【技术实现步骤摘要】
一种整体式均氧部件以及碳化硅加工钝化装置
本技术涉及半导体加工
，尤其涉及一种整体式均氧部件以及碳化硅加工钝化装置。
技术介绍
对于碳化硅等半导体来说，需要利用钝化炉进行钝化处理，现有的钝化炉主要包括炉体，炉体内设置有用于装载碳化硅的支架，炉体的两侧分别设置有进气管与出气管，炉体的上侧设置有循环管路，通过气泵使得炉体内的气体循环流动，进而提高钝化效果，但是气体在流动的过程中，容易出现分层流动的现象，不能实现钝化气体均匀的分布，为了解决这个问题，一些钝化炉中增加了气体均布装置，但是现有的气体均布装置的结构较为复杂，在安装的时候由于零部件过多，装配效率低，并且不利于后期的检修。
技术实现思路
本技术的目的在于避免现有技术的不足之处，提供一种整体式均氧部件以及碳化硅加工钝化装置，从而有效解决现有技术中存在的不足之处。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种整体式均氧部件，包括进气组件、出气组件以及连接底板；所述进气组件包括具有左侧开口的进气盒，进气盒的左侧开口处可拆卸的设置有左封板，左封板...
【技术保护点】
1.一种整体式均氧部件，其特征在于：包括进气组件、出气组件以及连接底板；/n所述进气组件包括具有左侧开口的进气盒，进气盒的左侧开口处可拆卸的设置有左封板，左封板上设置有进气口与循环进气口，进气盒上设置有进气端分气出口，所述进气盒与左封板围合成进气腔；/n所述出气组件包括具有右侧开口的出气盒，出气盒的右侧开口处可拆卸的设置有右封板，右封板上设置有出气口与循环出气口，出气盒上设置有出气端分气进口，所述出气盒与右封板围合成出气腔；/n所述连接底板的两侧分别与进气盒以及出气盒的底部固定连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种整体式均氧部件，其特征在于：包括进气组件、出气组件以及连接底板；
所述进气组件包括具有左侧开口的进气盒，进气盒的左侧开口处可拆卸的设置有左封板，左封板上设置有进气口与循环进气口，进气盒上设置有进气端分气出口，所述进气盒与左封板围合成进气腔；
所述出气组件包括具有右侧开口的出气盒，出气盒的右侧开口处可拆卸的设置有右封板，右封板上设置有出气口与循环出气口，出气盒上设置有出气端分气进口，所述出气盒与右封板围合成出气腔；
所述连接底板的两侧分别与进气盒以及出气盒的底部固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种整体式均氧部件，其特征在于：所述进气盒通过第一螺钉与左封板连接，所述出气盒通过第二螺钉与右封板连接。
3.根据权利要求1所述的一种整体式均氧部件，其特征在于：所述进气口、循环进气口、出气口与循环出气口内均设置有螺纹连接结构。
4....
【专利技术属性】
技术研发人员：卢小东，
申请(专利权)人：华芯威半导体科技北京有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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