下载一种PH传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:29454751

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本发明涉及一种PH传感器及其制备方法,其中,所述PH传感器包括:衬底、敏感层、封装层及金属氧化物场效应管。衬底包括位于其中部的衬底中间区,及设置于衬底中间区两侧的衬底侧区;敏感区设置在衬底中间区的上表面上,敏感层包括敏感层中间区及位于敏感层...
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