一种上料装置制造方法及图纸

本申请公开了一种上料装置，包括水平滑动设置的搬运装置，沿所述搬运装置滑动的方向上相邻设置有上料区和工作区，所述搬运装置位于所述上料区、工作区的上方；所述搬运装置为可升降设置或所述上料区、工作区为可升降设置，所述搬运装置用于将物料由所述上料区搬运至所述工作区；通过上料装置可自动将料盒放置在挂篮内，减少人员的操作风险，增加晶圆安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种上料装置
本专利技术一般涉及半导体制造领域，具体涉及一种上料装置。
技术介绍
半导体制造设备中，需要将产品设置在料盒内，再将料盒设置在挂篮内，然后将挂篮设置在设备内部进行加工，目前将盛放有产品的料盒设置在挂篮内时，采用人工操作，需要人工用双手抱取料盒放置在挂篮内，由于挂篮与料盒之间空间受限，容易在取放时磕碰或者料盒掉落，使产品受损，且人工劳动强度大。
技术实现思路
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种上料装置。第一方面，本技术提供了一种上料装置，包括水平滑动设置的搬运装置，沿所述搬运装置滑动的方向上相邻设置有上料区和工作区，所述搬运装置位于所述上料区、工作区的上方；所述搬运装置为可升降设置或所述上料区、工作区为可升降设置，所述搬运装置用于将物料由所述上料区搬运至所述工作区。进一步地，所述上料区设置有第一感应装置，所述工作区设置有第二感应装置，所述第一感应装置、第二感应装置用于感应所述上料区、工作区是否放置有物料。进一步地，所述第一感应装置、第二感应装置均设置有至少两个，至少两个的所述第一感应装置由所述上料区的边缘向中心区域间隔设置；以检测不同尺寸的物料；至少两个的所述第二感应装置由所述工作区的边缘向中心区域间隔设置；以检测不同尺寸的物料。进一步地，所述第一感应装置、第二感应装置均包括行程开关、光电开关。进一步地，包括水平设置的第一导向件、滑动设置在所述第一导向件上的支撑架，所述支撑架包括滑动设置在所述第一导向件上的竖梁，及伸向所述上料区、工作区的横梁，所述搬运装置设置在所述横梁的下方；所述搬运装置同所述支撑架一起在所述第一导向件上水平滑动。进一步地，所述横梁下方设置有升降装置，所述搬运装置连接于所述升降装置，所述升降装置可驱动所述搬运装置在竖直方向上运动。进一步地，所述升降装置包括气压缸、液压缸。进一步地，所述竖梁具有竖直设置的导向部、滑动设置在所述导向部上的滑动件，及可驱动所述滑动件沿所述导向部滑动的驱动装置；所述横梁与所述滑动件固定连接。进一步地，所述搬运装置为夹爪装置，所述夹爪包括水平设置的导向件、相对滑动设置在所述导向件上的两个夹爪，及设置在两个所述夹爪之间的第一驱动装置，所述第一驱动装置可驱动所述两个所述夹爪沿所述导向件滑动。进一步地，还包括方向调节装置，所述方向调节装置包括竖直穿设在所述横梁上的转轴，和与所述转轴驱动连接，用于驱动所述转轴转动的第二驱动装置；所述转轴的上端具有第一定位面，所述第一定位面与所述横梁为止脱配合；所述转轴具有伸出所述横梁下表面的连接部，所述搬运装置或升降装置连接于所述连接部。有益效果本申请公开了一种上料装置，包括水平滑动设置的搬运装置，沿所述搬运装置滑动的方向上相邻设置有上料区和工作区，所述搬运装置位于所述上料区、工作区的上方；所述搬运装置为可升降设置或所述上料区、工作区为可升降设置，所述搬运装置用于将物料由所述上料区搬运至所述工作区通过上料装置可自动将料盒放置在挂篮内，减少人员的操作风险，增加晶圆安全性。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术上料装置的结构示意图；图2为支撑架的一种实施方式的结构示意图；图3为调节装置的结构示意图；图4为夹爪装置的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术，而非对该技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与技术相关的部分。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。参考图1，第一方面，本技术提供了一种上料装置，包括水平滑动设置的搬运装置10，沿所述搬运装置10滑动的方向上相邻设置有上料区20和工作区30，所述搬运装置10位于所述上料区20、工作区30的上方，所述搬运装置为可升降设置或所述上料区、工作区为可升降设置，所述搬运装置10用于将物料由所述上料区20搬运至所述工作区30。具体的，本申请提供的上料装置可用于槽式刻蚀机，所述工作区30即为槽式刻蚀机内部的工作区域，槽式刻蚀机工作时需要将晶圆放置在料盒内，再将料盒放置在挂篮内，再将挂篮设置在固定在位于槽式刻蚀机内部的工作区30，本申请通过在工作区30的上方设置可水平移动的搬运装置10，并在搬运装置10的滑动方向上与所述工作区30相邻设置上料区20，上料区20可以设置在刻蚀机台内部，也可为在刻蚀机台外部；上料装置的整个工作过成为：将挂篮设置在上料区20，此时上料区20上升或搬运装置10下降，使搬运装置10接触挂篮，将挂篮固定，然后搬运装置10上升或者上料区20下降，是挂篮脱离上料区20，搬运装置10水平滑动至工作区30，此时搬运装置10下降或工作区30上升，从而将挂篮放置在工作区30，搬运装置10松开挂篮，从而将挂篮放置在工作区30；然后将放置有晶圆的料盒放置在上料区20，重复上述步骤，将料盒放置在挂篮内，通过上料装置将料盒设置在挂篮内，并将挂篮搬运至设备的内部，节省了人力，也避免了因人工放置料盒所带来的风险。参考图1，进一步地，所述上料区20设置有第一感应装置21，所述工作区30设置有第二感应装置31，所述第一感应装置21、第二感应装置31用于感应所述上料区20、工作区30是否放置有物料。具体的，通过设置第一感应装置21、第二感应装置31进行检测，从而使上料装置可自动识别，进而可自动完成物料的搬运。参考图1，进一步地，所述第一感应装置21、第二感应装置31均设置有至少两个，至少两个的所述第一感应装置21由所述上料区20的边缘向中心区域间隔设置；以检测不同尺寸的物料；至少两个的所述第二感应装置3由所述工作区30的边缘向中心区域间隔设置；以检测不同尺寸的物料。具体的，所述至少两个的第一感应装置21和第二感应装置31的设置方式可根据挂篮和料盒的尺寸设置，当料盒放置在上料区时可触发位于中间区域的第一感应装置21，当挂篮放置在上料区20时，可触发所有第一感应装置21或触发位靠近边缘位置的第一感应装置21从而自动识别产品的种类，及自动识别料盒和挂篮；所述第二感应装置31的工作原理与第一感应装置类似，此处不再一一赘述。进一步地，所述第一感应装置21、第二感应装置22均包括行程开关、光电开关。参考图1，进一步地，包括水平设置的第一导向件51、滑动设置在所述第一导向件上的支撑架40，所述搬运装置10设置在所述支撑架40上，所述搬运装置10同所述支撑架40一起在所述第一导向件51上水平滑动。具体的，上料装置包括水平设置在所述上料区20、工作区30一侧的导轨31，导轨31上滑动设置有滑块511，与所述导轨31平行设置的丝杆52，与丝杆52配合的丝杆螺母521，与所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种上料装置，其特征在于，包括水平滑动设置的搬运装置，沿所述搬运装置滑动的方向上相邻设置有上料区和工作区，所述搬运装置位于所述上料区、工作区的上方；所述搬运装置为可升降设置或所述上料区、工作区为可升降设置，所述搬运装置用于将物料由所述上料区搬运至所述工作区。/n

