一种高纯铜靶材生产用的冷却设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高纯铜靶材生产用的冷却设备，包括：冷却工作台，用于放置待冷却的铜靶材半成品；固定架，所述固定架固定安装在冷却工作台上；冷却组件，所述冷却组件安装在固定架的内部，并与固定架的顶壁滑动连接，脉冲喷射组件，所述脉冲喷射组件安装在固定架的顶部，所述冷却水箱通过脉冲喷射组件与空心转轴连通；往复组件，所述往复组件安装在冷却工作台的内部；传动组件，所述传动组件安装在固定架的顶部，利用脉冲喷射组件将冷却水箱内的冷却液输送至喷淋盘，喷洒在待冷却的铜靶材半成品上，对铜靶材半成品进行冷却，在冷却过程中，喷淋盘、散热叶片做横向往复运动，扩大了喷洒范围，提高冷却效果。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯铜靶材生产用的冷却设备
本技术涉及生产加工设备
，具体是一种高纯铜靶材生产用的冷却设备。
技术介绍
铜靶材是真空镀膜行业溅射靶材中的一种，是高纯铜材料经过系列加工后的产品，具有特定的尺寸和形状高纯铜材料。由于高纯铜特别是超高纯铜具有许多优良的特性，已广泛应用于电子、通信、超导、航天等尖端领。现有的铜靶材生产用的冷却设备在工作过程中，铜靶材半成品冷却效率低，难以满足人们的生产需求。
技术实现思路
基于上述
技术介绍
中所提到的现有技术中的不足之处，为此本技术提供了一种高纯铜靶材生产用的冷却设备。本技术通过采用如下技术方案克服以上技术问题，具体为：一种高纯铜靶材生产用的冷却设备，包括：冷却工作台，用于放置待冷却的铜靶材半成品；固定架，所述固定架固定安装在冷却工作台上；冷却组件，所述冷却组件安装在固定架的内部，并与固定架的顶壁滑动连接，所述冷却组件包括固定安装在固定架顶部的冷却水箱，所述冷却组件还包括滑动安装在固定架顶壁的滑块，所述滑块的下表面固定安装有安装架，安装架上贯穿空心转轴，所述空心转轴与所述安装架转动连接，所述空心转轴的下端安装有喷淋盘，空心转轴与喷淋盘连通，所述空心转轴上安装有第一从动齿轮，所述安装架的下表面转动安装有从动轴，所述从动轴的下端安装有散热叶片，所述从动轴上安装有第二从动齿轮，所述安装架上固定安装有第二电机，所述第二电机的轴伸端安装有主动齿轮，所述第一从动齿轮、第二从动齿轮分别与所述主动齿轮啮合；脉冲喷射组件，所述脉冲喷射组件安装在固定架的顶部，所述冷却水箱通过脉冲喷射组件与空心转轴连通；往复组件，所述往复组件安装在冷却工作台的内部，所述往复组件与所述滑块连接，用于驱动滑块做横向往复运动；传动组件，所述传动组件安装在固定架的顶部，所述脉冲喷射组件通过传动组件与所述往复组件连接。作为本技术进一步的方案：所述脉冲喷射组件包括固定安装在固定架顶部的活塞筒，所述活塞筒的内部滑动安装有活塞板，所述活塞板的侧壁固定安装有活动杆，所述活动杆的端部穿过活塞筒的侧壁延伸到活塞筒的外侧。作为本技术再进一步的方案：所述活塞筒的侧壁安装有进水口，所述进水口上安装有第一单向阀，所述冷却水箱通过管路与所述进水口连通，所述活塞筒的底部安装有出水口，所述出水口上安装有第二单向阀，所述空心转轴的顶端安装有旋通接头，所述出水口通过伸缩软管与空心转轴顶端的旋通接头连通。作为本技术再进一步的方案：所述往复组件包括转动安装在固定架内部的丝杆，所述丝杆贯穿所述滑块，并与所述滑块螺纹连接，所述固定架的外侧壁固定安装有用于驱动丝杆转动的第一电机，所述第一电机为正反转电机。作为本技术再进一步的方案：所述传动组件包括转动安装在固定架顶部的曲轴，所述曲轴的下端通过锥齿轮组与所述丝杆连接，所述曲轴的轴颈处转动安装有连杆，所述连杆的端部与所述活动杆的端部铰接。作为本技术再进一步的方案：所述喷淋盘的下表面分布有喷头。采用以上结构后，本技术相较于现有技术，具备以下优点：将待冷却的铜靶材半成品置于冷却工作台上，利用脉冲喷射组件将冷却水箱内的冷却液输送至喷淋盘，喷洒在待冷却的铜靶材半成品上，对铜靶材半成品进行冷却，在冷却过程中，喷淋盘、散热叶片做横向往复运动，扩大了喷洒范围，提高冷却效果，在冷却作业进行时，喷淋盘、散热叶片同步转动，从而进一步扩大冷却范围，从而进一步提高散热效果。附图说明图1为高纯铜靶材生产用的冷却设备的结构示意图。图2为高纯铜靶材生产用的冷却设备中安装架的结构示意图。图3为高纯铜靶材生产用的冷却设备中喷淋盘的立体图。图中：1-冷却工作台；2-固定架；3-丝杆；4-第一电机；5-滑块；6-安装架；7-第二电机；8-空心转轴；9-从动轴；10-主动齿轮；11-第一从动齿轮；12-第二从动齿轮；13-喷淋盘；14-散热叶片；15-冷却水箱；16-活塞筒；17-活塞板；18-进水口；19-出水口；20-伸缩软管；21-活动杆；22-曲轴；23-锥齿轮组；24-连杆。