一种可测量微米级别反射和透射光学相位的系统技术方案

本发明专利技术提供了一种可测量微米级别反射和透射光学相位的系统，包括相位测量系统，相位测量系统包括准直光源发生器、红外光源产生器、第一反射镜、第二反射镜、第五反射镜、第六反射镜、第一小孔、分光装置、光电探测设备，准直光源发生器用于产生准直光源，准直光源依次经过第一反射镜、第二反射镜进行调制后再依次通过第一小孔、分光装置，最后在光电探测设备上得到干涉条纹；红外光源产生器用于产生红外光源，红外光源依次经过第五反射镜、第六反射镜、第二反射镜后再通过第一小孔、分光装置，最后在光电探测设备上得到光斑干涉。本发明专利技术的有益效果是：本发明专利技术的系统可以进行不同波段相位的测量，而且可以测量微米级别的超表面结构的相位。

A system for measuring micron level reflection and transmission optical phase

【技术实现步骤摘要】
一种可测量微米级别反射和透射光学相位的系统
本专利技术涉及光子晶体领域，尤其涉及一种可测量微米级别反射和透射光学相位的系统。
技术介绍
随着制备技术的发展以及现实需求的提高，光相位信息的表征也变得至关重要。当两束光满足相干条件时，即传播方向相同，频率相同，偏振方向不正交时，这两束光会干涉，干涉的强度和这两束光的相位差有关。而且当两束光的偏振方向相同时，具体相位差的大小可以通过干涉光强度公式反推，由此我们就能够表征相位。超构材料是一种新兴的亚波长人工电磁结构，其特征尺寸小于与之作用的电磁波波长。通过人工设计的结构排布方式和材料组成，超构材料可以在二维尺度上实现传统天然材料与复合材料难以实现的异常电磁响应，将人类调控电磁波的自由度提高到了一个新的层次。因此，超构材料自提出以来就受到了电磁学、光学以及光子学等领域的广泛关注。近年来的研究表明，基于超构材料的功能器件由于其高集成度、多功能化以及轻量化等特点在电磁通讯、计算全息、辐射调控和探测成像等领域相较于传统器件具有独特的优势。亚波长结构是指结构的特征尺寸比工作波长更小的周期性(或非周期性)结本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可测量微米级别反射和透射光学相位的系统，其特征在于：包括相位测量系统，所述相位测量系统包括准直光源发生器(17)、红外光源产生器(18)、第一反射镜(1)、第二反射镜(2)、第五反射镜(5)、第六反射镜(6)、第一小孔(12)、分光装置、光电探测设备(15)，所述准直光源发生器(17)用于产生准直光源，所述准直光源依次经过所述第一反射镜(1)、所述第二反射镜(2)进行调制后再依次通过所述第一小孔(12)、所述分光装置，最后在所述光电探测设备(15)上得到干涉条纹；所述红外光源产生器(18)用于产生红外光源，所述红外光源依次经过所述第五反射镜(5)、所述第六反射镜(6)、所述第二反射镜(...

【技术特征摘要】
1.一种可测量微米级别反射和透射光学相位的系统，其特征在于：包括相位测量系统，所述相位测量系统包括准直光源发生器(17)、红外光源产生器(18)、第一反射镜(1)、第二反射镜(2)、第五反射镜(5)、第六反射镜(6)、第一小孔(12)、分光装置、光电探测设备(15)，所述准直光源发生器(17)用于产生准直光源，所述准直光源依次经过所述第一反射镜(1)、所述第二反射镜(2)进行调制后再依次通过所述第一小孔(12)、所述分光装置，最后在所述光电探测设备(15)上得到干涉条纹；所述红外光源产生器(18)用于产生红外光源，所述红外光源依次经过所述第五反射镜(5)、所述第六反射镜(6)、所述第二反射镜(2)后再通过所述第一小孔(12)、所述分光装置，最后在所述光电探测设备(15)上得到光斑干涉。


2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：所述分光装置包括第三反射镜(3)、第四反射镜(4)、第一分光棱镜(7)、第二分光棱镜(8)、光楔(9)、第二小孔(13)、第三小孔(14)、显微系统，所述准直光源或所述红外光源经所述第一分光棱镜(7)后分别被分成两束光源，其中一束光源依次经过所述第二小孔(13)、所述光楔(9)、所述第三小孔(14)、所述第四反射镜(4)到达所述第二分光棱镜(8)，另一束光源依次经过所述第三反射镜(3)、所述显微系统后到达所述第二分光棱镜(8)。


3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖淑敏，赖方兴，范宇斌，宋清海，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学深圳，
类型：发明
国别省市：广东;44