三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜及其制备方法，该热敏薄膜包括由下至上依次设置的衬底层、缓冲层以及热敏层，所述热敏层包括至少两层V

【技术实现步骤摘要】
三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜及其制备方法
本专利技术属于非制冷红外探测器领域，具体涉及一种三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜及其制备方法。
技术介绍
非制冷红外探测器的热敏材料部分主要使用VOX，即多种钒类氧化物的复合薄膜，工业生产过程大多采用一步法制备氧化钒薄膜，对薄膜的热敏性能提升存在技术瓶颈。V2O5(五氧化二钒)薄膜可以在较低的温度下沉积生长，并且本征V2O5激活能ΔE在2.24ev左右，根据(ΔE为激活能，k为玻尔兹曼常数，T为温度)可计算出其TCR在-27％/K左右，热敏性能好，热稳定性高，因此V2O5是一种性能优异的红外探测器热敏元件材料。但是V2O5在室温下电阻极大、热敏性不高，直接采用V2O5作为热敏层材料会导致热敏薄膜热敏性不高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜及其制备方法，旨在用于解决现有的氧化钒热敏薄膜的热敏性不高的问题。本专利技术是这样实现的：一方面，本专利技术提供一种三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜，包括由下至上依次设置的衬底层、缓冲层本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜，其特征在于：包括由下至上依次设置的衬底层、缓冲层以及热敏层，所述热敏层包括至少两层V

【技术特征摘要】
1.一种三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜，其特征在于：包括由下至上依次设置的衬底层、缓冲层以及热敏层，所述热敏层包括至少两层V2O5层以及位于每相邻两层V2O5层之间的载流子浓度提高层。


2.如权利要求1所述的三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜，其特征在于：所述载流子浓度提高层的材质为石墨烯复合F离子，厚度为10～50nm。


3.如权利要求1所述的三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜，其特征在于：所述载流子浓度提高层的材质为掺杂W6+的V2O3氧化物，厚度为3～23nm。


4.如权利要求1所述的三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜，其特征在于：所述载流子浓度提高层的材质为掺杂Ru4+的V2O3氧化物，厚度为3～23nm。


5.如权利要求1所述的三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜，其特征在于：所述热敏层的整体厚度为30～200nm。


6.如权利要求1所述的三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜，其特征在于：所述缓冲层采用Si3N4缓冲层，厚度为150～300nm。


7.如权利要求1所述的三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜，其特征在于：还包括依次设置于载流子浓度提高层上方的红外...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄立，陆浩，马占锋，汪超，方明，蔡光艳，王春水，高健飞，黄晟，
申请(专利权)人：武汉高芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42