一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法技术

本发明专利技术提供了一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法，涉及面板缺陷检测技术领域，该设备包括承载机构、龙门、初扫组件和复扫组件，所述龙门横跨设于所述承载机构上并与所述承载机构具有一定间隙，所述初扫组件和所述复扫组件分别设于同一个所述龙门上。通过将初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上，从而使初扫组件与复扫组件之间的距离缩小，进而可降低待检测板面板的运动行程，从而降低了单个面板检测所用的时间，提高面板缺陷扫描的效率；另外，由于初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上，因此，统一了初扫基准面与复扫基准面，消除了因基准面不一致产生的转换误差，提高了整机精度。

A panel defect detection equipment and panel defect detection method

【技术实现步骤摘要】
一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法
本专利技术涉及面板缺陷检测
，具体而言，涉及一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法。
技术介绍
目前，液晶显示面板在制造过程中可能会产生诸多缺陷，这些缺陷大致可分为宏观缺陷与微观缺陷，其中微观缺陷难以用肉眼检测出来。因此，为了检测面板的微观缺陷，市面上出现了相应的面板缺陷检测设备，现有的面板缺陷检测设备包括初扫相机、复扫相机和两个龙门，初扫相机和复扫相机分别布置在两个具有一定距离的龙门上，初扫相机进行初扫，复扫相机进行复扫，为了使初扫相机和复扫相机都能扫描待检测面板，则需要待检测面板具有较长的来回运动行程，因此，单个面板的检测时间较长，待检测面板的检测效率较低。另外，由于初扫相机和复扫相机分布于不同的龙门上，而两个龙门的高度和平行度可能不同，则初扫相机和复扫相机的基准面可能不一致，则容易出现转换误差，影响图像的采集效果。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是待检测面板的检测效率较低及初扫相机和复扫相机的基准面不一致带来的转换误差。为解决上述问题，本专利技术第一方面提供一种面板缺陷检测设备，包括承载机构、龙门、初扫组件和复扫组件，所述承载机构用于承载待检测面板并驱动所述待检测面板运动，所述龙门横跨设于所述承载机构上并与所述承载机构具有一定间隙，所述初扫组件和所述复扫组件分别设于同一所述龙门上，且所述初扫组件和所述复扫组件适于在所述龙门上移动，所述初扫组件用于扫描所述待检测面板，所述复扫组件用于对所述待检测面板进行复检。通过将初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上，从而使初扫组件与复扫组件之间的距离缩小，进而可降低待检测板面板的运动行程，从而降低了单个面板检测所用的时间，提高面板缺陷扫描的效率；另外，由于初扫组件和复扫组件设于同一个龙门上，因此，初扫组件和复扫组件在同一龙门上移动，这里初扫组件移动的基准和复扫组件移动的基准是同一个龙门，则初扫组件和复扫组件基准是统一的，因此统一了初扫基准面与复扫基准面，消除了因基准面不一致产生的转换误差，提高了整机精度，进而提高了最终的图像采集效果。进一步地，所述初扫组件和所述复扫组件设于所述龙门的相对两侧面上。进一步地，所述承载机构包括气浮平台，所述气浮平台用于悬浮支撑所述待检测面板。进一步地，所述气浮平台包括第一气浮平台和两个第二气浮平台，所述第一气浮平台设于两个所述第二气浮平台之间，所述第一气浮平台和两个所述第二气浮平台适于悬浮支撑所述待检测面板，所述初扫组件和/或所述复扫组件扫描所述待检测面板时，所述待检测面板悬浮于所述第一气浮平台上。所述第二气浮平台包括多个气浮条，各所述气浮条平行且间隔设置，所述气浮条用于悬浮支撑所述待检测面板。进一步地，所述承载机构包括夹持机构，所述夹持机构用于带动所述待检测面板在所述承载机构上运动。进一步地，所述夹持机构包括精密定位装置，所述精密定位装置适于垂向吸附所述待检测面板，并适于带动所述待检测面板移动。