【技术实现步骤摘要】
一种高防潮性稳定的室温气体传感器制备方法
本专利技术涉及一种高防潮性稳定的室温气体传感器制备方法，属于环境监测传感器
技术介绍
对有毒有害气体实时信息检测的室温气体传感器在公共安全保护、环境监测和医学诊断等领域有着广泛的应用，是物联网系统中必不可少的一部分。然而，相对湿度对室温气体传感器有着显著的干扰。传感器在相对湿度的环境中应用时，会接触到水分子，这些水分子将占据传感材料表面的活性部位，从而影响目标气体的吸附和平衡过程，因此导致传感器的响应随相对湿度急剧波动，甚至导致传感器失效或损坏。这个问题严重限制了气体传感器在环境湿度变化的真实环境中的应用。为了能够提高传感器性能，实现有毒有害气体的响应度和探测灵敏度的提高，设计纳米结构的气体敏感层是一个有效的方案。并且要想抵抗相对湿度对传感器性能的影响，增加防水保护层，可以有效防止水分子的影响，但是防水保护层在一定程度上也会阻止探测气体的吸附与解吸附效率。因此开发一种又能提高传感器性能，又能具有防潮性能的稳定的室温气体传感器在环境监测领域十分必要。本专利技术...
【技术保护点】
1.一种高防潮性稳定的室温气体传感器制备方法包括：利用高掺杂硅作衬底层（1），二氧化硅作绝缘层（2），聚苯乙烯作修饰层（3），连续快速生长六噻吩超薄诱导层（4）和酞菁锌有机纳晶（5）构成气体敏感层，在有机纳晶上利用热蒸发生长超薄PMMA防水涂层（6），最后再蒸镀银作为金属电极。/n
【技术特征摘要】
1.一种高防潮性稳定的室温气体传感器制备方法包括：利用高掺杂硅作衬底层（1），二氧化硅作绝缘层（2），聚苯乙烯作修饰层（3），连续快速生长六噻吩超薄诱导层（4）和酞菁锌有机纳晶（5）构成气体敏感层，在有机纳晶上利用热蒸发生长超薄PMMA防水涂层（6），最后再蒸镀银作为金属电极。
2.根据权利要求1所述的一种高防潮性稳定的室温气体传感器制备方法，其特征在于，采用诱导生长法连续快速生长六噻吩超薄诱导层（4）和酞菁锌有机纳晶（5）构成气体敏感层，实现低浓度气体检测的同时获得高响应和回复性能，聚苯乙烯作修饰层（3）改善二氧化硅基底的表面性能，接着在聚苯乙烯修饰层（3）上蒸镀沉积六噻吩超薄诱导层（4），形...
【专利技术属性】
技术研发人员：王丽娟，李炳昆，周影，朱阳阳，王璐，吴迪，凯彩阿依克里木，
申请(专利权)人：长春工业大学，
类型：发明
国别省市：吉林;22
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