【技术实现步骤摘要】
一种PH传感器及其制备方法
本专利技术属于PH传感
，尤其涉及一种PH传感器及其制备方法。
技术介绍
酸碱度描述的是水溶液的酸碱性强弱程度，也是维持生物环境的健康平衡的重要观测指标，酸碱度的干扰和变化可能是生物系统中疾病和功能障碍的原因。PH传感器主要是通过检测被测物中氢离子浓度并转换成相应的可用输出信号的传感器。由于PH值在细胞内有着重要作用，对了解生物体内部生理和病理过程有着重要意义，所以应用于生物医学的PH传感器越来越受到各国学者的关注，近年来得到显著发展。目前为止，通过原理不同可以大致将PH传感器分为PH探针、基于场效应管的PH传感器以及PH荧光传感器。但PH探针器件整体尺寸较大，不利于在细胞等微小环境中测量，易在移动时损伤细胞；PH荧光传感器的信号则需要专用复杂仪器处理才能使用，而基于场效应管的细胞则具有检测稳定，灵敏度高等优点，但目前的基于场效应管的PH传感器大多生物相容性差等问题，限制了其在细胞领域的发展。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种新的PH传感器及其制备方法。
【技术保护点】
1.一种PH传感器，其特征在于，包括：/n衬底，所述衬底包括位于其中部的衬底中间区，及设置于所述衬底中间区两侧的衬底侧区，所述衬底中间区设有位于其上方的上表面，所述衬底侧区设有位于其上方的上表面和位于上表面两侧的侧面；/n敏感层，设置在所述衬底中间区的上表面上，所述敏感层包括敏感层中间区及位于所述敏感层中间区两侧的敏感层侧区，所述敏感层侧区包括位于其上方的上表面及两侧的侧面；/n封装层，覆盖于所述衬底侧区的上表面和侧面，且覆盖于所述敏感层侧区的上表面和侧面；/n金属氧化物场效应管，所述金属氧化物场效应管包括栅极，所述栅极的一侧与所述敏感层的一侧通过金属导线连接。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种PH传感器，其特征在于，包括：
衬底，所述衬底包括位于其中部的衬底中间区，及设置于所述衬底中间区两侧的衬底侧区，所述衬底中间区设有位于其上方的上表面，所述衬底侧区设有位于其上方的上表面和位于上表面两侧的侧面；
敏感层，设置在所述衬底中间区的上表面上，所述敏感层包括敏感层中间区及位于所述敏感层中间区两侧的敏感层侧区，所述敏感层侧区包括位于其上方的上表面及两侧的侧面；
封装层，覆盖于所述衬底侧区的上表面和侧面，且覆盖于所述敏感层侧区的上表面和侧面；
金属氧化物场效应管，所述金属氧化物场效应管包括栅极，所述栅极的一侧与所述敏感层的一侧通过金属导线连接。
2.根据权利要求1所述的PH传感器，其特征在于，所述金属导线自外向内贯穿所述封装层，以与所述敏感层的一侧连接。
3.根据权利要求1或2所述的PH传感器，其特征在于，所述敏感层的材料包括复合丝基碳纳米纤维。
4.根据权利要求3所述的PH传感器，其特征在于，所述复合丝基碳纳米纤维包括丝基碳纳米纤维、以及分布在所述丝基碳纳米纤维表面的镍纳米颗粒。
5.根据权利要求1或2所述的PH传感器，其特征在于，所述衬底包括石英基底。
技术研发人员：王凤霞，黄婷，杨湛，孙立宁，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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