进一步地，所述承载机构还包括预定位机构，所述预定位机构用于对所述待检测面板进行预定位。进一步地，所述预定位机构包括沿第一方向相对设置的第一活动支架和第一固定支架，所述第一活动支架上设有第一定位滚轮，所述第一定位滚轮适于与所述待检测面板第一方向的侧面抵接，所述第一固定支架上设有第二定位滚轮，所述第一定位滚轮适于向所述第二定位滚轮移动，以使所述待检测面板第一方向的另一侧面与所述第二定位滚轮抵接，以对所述待检测面板进行矫正。进一步地，所述预定位机构包括沿第一方向相对设置的第二活动支架和第二固定支架，所述第二活动支架和所述第二固定支架上均设有第三定位滚轮，所述第三定位滚轮适于与所述待检测面板第一方向的侧面抵接，所述第二活动支架的所述第三定位滚轮与所述第二固定支架的所述第三定位滚轮适于相对移动，以对所述待检测面板进行矫正。进一步地，所述第二活动支架设于所述夹持机构上。进一步地，所述预定位机构还包括沿第二方向间隔设置的两个第三活动支架，所述第三活动支架上设有第四定位滚轮，所述第四定位滚轮适于与所述待检测面板第二方向的侧面抵接，两所述第四定位滚轮适于相对移动，以对所述待检测面板进行矫正，其中，第一方向与第二方向交叉。进一步地，所述承载机构包括第一气浮平台和第二气浮平台，所述第一气浮平台设于两个所述第二气浮平台之间，所述初扫组件和/或所述复扫组件扫描所述待检测面板时，所述待检测面板悬浮于所述第一气浮平台上，所述第二气浮平台包括多个气浮条，各所述气浮条平行且间隔设置，所述气浮条用于悬浮支撑所述待检测面板。进一步地，所述第三活动支架设于两所述气浮条间的间隙中，所述第四定位滚轮的高度适于调节以与所述待检测面板位于同一高度。进一步地，所述初扫组件包括第一自动对焦装置和设于所述第一自动对焦装置上的初检装置，所述初检装置用于初步扫描图像，所述第一自动对焦装置用于监测所述初检装置与所述待检测面板的间隔距离，并根据所述初检装置与所述待检测面板的间隔距离使所述初检装置相对所述龙门垂向运动，以使所述初检装置与所述待检测面板的间隔距离为所述初检装置的最佳成像距离。进一步地，所述第一自动对焦装置包括音圈电机、活动板、固定板和重力补偿机构，所述音圈电机的定子设于所述固定板上，所述音圈电机的动子与所述活动板连接，所述初检装置适于设于所述活动板上，所述活动板适于相对所述固定板垂向运动，所述音圈电机用于驱动所述活动板运动，以带动所述初检装置运动，所述重力补偿机构用于提供一个与所述初检装置的重力方向相反的恒力。进一步地，所述复扫组件包括第二自动对焦装置和设于所述第二自动对焦装置上的复检装置，所述复检装置用于对所述待检测面板进行复扫，所述第二自动对焦装置用于监测所述复检装置与所述待检测面板的间隔距离，并根据所述复检装置与所述待检测面板的间隔距离使所述复检装置相对所述龙门垂向运动，以使所述复检装置与所述待检测面板的间隔距离为所述复检装置的最佳成像距离。进一步地，所述第二自动对焦装置包括音圈电机、活动板、固定板和重力补偿机构，所述音圈电机的定子设于所述固定板上，所述音圈电机的动子与所述活动板连接，所述复检装置适于设于所述活动板上，所述活动板适于相对所述固定板垂向运动，所述音圈电机用于驱动所述活动板运动，以带动所述初检装置运动，所述重力补偿机构用于提供一个与所述初检装置的重力方向相反的恒力。本专利技术的第二方面提供一种面板缺陷检测方法，所述方法应用于如上所述的面板缺陷检测设备，所述方法包括：缺陷评价结果获取阶段和待检测面板复检阶段；所述缺陷评价结果获取阶段包括：根据待检测面板的扫描图像确定所述扫描图像的第一候选缺陷，根据所述第一候选缺陷确定裁剪图像，根据所述裁剪图像确定第一缺陷评分；从所述第一候选缺陷中筛选第二候选缺陷，根据所述第二候选缺陷的坐标位置移动复扫组件以采集复扫图像，根据所述复扫图像确定第二缺陷评分；根据所述第一缺陷评分和所述第二缺陷评分确定各类缺陷的缺陷评价结果；所述待本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种面板缺陷检测设备，其特征在于，包括承载机构、龙门(5)、初扫组件(6)和复扫组件(7)，所述承载机构用于承载待检测面板(8)并驱动所述待检测面板(8)运动，所述龙门(5)横跨设于所述承载机构上并与所述承载机构具有一定间隙，所述初扫组件(6)和所述复扫组件(7)分别设于同一所述龙门(5)上，且所述初扫组件(6)和所述复扫组件(7)适于在所述龙门(5)上移动，所述初扫组件(6)用于扫描所述待检测面板(8)，所述复扫组件(7)用于对所述待检测面板(8)进行复扫。/n

