一种光学扫描投影机构制造技术

本发明专利技术公开了一种光学扫描投影机构，包括：光源，用于提供光束；片状的压电元件，所述压电元件包括相对的固定端和可动端，自固定端至可动端的方向为第一方向，沿第一方向上所述压电元件包括至少一个分离的子压电元件，多个所述子压电单元之间电隔离，且各子压电单元单独在通电状态下产生翘曲；支撑块，所述压电元件的固定端固定于所述支撑块，形成悬臂结构；反射结构，用于接收光束并反射光束，位于所述压电元件表面或压电元件内；电连接结构，与所述子压电元件电连接，且具有外部信号连接端；光学承载体，用于接收反射结构的反射光束。用于接收反射结构的反射光束。用于接收反射结构的反射光束。

【技术实现步骤摘要】
一种光学扫描投影机构


[0001]本专利技术涉及投影显示
，尤其涉及一种光学扫描投影机构。

技术介绍

[0002]随着AR(Augmented Reality，增强现实)、VR(Virtual Reality，虚拟现实)、MR(Mediated Reality，介导现实)的兴起，对光学扫描投影的视频显示设备被广泛应用于教育、娱乐、医疗、航空等诸多领域，国内外各大厂商相继推出了多款投影设备，如微软的HoloLens2、索尼的Project Morpheus等。
[0003]与传统显示技术不同，光学扫描投影设备对尺寸、重量、功耗、视场角等具有更高的要求，目前的机械旋转扫描技术，依赖机械旋转扫描，具有速度慢，成本高，可靠性差的缺点；而激光相控阵扫描技术，其先天原理决定的相干合成与通道串扰的矛盾，存在激光光束旁瓣大，效率低的问题；而MEMS振镜扫描技术作为当今全固态激光雷达的主流方向，也存在上述MEMS振镜方法的局限性。
[0004]因此，期待一种光学扫描投影机构，能够减小扫描投影设备占用的体积，增加投影设备的视场，降低工艺的复杂本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学扫描投影机构，其特征在于，包括：光源，用于提供光束；片状的压电元件，所述压电元件包括相对的固定端和可动端，自固定端至可动端的方向为第一方向，沿第一方向上所述压电元件包括至少一个分离的子压电元件，且各子压电单元单独在通电状态下产生翘曲；支撑块，所述压电元件的固定端固定于所述支撑块，形成悬臂结构；反射结构，用于接收光束并反射光束，位于所述压电元件表面或压电元件内电连接结构，与所述子压电元件电连接，且具有外部信号连接端；光学承载体，用于接收反射结构的反射光束。2.根据权利要求1所述的光学扫描投影机构，其特征在于，所述子压电元件包括：支撑层；位于所述支撑层上的压电叠层结构，所述压电叠层结构至少包括一层压电膜，以及位于每层所述压电膜上下表面的电极，相邻两层所述压电膜共用位于两者之间的电极；位于所述压电叠层结构上的钝化层；所述电极从下至上依次计数，分为奇数层电极和偶数层电极；第一电极引出端，位于所述压电元件的顶面或底面，与所述偶数电极层电连接；第二电极引出端，位于所述压电元件的顶面或底面，与所述奇数电极层电连接。3.根据权利要求2所述的光学扫描投影机构，其特征在于，所述钝化层可透光，所述电极表面光滑，所述压电元件最顶部的电极作为反射结构。4.根据权利要求3所述的光学扫描投影机构，其特征在于，所述电极的材料为反光材料，所述电极的材料包括金属，所述金属材料包括金、银、铝、钨、镍或铁，及其合金。5.根据权利要求3所述的光学扫描投影机构，其特征在于，所述钝化层的...

【专利技术属性】
技术研发人员：桂珞，
申请(专利权)人：中芯集成电路宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：