一种固晶机用的晶圆移动平面工作台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，属于工作台技术领域，一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，包括箱体、工作台本体和水箱，所述箱体内壁滑动连接有支撑板，所述支撑板上转动连接有丝杆，所述工作台本体与丝杆螺纹连接，所述工作台本体顶部内壁固定连接有循环水管，所述支撑板底部分别固定连接有电机和活塞，所述电机输出端固定连接有转动轴，所述转动轴上固定连接有曲轴，所述曲轴与活塞之间转动连接；本实用新型专利技术结构简单，操作便捷，通过电机与活塞的相互配合达到对工作台进行散热，通过电机与丝杆的相互配合达到对工作台进行位置调节，实用性大大提高。

【技术实现步骤摘要】
一种固晶机用的晶圆移动平面工作台
本技术涉及工作台
，尤其涉及一种固晶机用的晶圆移动平面工作台。
技术介绍
一种晶圆片，是将二氧化矽经过纯化,融解,蒸馏之后,制成矽晶棒,晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨,抛光和切片制成的标准的圆形片，由于圆形的晶圆片本身没有方向性,不适合电子的传输,因此需要用到一个对晶圆片进行移动的工作台，但目前市场上，现有的晶圆片移动工作台，没有对工作台进行降温功能，导致在生产过程中工作台面温度升高造成晶圆片损坏，以及不能对工作台进行水平移动调节。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中不能有效的对其进行散热以及高度调节等问题，而提出的一种固晶机用的晶圆移动平面工作台。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，包括箱体、工作台本体和水箱，所述箱体内壁滑动连接有支撑板，所述支撑板上转动连接有丝杆，所述工作台本体与丝杆螺纹连接，所述工作台本体顶部内壁固定连接有循环水管，所述支撑板底部分别固定连接有电机和活塞，所述电机输出端固定连接有转动轴，所述转动轴上固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，包括箱体(1)、工作台本体(3)和水箱(8)，其特征在于，所述箱体(1)内壁滑动连接有支撑板(2)，所述支撑板(2)上转动连接有丝杆(201)，所述工作台本体(3)与丝杆(201)螺纹连接，所述工作台本体(3)顶部内壁固定连接有循环水管(301)，所述支撑板(2)底部分别固定连接有电机(6)和活塞(7)，所述电机(6)输出端固定连接有转动轴(601)，所述转动轴(601)上固定连接有曲轴(602)，所述曲轴(602)与活塞(7)之间转动连接，所述活塞(7)与水箱(8)之间连接有第一软管(701)，所述活塞(7)与循环水管(301)之间连接有第二软管(702...

【技术特征摘要】
1.一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，包括箱体(1)、工作台本体(3)和水箱(8)，其特征在于，所述箱体(1)内壁滑动连接有支撑板(2)，所述支撑板(2)上转动连接有丝杆(201)，所述工作台本体(3)与丝杆(201)螺纹连接，所述工作台本体(3)顶部内壁固定连接有循环水管(301)，所述支撑板(2)底部分别固定连接有电机(6)和活塞(7)，所述电机(6)输出端固定连接有转动轴(601)，所述转动轴(601)上固定连接有曲轴(602)，所述曲轴(602)与活塞(7)之间转动连接，所述活塞(7)与水箱(8)之间连接有第一软管(701)，所述活塞(7)与循环水管(301)之间连接有第二软管(702)，所述循环水管(301)与水箱(8)之间连接有第三软管(801)，所述转动轴(601)与丝杆(201)之间连接有传动机构。


2.根据权利要求1所述的一种固晶机用的晶圆移动平面工作台，其特征在于,所述传动机构包括第一斜齿轮(202)、第二气缸(5)和第三斜齿轮(603)，所述第一斜齿轮(202)固定连接在丝杆(201)上，所述第二气缸(5)固定连接在支撑板(2)上，所述第二气缸(5)输出端转动连接有第二斜齿轮(501)，所述第三斜齿轮(603)固定连接在...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱辉，温琰，朱杰，
申请(专利权)人：深圳市晨微技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44