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本发明是一种高防潮性稳定的室温气体传感器制备方法，利用高掺杂硅作衬底层（1），二氧化硅作绝缘层（2），聚苯乙烯作修饰层（3），连续快速生长六噻吩超薄诱导层（4）和酞菁锌有机纳晶（5）构成气体敏感层。在有机纳晶上利用热蒸发生长超薄PMMA防水...
该专利属于长春工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过长春工业大学授权不得商用。

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