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本实用新型公开了一种晶圆检测用探针卡,包含有承载整体结构的加固物、设置在加固物上的采用环氧树脂制成的固定块、设置在所述固定块上的探针和套设在探针上的绝缘针套。通过在针体上套设一绝缘针套,实现对检测过程中的探针记性缓冲,减少针体受到的磨损,达...该专利属于联立(徐州)半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联立(徐州)半导体有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种晶圆检测用探针卡,包含有承载整体结构的加固物、设置在加固物上的采用环氧树脂制成的固定块、设置在所述固定块上的探针和套设在探针上的绝缘针套。通过在针体上套设一绝缘针套,实现对检测过程中的探针记性缓冲,减少针体受到的磨损,达...