一种用于旋涂设备的定位辅助装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于旋涂设备的定位辅助装置，包括升降式旋涂操作台，升降式旋涂操作台的上表面中部设有真空吸盘，且真空吸盘连接外部气泵，升降式旋涂操作台上设有保护罩，升降式旋涂操作台后侧设有安装底座，且安装底座前端固定装配有支撑杆，支撑杆前端固定装配有位于升降式旋涂操作台上方的定位辅助装置本体；方案采用定位辅助装置本体对基片进行准确定位，通过添加定位块的数量实现对不同尺寸的基片圆心位置的准确定位，提高了适用范围；方案采用的定位辅助装置本体操作方便，通过螺纹杆对增设的定位块进行连接固定，提高定位精度，利于胶层的均匀涂覆。

【技术实现步骤摘要】
一种用于旋涂设备的定位辅助装置
本技术涉及定位辅助装置
，具体为一种用于旋涂设备的定位辅助装置。
技术介绍
纳米压印技术是一种新型的微纳加工技术。是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术。要想实现图形的精确复制和转移，首先要实现光刻胶在基片上的均匀涂覆。目前最常用的涂胶方式是旋涂。市面上旋涂设备如匀胶机、旋涂仪层出不穷，但工作原理都是通过真空将基片固定在真空吸盘上，设置适当的加速度及转速，利用离心力使光刻胶在基片上均匀铺展。因此，基片圆心的准确定位尤为重要。一旦偏离圆心，就会出现胶层厚度不均匀或无法完全覆盖基片等问题影响压印效果。目前常用的定位辅助装置一般为单尺寸，定位不同尺寸的基片更换麻烦。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于旋涂设备的定位辅助装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于旋涂设备的定位辅助装置，包括升降式旋涂操作台，升降式旋涂操作台的上表面中部设有真空吸盘，且真空吸盘连接外部气泵，所述升降式旋涂操作台上设有保护罩，所述升本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于旋涂设备的定位辅助装置，包括升降式旋涂操作台(1)，其特征在于：升降式旋涂操作台(1)的上表面中部设有真空吸盘(2)，且真空吸盘(2)连接外部气泵，所述升降式旋涂操作台(1)上设有保护罩(3)，所述升降式旋涂操作台(1)后侧设有安装底座(4)，且安装底座(4)前端固定装配有支撑杆(5)，所述支撑杆(5)前端固定装配有位于升降式旋涂操作台(1)上方的定位辅助装置本体(6)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于旋涂设备的定位辅助装置，包括升降式旋涂操作台(1)，其特征在于：升降式旋涂操作台(1)的上表面中部设有真空吸盘(2)，且真空吸盘(2)连接外部气泵，所述升降式旋涂操作台(1)上设有保护罩(3)，所述升降式旋涂操作台(1)后侧设有安装底座(4)，且安装底座(4)前端固定装配有支撑杆(5)，所述支撑杆(5)前端固定装配有位于升降式旋涂操作台(1)上方的定位辅助装置本体(6)。


2.根据权利要求1所述的一种用于旋涂设备的定位辅助装置，其特征在于：所述定位辅助装置本体(6)包括固定装配于支撑杆(5)前端的第一定位块(61)，且第一定位块(61...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀然，
申请(专利权)人：青岛天仁微纳科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：山东;37