，在大尺寸有机发光显示器中，为减少走线阻抗，背板一般采用金属铜作为金属走线。在顶栅薄膜晶体管中，通常将竖直方向上层间距离较远的遮光(LineShied，LS)层和源漏极层作为金属走线用于信号传输，栅极层不作为走线。其中，在顶发光大尺寸有机发光显示器中，背板一般采用反射金属层和氧化铟锡的层叠膜层。反射金属层的材料一般是银或铝，当然反射金属层的材料也可以采用其他反射率较高的反射金属。但是，其一，金属走线采用的铜稳定性差，暴露在外部环境时容易氧化，而且反射金属的蚀刻液对于铜有严重腐蚀；其二，反射金属层稳定性也不佳。因此金属走线和阳极都不能达到焊盘区引脚的可靠性需求。因此，现有面板厂家一般在源漏极层上制作一层引脚层，引脚层的材料为耐铝酸或银酸的金属或氧化物，且引脚层采用的材料化学性质稳定。但是这样会增加一道光罩制程，从而增加成本。因此，怎么在不增加成本的前提下制作达到焊盘区引脚的可靠性需求的引脚层是现有面板厂家需要努力攻克的难关。
技术实现思路
本申请实施例提供一种有机发光显示器件的阵列基板及其制备方法，可以解决现有的有机发光显示面板无法在不增加成本的前提下制作达到焊盘区引脚的可靠性需求的引脚层的技术问题。本申请实施例提供一种有机发光显示器件的阵列基板，包括薄膜晶体管区和焊盘区，所述有机发光显示器件的阵列基板包括：衬底层，所述衬底层包括相对设置的第一面和第二面；第一绝缘层，所述第一绝缘层设置在所述第一面上；第一金属层，所述第一金属层包括第一金属子层和第二金属子层，其中，所述第一金属子层设置在所述第一绝缘层远离所述衬底层的一面上，所述第二金属子层设置在所述第一金属子层远离所述衬底层的一面上，所述第一金属层部分位于所述焊盘区；层间绝缘层，所述层间绝缘层设置在所述第一金属层远离所述衬底层的一面上，且覆盖所述第一金属层，且所述层间绝缘层上设置有第一通孔，所述第一通孔贯穿所述层间绝缘层；第二金属层，所述第二金属层设置在所述层间绝缘层远离所述衬底层的一面上，且经所述第一通孔与所述第一金属层连接，所述第二金属层部分位于所述焊盘区；第二绝缘层，所述第二绝缘层设置在所述第二金属层远离所述衬底层的一面上，且覆盖所述第二金属层，所述第二绝缘层上设置有第二通孔，所述第二通孔依次贯穿所述第二绝缘层和所述层间绝缘层，以使所述第一金属层裸露。可选的，在本申请的一些实施例中，所述第一金属层还包括第三金属子层，所述第三金属子层设置在所述第一金属子层和所述第二金属子层之间。可选的，在本申请的一些实施例中，所述第一金属层还包括粘接层，所述粘接层设置在所述第一金属子层靠近所述第一绝缘层的一面上。可选的，在本申请的一些实施例中，所述第二金属层包括第四金属子层和第五金属子层，所述第四金属子层设置在所述层间绝缘层远离所述衬底层的一面上，所述第五子金属层设置在所述第四子金属层远离所述衬底层的一面上。可选的，在本申请的一些实施例中，所述第一绝缘层包括间隔设置的栅极绝缘层和支撑层，所述栅极绝缘层位于所述薄膜晶体管区，所述支撑层位于所述焊盘区，所述栅极绝缘层设置在所述第一面上，所述支撑层设置在所述第一面上。可选的，在本申请的一些实施例中，所述第一金属层包括间隔设置的第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述薄膜晶体管区，所述第二部分位于所述焊盘区，所述第一部分位于所述栅极绝缘层远离所述衬底层一面上，所述第二部分位于所述支撑层远离所述衬底层的一面上。可选的，在本申请的一些实施例中，所述栅极绝缘层的厚度等于所述支撑层的厚度，所述第一部分的厚度等于所述第二部分的厚度。可选的，在本申请的一些实施例中，所述像素发光层的材料为有机小分子发光材料，所述像素发光层的厚度为20纳米至50纳米。可选的，在本申请的一些实施例中，所述有机发光显示器件的阵列基板还包括平坦层、第一挡墙和第二挡墙，其中，所述平坦层设置在所述第二绝缘层远离所述衬底层的一面上，所述第一挡墙设置在所述平坦层远离所述衬底层的一面上，且所述第一挡墙靠近所述第二通孔的一端延伸至所述第二绝缘层上，并覆盖所述平坦层，所述第二挡墙设置在所述第一挡墙远离所述衬底层的一面上。本申请实施例提供一种有机发光显示器件的阵列基板的制备方法，所述有机发光显示器件的阵列基板包括薄膜晶体管区和焊盘区，所述制备方法包括：提供一衬底层，所述衬底层包括相对设置的第一面和第二面；在所述第一面上经一次光罩形成第一绝缘层和第一金属层，其中，所述第一金属层包括第一金属子层和第二金属子层，所述第一金属子层设置在所述第一绝缘层远离所述衬底层的一面上，所述第二金属子层设置在所述第一金属子层远离所述衬底层的一面上，所述第一金属层部分位于所述焊盘区；在所述第一金属层上形成层间绝缘层，所述层间绝缘层覆盖所述第一金属层，并在所述层间绝缘层上形成第一通孔，所述第一通孔贯穿所述层间绝缘层；在所述层间绝缘层上形成第二金属层，所述第二金属层经所述第一通孔与所述第一金属层连接，所述第二金属层部分位于所述焊盘区；在所述第二金属层上形成第二绝缘层，所述第二绝缘层覆盖所述第二金属层，并在所述第二绝缘层上形成第二通孔，所述第二通孔依次贯穿所述第二绝缘层和所述层间绝缘层，以使所述第一金属层裸露。可选的，在本申请的一些实施例中，所述在所述第一面上一次形成第一绝缘层和第一金属层的步骤，还可为：在所述第一面上经蚀刻工艺形成第一绝缘层；在所述第一绝缘层上经蚀刻工艺形成第一金属层。在本申请实施例提供的有机发光显示器件的阵列基板及其制备方法中，第一金属层裸露，且第一金属层包括第一金属子层和第二金属子层，所述第一金属子层与第一绝缘层相连，所述第二金属子层与第二金属层相连。其中，第一金属子层化学性质稳定，具备耐聚酰亚胺和反射金属蚀刻液腐蚀以及耐高温的特性，且导电性能良好。第二金属子层靠近第一绝缘层的一面具备良好的粘附性，不会产生膜层相互剥离的现象，且导电性能良好。因此，采用第一金属层来作为搭接金属，可以将外部信号经第二金属层传入阵列基板内部。而且第一金属层是通过一道光罩制程形成位于薄膜晶体管区的第一部分和位于焊盘区的第二部分，从而可以节省一道光罩。因此，采用第一金属层的第二部分作为引脚层，不仅可以满足引脚层的可靠性需求，还可以节约成本。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本申请实施例提供的有机发光显示器件的阵列基板的第一结构示意图。图2为本申请实施例提供的有机发光显示器件的阵列基板的第二结构示意图。图3为本申请实施例提供的有机发光显示器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机发光显示器件的阵列基板，包括薄膜晶体管区和焊盘区，其特征在于，所述有机发光显示器件的阵列基板包括：/n衬底层，所述衬底层包括相对设置的第一面和第二面；/n第一绝缘层，所述第一绝缘层设置在所述第一面上；/n第一金属层，所述第一金属层包括第一金属子层和第二金属子层，其中，所述第一金属子层设置在所述第一绝缘层远离所述衬底层的一面上，所述第二金属子层设置在所述第一金属子层远离所述衬底层的一面上，所述第一金属层部分位于所述焊盘区；/n层间绝缘层，所述层间绝缘层设置在所述第一金属层远离所述衬底层的一面上，且覆盖所述第一金属层，且所述层间绝缘层上设置有第一通孔，所述第一通孔贯穿所述层间绝缘层；/n第二金属层，所述第二金属层设置在所述层间绝缘层远离所述衬底层的一面上，且经所述第一通孔与所述第一金属层连接，所述第二金属层部分位于所述焊盘区；/n第二绝缘层，所述第二绝缘层设置在所述第二金属层远离所述衬底层的一面上，且覆盖所述第二金属层，所述第二绝缘层上设置有第二通孔，所述第二通孔依次贯穿所述第二绝缘层和所述层间绝缘层，以使所述第一金属层裸露。/n

