【技术实现步骤摘要】
一种全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐的制备方法
本专利技术属于化工合成领域,具体涉及一种全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐的制备方法。
技术介绍
电子化学品是半导体领域必不可少的组成之一,中美之间最重要的贸易冲突是21世纪的技术之争,它涵盖了从人工智能到网络设备的方方面面,而最基本的战场是半导体。光刻胶是微电子芯片及半导体领域微细图形加工核心上游材料,是电子化学品材料至高点,其质量和性能是影响集成电路性能、成品率以及可靠性的关键性因素。而光刻胶用产酸剂是控制其对某一特定波长光/电子束/离子束/X射线等感光,并发生相应的化学反应的重要材料。光刻胶的性能主要体现在分辨率、对比度、敏感度、黏滞性/黏度、黏附性、抗蚀性等方面,而光刻胶的光活性成分是光产酸剂,在辐射下产生酸,使光刻胶有效成分进一步与显影液反应,显现图片。全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐作为离子型光产酸剂的一种,其在光辐照下会分解出酸性产物,加热后,酸催化聚合物分子链发生反应,增强光刻胶材料曝光前后的溶解能力的差异,同时重新释放出酸,能继续催化聚合物发生反应,使聚合物完全发生反应所需要的能量变小 ...
【技术保护点】
1.一种全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐的制备方法,其特征在于:其包括以下步骤,/n(1)以双[4-(1,1-二甲基乙基)苯基]溴碘盐和全氟丁烷基磺酸钠为原料,将其溶解在复合溶剂内,反应完全后,经过分离得到全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐粗品;/n(2)将步骤(1)得到的全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐粗品在重结晶溶剂中进行重结晶,得到全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐。/n
【技术特征摘要】
1.一种全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐的制备方法,其特征在于:其包括以下步骤,
(1)以双[4-(1,1-二甲基乙基)苯基]溴碘盐和全氟丁烷基磺酸钠为原料,将其溶解在复合溶剂内,反应完全后,经过分离得到全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐粗品;
(2)将步骤(1)得到的全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐粗品在重结晶溶剂中进行重结晶,得到全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐。
2.根据权利要求1所述的一种全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐的制备方法,其特征在于:所述复合溶剂为甲苯和水的混合液、二甲苯和水的混合液或苯和水的混合液。
3.根据权利要求2所述的一种全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐的制备方法,其特征在于:每种所述复合溶剂中,有机相的质量百分数为85%-95%,其余为水。
4.根据权利要求1所述的一种全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐的制备方法,其特征在于:步骤(1)中,反应温度为70-80℃,反应时间为6-8h。
5.根据权利要求1所述的一种全氟丁烷基磺酸对苯碘鎓盐的制备方法,其特征在于:双[4-(1,1-二甲基乙...
【专利技术属性】
技术研发人员:张琛,孙佳伟,杜照磊,宋扬,李石磊,
申请(专利权)人:河北凯诺中星科技有限公司,
类型:发明
国别省市:河北;13
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。