一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂制造技术

本实用新型专利技术公开了一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂，包括本体，所述本体为一体结构，所述本体的前端设有对称结构的夹持臂，所述夹持臂的弧形内侧两端和中部均设有夹持头；所述夹持臂的外侧设有环形分布的第一减重带、第二减重带和第三减重带，所述第一减重带、所述第二减重带和所述第三减重带均以所述夹持臂的中心线为中心对称分布，所述第三减重带设置于所述本体后端的固定部，所述第一减重带、所述第二减重带和第三减重带纵向两端的外沿形成平滑的曲线结构。本实用新型专利技术采用上述结构的一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂
本技术涉及晶圆传送手臂
，特别是涉及一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂。
技术介绍
在现有的加工晶圆自动化设备中，通常通过机械手臂模组在晶圆承载/卸载与各工艺区段进行穿梭，实现将晶圆片或是批量晶圆片进行上下货于指定的区段。而机械手臂装置通常都安装在湿法设备的骨架与框体上，机械手臂长时间高频率的使用周期后会发生多种运动行为，如晃动、振动导致的应力集中、偏移、偏转等多种造成错位现象，影响生产质量和生产效率。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。为实现上述目的，本技术提供了一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂，包括本体，所述本体为一体结构，所述本体的前端设有对称结构的夹持臂，所述夹持臂的弧形内侧两端和中部均设有夹持头；所述夹持臂的外侧设有环形分布的第一减重带、第二减重带和第三减重带，所述第一减重带、所述第二减重带和所述第三减重带均以所述夹持臂的中心线为中心对称分布，所述第三减重带设置于所述本体后端的固定部，所述第一减重带、所述第二减重带和第三减重带纵向两端的外沿形成平滑的曲线结构。优选的，所述第一减重带包括位于同一椭圆上对称分布的若干个第一减重槽，所述第二减重带包括位于同一椭圆上对称分布的若干个第二减重槽，所述第三减重带的减重槽数量为1个。优选的，所述第一减重带所在椭圆的横轴长小于所述第二减重带所在椭圆的横轴长，所述第二减重带所在椭圆的横轴小于所述第三减重带所在椭圆的横轴长。优选的，所述夹持头为一体结构，并包括卡座和设置于所述卡座前端中部的托板。优选的，所述夹持头通过螺栓连接在所述夹持臂的卡槽内。优选的，所述本体的固定部设有固定孔。因此，本技术采用上述结构的一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。下面通过附图和实施例，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。附图说明图1是本技术一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂实施例的示意图。附图标记1、本体；2、夹持臂；3、夹持头；4、第一减重带；5、第二减重带；6、第三减重带；7、卡座；8、托板；9、固定孔；10、固定部。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确的限定。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下面结合附图对本技术的实施方式做进一步的说明。图1是本技术一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂实施例的示意图，如图所示，一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂，包括本体1，本体1为一体结构，本体1的固定部10设有固定孔9，通过固定孔9实现本体1的固定。本体1的前端设有对称结构的夹持臂2，夹持臂2用于晶圆的夹持。夹持臂2的弧形内侧两端和中部均设有夹持头3，通过夹持头3实现晶圆的固定。夹持头3通过螺栓连接在夹持臂2的卡槽内，保证夹持头3的稳定连接。夹持头3为一体结构，并包括卡座7和设置于卡座7前端中部的托板8，晶圆置于托板8上，卡座7实现夹持头3的固定。夹持臂2的外侧设有环形分布的第一减重带4、第二减重带5和第三减重带6，第一减重带4、第二减重带5位于夹持臂2中，第一减重带4包括位于同一椭圆上对称分布的若干个第一减重槽，第二减重带5包括位于同一椭圆上对称分布的若干个第二减重槽，第一减重槽与第二减重槽减轻夹持臂2的重量，提高运输的平稳性。同时，第一减重槽与对应位置的第二减重槽平行分布，保证夹持臂2的承载强度。第三减重带6设置于本体1后端的固定部10，第三减重带6的减重槽数量为1个，第三减重带6的设置减轻了整体重量的同时使得本体1的固定部变短，从而消除晶圆运输的共振作用，便于整体的平稳操作。第一减重带4、第二减重带5和第三减重带6均以夹持臂2的中心线为中心对称分布，保证整体的平稳运输。第一减重带4所在椭圆的横轴长小于第二减重带5所在椭圆的横轴长，第二减重带5所在椭圆的横轴小于第三减重带6所在椭圆的横轴长，保证减重带的有序分布。第一减重带4、第二减重带5和第三减重带6纵向两端的外沿形成平滑的曲线结构，减小本体1固定部10较短臂的同时，保证夹持臂2的有效承载力，提高传输效率。因此，本技术采用上述结构的一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂，结构简单，操作方便，传输效率高。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂，其特征在于：包括本体，所述本体为一体结构，所述本体的前端设有对称结构的夹持臂，所述夹持臂的弧形内侧两端和中部均设有夹持头；/n所述夹持臂的外侧设有环形分布的第一减重带、第二减重带和第三减重带，所述第一减重带、所述第二减重带和所述第三减重带均以所述夹持臂的中心线为中心对称分布，所述第三减重带设置于所述本体后端的固定部，所述第一减重带、所述第二减重带和第三减重带纵向两端的外沿形成平滑的曲线结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂，其特征在于：包括本体，所述本体为一体结构，所述本体的前端设有对称结构的夹持臂，所述夹持臂的弧形内侧两端和中部均设有夹持头；
所述夹持臂的外侧设有环形分布的第一减重带、第二减重带和第三减重带，所述第一减重带、所述第二减重带和所述第三减重带均以所述夹持臂的中心线为中心对称分布，所述第三减重带设置于所述本体后端的固定部，所述第一减重带、所述第二减重带和第三减重带纵向两端的外沿形成平滑的曲线结构。


2.根据权利要求1所述的一种消除共振的晶圆涂胶显影用传送手臂，其特征在于：所述第一减重带包括位于同一椭圆上对称分布的若干个第一减重槽，所述第二减重带包括位于同一椭圆上对称分布的若干个第二减重槽，所述第三减重带的...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐正隆，王正辉，吴星华，储长流，
申请(专利权)人：合肥开悦半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34