【技术特征摘要】
1.一种上料装置，其特征在于，包括水平滑动设置的搬运装置，沿所述搬运装置滑动的方向上相邻设置有上料区和工作区，所述搬运装置位于所述上料区、工作区的上方；所述搬运装置为可升降设置或所述上料区、工作区为可升降设置，所述搬运装置用于将物料由所述上料区搬运至所述工作区。


2.根据权利要求1所述的上料装置，其特征在于，所述上料区设置有第一感应装置，所述工作区设置有第二感应装置，所述第一感应装置、第二感应装置用于感应所述上料区、工作区是否放置有物料。


3.根据权利要求2所述的上料装置，其特征在于，所述第一感应装置、第二感应装置均设置有至少两个，至少两个的所述第一感应装置由所述上料区的边缘向中心区域间隔设置；以检测不同尺寸的物料；
至少两个的所述第二感应装置由所述工作区的边缘向中心区域间隔设置；以检测不同尺寸的物料。


4.根据权利要求3所述的上料装置，其特征在于，所述第一感应装置、第二感应装置均包括行程开关、光电开关。


5.根据权利要求3或4所述的上料装置，其特征在于，包括水平设置的第一导向件、滑动设置在所述第一导向件上的支撑架，所述支撑架包括滑动设置在所述第一导向件上的竖梁，及伸向所述上料区、工作区的横梁，所述搬运装置设置在所述横梁的下方；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：许玉斌，
申请(专利权)人：厦门通富微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35