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本实用新型公开了一种用于旋涂设备的定位辅助装置,包括升降式旋涂操作台,升降式旋涂操作台的上表面中部设有真空吸盘,且真空吸盘连接外部气泵,升降式旋涂操作台上设有保护罩,升降式旋涂操作台后侧设有安装底座,且安装底座前端固定装配有支撑杆,支撑杆前...该专利属于青岛天仁微纳科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛天仁微纳科技有限责任公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种用于旋涂设备的定位辅助装置,包括升降式旋涂操作台,升降式旋涂操作台的上表面中部设有真空吸盘,且真空吸盘连接外部气泵,升降式旋涂操作台上设有保护罩,升降式旋涂操作台后侧设有安装底座,且安装底座前端固定装配有支撑杆,支撑杆前...