一种溅射靶材检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种溅射靶材检测装置，属于检测装置领域，包括夹具、间隔夹具设置的圆顶夹具和推动所述圆顶夹具的驱动部，其中在夹具的第一通孔上连通有氦气供给装置，其用于向所述靶材的内部容腔内供给氦气；在所述圆顶夹具上开设的第二通孔上连通有氦气检测装置，其用于抽取圆顶夹具和靶材之间形成的空间内的空气，并检测上述空间内的氦气有无。本实用新型专利技术的测试装置通过不使用用于固定靶材和夹具的螺钉，可以防止由于螺钉固定而引起的刮擦；另外，通过用液压缸上下移动圆顶夹具，可以容易且均匀地紧固圆顶夹具，并且通过调节液压压力每次可以容易地获得相同的紧固力。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射靶材检测装置
本技术涉及检测装置领域，更加具体的，涉及用于检测靶材中焊缝是否泄漏的测试装置。
技术介绍
参见图1，该附图中示出了现有泄漏测试装置的一种示例，其包括夹具1，靶材2放在夹具1上，在夹具1上设置有通孔10，所述通孔10上连通有检漏仪3，所述检漏仪3用于抽取靶材2和夹具1之间形成的容腔内的空气，并检测上述容腔内的氦气有无。使用时，先将靶材2通过紧固件4(一般为螺栓)固定在夹具1上，再用检漏仪3把靶材和夹具之间的空间中的空气吸走。然后准备氦气并将其喷到靶材的焊接部100。通过查看泄漏测试仪的反应来确定是否存在泄漏。测试完成后用扳手卸下螺栓并卸下靶材。上述装置使用时，需要用螺栓固定靶材和夹具，并且为了防止损伤靶材，需要在将螺栓固定时设置垫圈，且为了保证多个螺栓能够均匀的被拧紧，操作人员需要用扳手转动一点一点地多次转动各个螺栓，且紧固时，需要密切注意划伤的发生，不能让螺栓或扳手掉落在靶材上。参见图2，该附图中示出了现有泄漏测试装置的一种示例，其包括夹具1a，靶材2a放在夹具1a上，在夹具1a上设置有通孔10a，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅射靶材检测装置，其特征在于，包括：/n夹具(1)，其用于放置并密封靶材(100)，在所述夹具(1)上设置有与靶材的内部容腔(101)连通的第一通孔(10)；/n圆顶夹具(2)，其设置在所述夹具(1)上方，在所述圆顶夹具(2)上设置有第二通孔(20)，且在所述圆顶夹具(2)的端部设置有用于向其一侧施加推力的驱动部(3)，通过所述驱动部(3)施加推力，使得所述靶材(100)在所述圆顶夹具(2)和所述夹具(1)之间被固定且密封；/n氦气供给装置(4)，其被配置为与所述夹具(1)上开设的第一通孔(10)连通，用于向所述靶材(100)的内部容腔(101)内供给氦气；/n氦气检测装置(5)，其被...

【技术特征摘要】
1.一种溅射靶材检测装置，其特征在于，包括：
夹具(1)，其用于放置并密封靶材(100)，在所述夹具(1)上设置有与靶材的内部容腔(101)连通的第一通孔(10)；
圆顶夹具(2)，其设置在所述夹具(1)上方，在所述圆顶夹具(2)上设置有第二通孔(20)，且在所述圆顶夹具(2)的端部设置有用于向其一侧施加推力的驱动部(3)，通过所述驱动部(3)施加推力，使得所述靶材(100)在所述圆顶夹具(2)和所述夹具(1)之间被固定且密封；
氦气供给装置(4)，其被配置为与所述夹具(1)上开设的第一通孔(10)连通，用于向所述靶材(100)的内部容腔(101)内供给氦气；
氦气检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：大岩一彦，姚科科，广田二郎，中村晃，林智行，山田浩，
申请(专利权)人：浙江最成半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33