【技术特征摘要】
1.一种有机发光显示器件的阵列基板，包括薄膜晶体管区和焊盘区，其特征在于，所述有机发光显示器件的阵列基板包括：
衬底层，所述衬底层包括相对设置的第一面和第二面；
第一绝缘层，所述第一绝缘层设置在所述第一面上；
第一金属层，所述第一金属层包括第一金属子层和第二金属子层，其中，所述第一金属子层设置在所述第一绝缘层远离所述衬底层的一面上，所述第二金属子层设置在所述第一金属子层远离所述衬底层的一面上，所述第一金属层部分位于所述焊盘区；
层间绝缘层，所述层间绝缘层设置在所述第一金属层远离所述衬底层的一面上，且覆盖所述第一金属层，且所述层间绝缘层上设置有第一通孔，所述第一通孔贯穿所述层间绝缘层；
第二金属层，所述第二金属层设置在所述层间绝缘层远离所述衬底层的一面上，且经所述第一通孔与所述第一金属层连接，所述第二金属层部分位于所述焊盘区；
第二绝缘层，所述第二绝缘层设置在所述第二金属层远离所述衬底层的一面上，且覆盖所述第二金属层，所述第二绝缘层上设置有第二通孔，所述第二通孔依次贯穿所述第二绝缘层和所述层间绝缘层，以使所述第一金属层裸露。


2.根据权利要求1所述的有机发光显示器件的阵列基板，其特征在于，所述第一金属层还包括第三金属子层，所述第三金属子层设置在所述第一金属子层和所述第二金属子层之间。


3.根据权利要求2所述的有机发光显示器件的阵列基板，其特征在于，所述第一金属层还包括粘接层，所述粘接层设置在所述第一金属子层靠近所述第一绝缘层的一面上。


4.根据权利要求2所述的有机发光显示器件的阵列基板，其特征在于，所述第二金属层包括第四金属子层和第五金属子层，所述第四金属子层设置在所述层间绝缘层远离所述衬底层的一面上，所述第五子金属层设置在所述第四子金属层远离所述衬底层的一面上。


5.根据权利要求2所述的有机发光显示器件的阵列基板，其特征在于，所述第一绝缘层包括间隔设置的栅极绝缘层和支撑层，所述栅极绝缘层位于所述薄膜晶体管区，所述支撑层位于所述焊盘区，所述栅极绝缘层设置在所述第一面上，所述支撑层设置在所述第一面上。


6.根据权利要求5所述的有机发光显示器件的阵列基板，其特征在于，所述第一金属层包括间隔设置的第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述薄膜晶体管区，所述第二部分位于所述焊盘区，所述第一部分位于所述栅极绝缘层远离所述衬底层一面上...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑智琳，唐甲，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44