一种自动称重装置及槽式湿法处理设备制造方法及图纸

技术编号:29411880 阅读:13 留言:0更新日期:2021-07-23 22:53
本实用新型专利技术公开了一种自动称重装置及槽式湿法处理设备,包括:上下料定位模块、上下料称重模块和数据处理模块;上下料定位模块用于将放置有槽式湿法处理前的硅片的花篮运输至第一设定位置进行固定;上下料称重模块用于对第一设定位置的花篮进行称重,并将获取的第一重量发送至数据处理模块;上下料定位模块还用于将放置有槽式湿法处理后的硅片的花篮运输至第二设定位置进行固定;上下料称重模块还用于对第二设定位置的花篮进行称重,并将获取的第二重量发送至数据处理模块;数据处理模块还用于根据第一重量和第二重量,获取硅片经过槽式湿法处理后的减薄量。本实用新型专利技术提供的技术方案,可解决人工对硅片的制绒减薄量进行称重的精度较低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种自动称重装置及槽式湿法处理设备
本技术涉及光伏设备
,尤其涉及一种自动称重装置及槽式湿法处理设备。
技术介绍
随着光伏大尺寸硅片的普及,晶硅电池制程工艺控制对智能化的需求越来越高。减少人工操作带来的污染及不良问题是电池片制造企业追求的永恒方向,同时也对电池制程设备的创新产生期许。发射极和背面钝化电池(PassivatedEmitterandRearCell,PERC)是一种转换效率较高的光伏电池,其工艺流程一般包括:制绒、扩散、LDSE、刻蚀去PSG、原子层沉积背面镀氧化铝薄膜、PECVD、激光开孔、丝网印刷及烧结、电注入以及测试分选等。其中,制绒是利用化学腐蚀法对硅片进行绒面制备,使硅片表面形成坑洞或金字塔状,从而使得硅片能够达到很好的吸光效果。硅片的材料可以为多晶硅或单晶硅等。目前产业中多晶硅基本使用的都是以HF和HNO3为主的各向同性酸性腐蚀液,在硅片表面形成沟槽状绒面结构;单晶硅晶向一致,使用碱液腐蚀(例如KOH)对硅片进行各向异性腐蚀得到随机分布的正金字塔结构的绒面。为表征制绒效果,会监控制绒前后硅片的减重及反射率,硅片的制绒减薄量的大小会影响绒面结构的差异,同时也会造成电池效率下降,监控减重的大小有利于产线的稳定和调整方向。目前基本采用的手段是人工监控,就是人为定时定点的测量硅片制绒、碱抛前后的减重情况,监控减薄量,但随着硅片的尺寸增大,人工监控越来越难以保证测试的精度和测试频次,且大尺寸硅片测试测试时容易造成碎片。
技术实现思路
本技术实施例提供了一种自动称重装置及槽式湿法处理设备,以解决人工对硅片的制绒减薄量进行称重的精度较低的问题。第一方面,本技术实施例提供了一种自动称重装置,包括:上下料定位模块、上下料称重模块和数据处理模块;所述上下料定位模块用于将放置有槽式湿法处理前的硅片的花篮运输至第一设定位置进行固定;所述上下料称重模块用于对所述第一设定位置的所述花篮进行称重,并将获取的第一重量发送至所述数据处理模块;所述上下料定位模块还用于将放置有槽式湿法处理后的硅片的花篮运输至第二设定位置进行固定;所述上下料称重模块还用于对所述第二设定位置的所述花篮进行称重,并将获取的第二重量发送至所述数据处理模块;所述数据处理模块还用于根据所述第一重量和所述第二重量,获取所述硅片经过槽式湿法处理后的减薄量。第二方面,本技术实施例提供了一种槽式湿法处理设备,包括本技术任意实施例提供的自动称重装置。本技术中,通过自动称重装置分别对槽式湿法处理前和槽式湿法处理后的硅片分别称重,从而获取硅片经过槽式湿法处理后的减薄量,具体的,自动称重装置包括上下料定位模块、上下料称重模块和数据处理模块,通过上下料定位模块将放置有槽式湿法处理前硅片的花篮在第一设定位置固定,并且可通过上下料称重模块称重获取第一重量,同理,还能够通过上下料定位模块将放置有槽式湿法处理后的硅片的花篮在第二设定位置固定,并通过上下料称重模块获取第二重量,数据处理模块能够根据第一重量和第二重量的差值,计算硅片在槽式湿法处理后的减薄量,上述自动称重装置能够在硅片进行槽式湿法处理进程中,自动对硅片进行称重,计量精准,容易对减薄量进行监控以保证槽式湿法处理的稳定。并且上述称重过程自动进行,能够取代人工检测,降低人工测量的劳动强度和人工称重的失误率,并且上述自动化称重过程,也能够避免人工测量易损坏大尺寸硅片的问题,提供硅片称重的效率和质量。附图说明图1是本技术实施例提供的一种自动称重装置的结构示意图;图2是本技术实施例提供的一种槽式湿法处理设备的结构示意图;图3是本技术实施例提供的一种自动称重装置的主视结构示意图;图4是本技术实施例提供的一种自动称重装置的上下料称重模块的主视结构示意图;图5是图4中上下料称重模块的升降结构的局部结构示意图;图6是本技术实施例提供的一种自动称重装置的俯视结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术,而非对本技术的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。在高效PERC电池的工艺流程中,例如,制绒等槽式湿法处理工艺,硅片的减薄量的监测手段为人工监控,也即,人为定时定点的测量硅片在槽式湿法处理前后的减重情况,监控减薄量,但是随着硅片的尺寸增大,人工监控难度越来越难以保证测试的精度和测试频次,并且人工称重记录,耗时耗力,工作效率低,误差大,劳动强度大,导致人力成本较大。此外,人工测试容易造成碎片,需要多次进行测试,增加测试成本,被抽测减薄量的硅片也需要重新清洗返工,以避免人工接触带来的污染,清洗返工增加了化学品成本。为解决上述人工称重的弊端,本技术实施例提供了一种自动称重装置,包括:上下料定位模块、上下料称重模块和数据处理模块;上下料定位模块用于将放置有槽式湿法处理前的硅片的花篮运输至第一设定位置进行固定;上下料称重模块用于对第一设定位置的花篮进行称重,并将获取的第一重量发送至数据处理模块;上下料定位模块还用于将放置有槽式湿法处理后的硅片的花篮运输至第二设定位置进行固定;上下料称重模块还用于对第二设定位置的花篮进行称重,并将获取的第二重量发送至数据处理模块;数据处理模块还用于根据第一重量和第二重量,获取硅片经过槽式湿法处理后的减薄量。本技术实施例中,通过自动称重装置分别对槽式湿法处理前和槽式湿法处理后的硅片分别称重,从而获取硅片经过槽式湿法处理后的减薄量,具体的,自动称重装置包括上下料定位模块、上下料称重模块和数据处理模块,通过上下料定位模块将放置有槽式湿法处理前硅片的花篮在第一设定位置固定,并且可通过上下料称重模块称重获取第一重量,同理,还能够通过上下料定位模块将放置有槽式湿法处理后的硅片的花篮在第二设定位置固定,并通过上下料称重模块获取第二重量,数据处理模块能够根据第一重量和第二重量的差值,计算硅片在槽式湿法处理后的减薄量,上述自动称重装置能够在硅片进行槽式湿法处理进程中,自动对硅片进行称重,计量精准,容易对减薄量进行监控以保证槽式湿法处理的稳定。并且上述称重过程自动进行,能够取代人工检测,降低人工测量的劳动强度和人工称重的失误率,并且上述自动化称重过程,也能够避免人工测量易损坏大尺寸硅片的问题,提供硅片称重的效率和质量。以上是本技术的核心思想,下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下,所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。图1是本技术实施例提供的一种自动称重装置的结构示意图,如图1所示,自动称重装置包括上下料定位模块11、上下料称重模块12和数据处理模块13,上下料定位模块11能够将装有硅片的花篮在某一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动称重装置,其特征在于,包括:上下料定位模块、上下料称重模块和数据处理模块;/n所述上下料定位模块用于将放置有槽式湿法处理前的硅片的花篮运输至第一设定位置进行固定;所述上下料称重模块用于对所述第一设定位置的所述花篮进行称重,并将获取的第一重量发送至所述数据处理模块;/n所述上下料定位模块还用于将放置有槽式湿法处理后的硅片的花篮运输至第二设定位置进行固定;所述上下料称重模块还用于对所述第二设定位置的所述花篮进行称重,并将获取的第二重量发送至所述数据处理模块;/n所述数据处理模块还用于根据所述第一重量和所述第二重量,获取所述硅片经过槽式湿法处理后的减薄量。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动称重装置,其特征在于,包括:上下料定位模块、上下料称重模块和数据处理模块;
所述上下料定位模块用于将放置有槽式湿法处理前的硅片的花篮运输至第一设定位置进行固定;所述上下料称重模块用于对所述第一设定位置的所述花篮进行称重,并将获取的第一重量发送至所述数据处理模块;
所述上下料定位模块还用于将放置有槽式湿法处理后的硅片的花篮运输至第二设定位置进行固定;所述上下料称重模块还用于对所述第二设定位置的所述花篮进行称重,并将获取的第二重量发送至所述数据处理模块;
所述数据处理模块还用于根据所述第一重量和所述第二重量,获取所述硅片经过槽式湿法处理后的减薄量。


