色散阵列及其制造方法技术

提供了一种色散阵列及其制造方法。光学光谱仪可以用来确定电磁波的光谱分量。光谱仪可以是大型、体积庞大的装置，并且为了记录测量值，可能需要波以几乎直角的入射进入。公开了一种采用光色散技术的具有纳米光子组件超紧凑型光谱仪。纳米光子组件可以包含超表面和布拉格滤波器。每个超表面可以包含可以被随机化以产生大输入角的光散射纳米结构，布拉格滤波器可以导致与输入角度无关的光色散。光谱仪可以能够处理约200nm的带宽。超紧凑型光谱仪可以能够读取可见光(400nm至600nm)内的图像数据，并且能够读取近红外(700nm至900nm)波长范围内的光谱数据。光谱仪的表面积可以为约1mm

【技术实现步骤摘要】
色散阵列及其制造方法
在此公开的主题涉及光谱仪。例如，一些示例实施例的方面涉及超表面构造和制造方法、光谱学(spectroscopy)和成像以及光谱仪组件。
技术介绍
光谱学已经是从科学研究到工业和医疗保健应用的各种场景中的关键表征技术。光谱仪可以产生光谱线，并且可以能够测量它们的波长和强度。光谱仪使用用于实现波长相关的角度色散的色散元件(诸如衍射光栅或棱镜)连同将入射光聚焦在检测器上的聚焦光学器件。这些光谱仪体积庞大并且具有低的角度容差(角度容差是入射光可以进入光谱仪并且可以执行光谱分析的角度)，这限制了它们在移动装置上的使用；因此，存在对于具有高角度容差的紧凑型光谱仪的需求。在该
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于增强对公开的
技术介绍
的理解，因此，它可以包含不构成现有技术的信息。
技术实现思路
根据一个示例实施例，提供了一种图像传感器，所述图像传感器包括：光圈、色散阵列、透镜、图像传感器和处理器。根据另一示例实施例，提供了一种从传感器获得光谱数据的方法，所述方法包括：接收入射光；使入射光散射通过散射层以产生本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种色散阵列，所述色散阵列包括：/n至少一个色散结构，以目标波长的0°色散开始使目标波长范围的光色散，其中，色散结构还包括：/n纳米结构层；以及/n滤波器层。/n

【技术特征摘要】
20200117 US 62/962,920;20200626 US 16/914,2541.一种色散阵列，所述色散阵列包括：
至少一个色散结构，以目标波长的0°色散开始使目标波长范围的光色散，其中，色散结构还包括：
纳米结构层；以及
滤波器层。


2.根据权利要求1所述的色散阵列，其中，纳米结构层包括纳米孔、纳米棒或纳米天线。


3.根据权利要求1所述的色散阵列，其中，纳米结构层包括介电材料或等离子体材料。


4.根据权利要求1所述的色散阵列，其中，色散结构被调节为散射和色散目标波长范围的光。


5.根据权利要求1所述的色散阵列，其中，纳米结构层还包括纳米结构行，其中，纳米结构行彼此平行。


6.根据权利要求5所述的色散阵列，其中，纳米结构行还包括纳米孔。


7.根据权利要求6所述的色散阵列，其中，纳米孔形成在TiO2层中。


8.根据权利要求6所述的色散阵列，其中，纳米孔的半径是色散结构的目标波长范围内的目标波长的一半或更小。


9.根据权利要求6所述的色散阵列，其中，纳米孔在纳米结构行内间隔得足够靠近，以允许目标波长范围在没有散射的情况下在一个维度上穿过纳米结构行。


10.根据权利要求5所述的色散阵列，其中，纳米结构行分布在最小距离与最大距离之间。


11.根据权利要求10所述的色散阵列，其中，纳米结构行在最小距离与最大距离之间随机分布。


12.根据权利要求10所述的色散阵列，其中，纳米结构行之间的最大距离是色散结构的目标波长范围的最长波长的长度的一半。


13.根据权利要求1所述的色散阵列，其中，滤波器层包括分布式布拉格反射器、介电镜、光纤布拉格光栅或半导体布拉格镜。


14.根据权利要求1所述的色散阵列，其中，滤...

【专利技术属性】
技术研发人员：拉德瓦努尔·哈桑·斯迪克，丹尼尔·阿桑姆普考，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR