一种1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合成方法技术

本申请涉及光刻胶单体化合物合成技术领域，具体公开了一种1,3‑金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合成方法。本申请提供的1,3‑金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合成方法，包括以下步骤：以1,3‑二羟基金刚烷与甲基丙烯酸酐/甲基丙烯酰氯作为反应原料，以两相溶剂作为反应溶剂，在催化剂和阻聚剂的作用下，通过酯化反应、后处理，获得1,3‑金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯；所述催化剂为乙基氯化镁；所述酯化反应的温度为10‑20℃，时间为6‑8h。本申请提供的1,3‑金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合成方法具有反应条件温和、操作简单、原料廉价易得等优点，并且所得1,3‑金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的收率≥80.0%，纯度≥99.00%。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光刻胶单体化合物合成，具体涉及一种1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的。

技术介绍

1、光刻胶是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，溶解度会发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，其能够利用光照反应后溶解度的不同将掩膜版图形转移至衬底上。目前，光刻胶在光电信息产业的微细图形线路加工制作中被广泛运用，成为电子制造领域的关键材料。随着集成电路的持续发展，光刻工艺也历经了g线光刻、i线光刻、深紫外光刻等阶段，如今193nm光刻备受关注。

2、1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯作为一种丙烯酸酯树脂单体，是合成193nm光刻胶的重要原材料。目前，关于1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合成路线存在着成本高、收率低或产物纯度低等问题。

3、因此，提供一种能够简单、批量化生产高纯1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合成方法对于国产光刻胶的研发应用是非常有必要的。

技术实现思路

1、为了进一步提高1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯合成的纯度与收率，本申请提供一种1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合成方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合成方法，其特征在于，所述1,3-二羟基金刚烷与甲基丙烯酸酐/甲基丙烯酰氯的摩尔比为1：（1-1.2）。

3.根据权利要求1所述的1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合成方法，其特征在于，所述反应原料与反应溶剂的重量比为1：（15-25）。

4.根据权利要求1所述的1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合成方法，其特征在于，所述阻聚剂为对苯二酚和/或2-叔丁基对苯二酚。

5.根据权利要求1所述的1,3-金刚烷二...

【技术特征摘要】

1.一种1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合成方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合成方法，其特征在于，所述1,3-二羟基金刚烷与甲基丙烯酸酐/甲基丙烯酰氯的摩尔比为1：（1-1.2）。

3.根据权利要求1所述的1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合成方法，其特征在于，所述反应原料与反应溶剂的重量比为1：（15-25）。

4.根据权利要求1所述的1,3-金刚烷二醇单甲基丙烯酸酯的合成方法，其特征在于，所述阻聚剂为对苯二酚和/或2-叔丁基对苯二酚。

5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：王文杰，高放，赵勇琦，孙卓卓，邓玉卿，范丽燕，张琛，
申请(专利权)人：河北凯诺中星科技有限公司，
类型：发明
国别省市：