2.根据权利要求1所述的自动称重装置,其特征在于,还包括:花篮识别模块;
所述花篮识别模块用于在所述第一设定位置识别所述花篮的第一编号;所述花篮识别模块与所述数据处理模块电连接,用于将所述花篮的第一编号和第一重量对应储存;所述花篮识别模块还用于在所述第二设定位置识别所述花篮的第二编号;所述花篮识别模块还用于将所述花篮的第二编号与所述第二重量对应储存;
所述数据处理模块具体用于在所述第二编号和所述第一编号一致时,获取该第一编号对应的第一重量与该第二编号对应的第二重量的差值。


3.根据权利要求1所述的自动称重装置,其特征在于,还包括:自动化定时模块;
所述自动化定时模块与所述上下料定位模块电连接,用于每隔第一预设时间段控制所述上下料定位模块将一放置有槽式湿法处理前的硅片的花篮传输至第一设定位置进行固定,并在该硅片经过槽式湿法处理后,将该花篮传输至第二设定位置进行固定。


4.根据权利要求1所述的自动称重装置,其特征在于,所述上下料定位模块包括:传输皮带和第一传感器;
所述传输皮带用于对所述花篮进行传输;所述第一传感器用于在所述花篮传输至所述第一设定位置时发出第一停止指令至所述数据处理模块,并在所述花篮传输至所述第二设定位置时发出第二停止指令至所述数据处理模块,以控制所述传输皮带停止传输。

【专利技术属性】
技术研发人员:易书令胥洋姜大俊唐步玉潘励刚
申请(专利权)人:盐城阿特斯阳光能源科技有限公司阿特斯阳光电力集团股份有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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