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本实用新型公开的一种整体式均氧部件以及碳化硅加工钝化装置，包括进气组件、出气组件以及连接底板；所述进气组件包括具有左侧开口的进气盒，进气盒的左侧开口处可拆卸的设置有左封板，左封板上设置有进气口与循环进气口，进气盒上设置有进气端分气出口，所述...
该专利属于华芯威半导体科技(北京)有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过华芯威半导体科技(北京)有限责任公司授权不得商用。

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