【技术特征摘要】
1.一种面板缺陷检测设备，其特征在于，包括承载机构、龙门(5)、初扫组件(6)和复扫组件(7)，所述承载机构用于承载待检测面板(8)并驱动所述待检测面板(8)运动，所述龙门(5)横跨设于所述承载机构上并与所述承载机构具有一定间隙，所述初扫组件(6)和所述复扫组件(7)分别设于同一所述龙门(5)上，且所述初扫组件(6)和所述复扫组件(7)适于在所述龙门(5)上移动，所述初扫组件(6)用于扫描所述待检测面板(8)，所述复扫组件(7)用于对所述待检测面板(8)进行复扫。


2.根据权利要求1所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述初扫组件(6)和所述复扫组件(7)设于所述龙门(5)的相对两侧面上。


3.根据权利要求1所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述承载机构包括气浮平台(2)，所述气浮平台(2)用于悬浮支撑所述待检测面板(8)。


4.根据权利要求3所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述气浮平台(2)包括第一气浮平台(21)和两个第二气浮平台(22)，所述第一气浮平台(21)设于两个所述第二气浮平台(22)之间，所述第一气浮平台(21)和所述第二气浮平台(22)适于悬浮支撑所述待检测面板(8)，当所述初扫组件(6)和/或所述复扫组件(7)扫描所述待检测面板(8)时，所述待检测面板(8)悬浮于所述第一气浮平台(21)上。


5.根据权利要求4所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述第二气浮平台(22)包括多个气浮条(221)，各所述气浮条(221)平行且间隔设置，所述气浮条(221)用于悬浮支撑所述待检测面板(8)。


6.根据权利要求1至5任一项所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述承载机构包括夹持机构(3)，所述夹持机构(3)用于带动所述待检测面板(8)在所述承载机构上运动。


7.根据权利要求6所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述夹持机构(3)包括精密定位装置(34)，所述精密定位装置(34)适于垂向吸附所述待检测面板(8)，并适于带动所述待检测面板(8)移动。


8.根据权利要求6所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述承载机构还包括预定位机构(4)，所述预定位机构(4)用于对所述待检测面板(8)进行预定位。


9.根据权利要求8所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述预定位机构(4)包括沿第一方向相对设置的第一活动支架(41)和第一固定支架(42)，所述第一活动支架(41)上设有第一定位滚轮(411)，所述第一定位滚轮(411)适于与所述待检测面板(8)第一方向的侧面抵接，所述第一固定支架(42)上设有第二定位滚轮(421)，所述第一定位滚轮(411)适于向所述第二定位滚轮(421)移动，以使所述待检测面板(8)第一方向的另一侧面与所述第二定位滚轮(421)抵接，以对所述待检测面板(8)进行矫正。


10.根据权利要求8所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述预定位机构(4)包括沿第一方向相对设置的第二活动支架(43)和第二固定支架(44)，所述第二活动支架(43)和所述第二固定支架(44)上均设有第三定位滚轮(446)，所述第三定位滚轮(446)适于与所述待检测面板(8)第一方向的侧面抵接，所述第二活动支架(43)的所述第三定位滚轮(446)与所述第二固定支架(44)的所述第三定位滚轮(446)适于相对移动，以对所述待检测面板(8)进行矫正。


11.根据权利要求10所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述第二活动支架(43)设于所述夹持机构(3)上。


12.根据权利要求9至11任一项所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述预定位机构(4)还包括沿第二方向间隔设置的两个第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：王绍凯，黄运，蒋荷洁，谭久彬，
申请(专利权)人：哈工大机器人中山无人装备与人工智能研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44