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本发明提供了一种可测量微米级别反射和透射光学相位的系统，包括相位测量系统，相位测量系统包括准直光源发生器、红外光源产生器、第一反射镜、第二反射镜、第五反射镜、第六反射镜、第一小孔、分光装置、光电探测设备，准直光源发生器用于产生准直光源，准直...
该专利属于哈尔滨工业大学(深圳)所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学(深圳)授权不得商用。

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