一种晶圆检测用探针卡制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆检测用探针卡，包含有承载整体结构的加固物、设置在加固物上的采用环氧树脂制成的固定块、设置在所述固定块上的探针和套设在探针上的绝缘针套。通过在针体上套设一绝缘针套，实现对检测过程中的探针记性缓冲，减少针体受到的磨损，达到延长针体的使用寿命和保证检测质量的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆检测用探针卡
本技术涉及晶圆生产检测领域，具体涉及一种晶圆检测用探针卡。
技术介绍
侦测卡在晶圆测试制程中是测试机与每一个集成芯片之间信号传导与回馈的唯一界面，由于每个集成芯片上的测试垫的高度和平坦度存在些微的落差，此时探测卡的探针必须透过机台加压一定的深度才能确保每个探针与测试点达到稳定的接触后进行测试，而在不断测试过程中，探针重复着压针、抬针的动作，导致针尖会被磨损造成探针长度缩短。同时由于机台加压过程中会对探针以及探针臂施加一定的反作用力，使得探针臂变形而难以维持平整度，从而影响了检测。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提出了一种晶圆检测用探针卡，以达到延长针体的使用寿命和保证检测质量的目的。为达到上述目的，本技术的技术方案如下：一种晶圆检测用探针卡，包含有承载整体结构的加固物、设置在加固物上的采用环氧树脂制成的固定块、设置在所述固定块上的探针和套设在探针上的绝缘针套；所述加固物底部对称设有两个固定块，两个固定块上均安装有所述探针。本技术通过在针体上套设一绝缘针套，实现对检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆检测用探针卡，其特征在于，包含有承载整体结构的加固物、设置在加固物上的采用环氧树脂制成的固定块、设置在所述固定块上的探针和套设在探针上的绝缘针套；所述加固物底部对称设有两个固定块，两个固定块上均安装有所述探针。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆检测用探针卡，其特征在于，包含有承载整体结构的加固物、设置在加固物上的采用环氧树脂制成的固定块、设置在所述固定块上的探针和套设在探针上的绝缘针套；所述加固...

【专利技术属性】
技术研发人员：方琼慧，王政雄，
申请(专利权)人：联立徐州半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32