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施方式。但是，本技术可以以多种不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本技术的公开内容理解的更加透彻全面。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”。“长度”、“宽度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”“外”、“侧”等指示的方位或者位置关系为基于附图1所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。另外，若在本技术中涉及“第一”、“第二”等的描述，则其仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。请参阅图1～3，本技术实施例中，一种高纯铜靶材生产用的冷却设备，包括：冷却工作台1，用于放置待冷却的铜靶材半成品；固定架2，所述固定架2固定安装在冷却工作台1上；冷却组件，所述冷却组件安装在固定架2的内部，并与固定架2的顶壁滑动连接，所述冷却组件包括固定安装在固定架2顶部的冷却水箱15，所述冷却水箱15用于存放冷却液，所述冷却组件还包括滑动安装在固定架2顶壁的滑块5，所述滑块5的下表面固定安装有安装架6，安装架6上贯穿空心转轴8，所述空心转轴8与所述安装架6转动连接，所述空心转轴8的下端安装有喷淋盘13，空心转轴8与喷淋盘13连通，所述空心转轴8上安装有第一从动齿轮11，所述喷淋盘13的下表面分布有喷头，所述安装架6的下表面转动安装有从动轴9，所述从动轴9的下端安装有散热叶片14，所述从动轴9上安装有第二从动齿轮12，所述安装架6上固定安装有第二电机7，所述第二电机7的轴伸端安装有主动齿轮10，所述第一从动齿轮11、第二从动齿轮12分别与所述主动齿轮10啮合，第二电机7运行时，带动主动齿轮10转动，进而带动空心转轴8、从动轴9同步转动；脉冲喷射组件，所述脉冲喷射组件安装在固定架2的顶部，所述冷却水箱15通过脉冲喷射组件与空心转轴8连通，利用脉冲喷射组件将冷却水箱15内的冷却液输送至喷淋盘13，喷洒在待冷却的铜靶材半成品上，对铜靶材半成品进行冷却；往复组件，所述往复组件安装在冷却工作台1的内部，所述往复组件与所述滑块5连接，用于驱动滑块5做横向往复本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高纯铜靶材生产用的冷却设备，其特征在于，包括：/n冷却工作台(1)，用于放置待冷却的铜靶材半成品；/n固定架(2)，所述固定架(2)固定安装在冷却工作台(1)上；/n冷却组件，所述冷却组件安装在固定架(2)的内部，并与固定架(2)的顶壁滑动连接，所述冷却组件包括固定安装在固定架(2)顶部的冷却水箱(15)，所述冷却组件还包括滑动安装在固定架(2)顶壁的滑块(5)，所述滑块(5)的下表面固定安装有安装架(6)，安装架(6)上贯穿空心转轴(8)，所述空心转轴(8)与所述安装架(6)转动连接，所述空心转轴(8)的下端安装有喷淋盘(13)，空心转轴(8)与喷淋盘(13)连通，所述空心转轴(8)上安装有第一从动齿轮(11)，所述安装架(6)的下表面转动安装有从动轴(9)，所述从动轴(9)的下端安装有散热叶片(14)，所述从动轴(9)上安装有第二从动齿轮(12)，所述安装架(6)上固定安装有第二电机(7)，所述第二电机(7)的轴伸端安装有主动齿轮(10)，所述第一从动齿轮(11)、第二从动齿轮(12)分别与所述主动齿轮(10)啮合；/n脉冲喷射组件，所述脉冲喷射组件安装在固定架(2)的顶部，所述冷却水箱(15)通过脉冲喷射组件与空心转轴(8)连通；/n往复组件，所述往复组件安装在冷却工作台(1)的内部，所述往复组件与所述滑块(5)连接，用于驱动滑块(5)做横向往复运动；/n传动组件，所述传动组件安装在固定架(2)的顶部，所述脉冲喷射组件通过传动组件与所述往复组件连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种高纯铜靶材生产用的冷却设备，其特征在于，包括：
冷却工作台(1)，用于放置待冷却的铜靶材半成品；
固定架(2)，所述固定架(2)固定安装在冷却工作台(1)上；
冷却组件，所述冷却组件安装在固定架(2)的内部，并与固定架(2)的顶壁滑动连接，所述冷却组件包括固定安装在固定架(2)顶部的冷却水箱(15)，所述冷却组件还包括滑动安装在固定架(2)顶壁的滑块(5)，所述滑块(5)的下表面固定安装有安装架(6)，安装架(6)上贯穿空心转轴(8)，所述空心转轴(8)与所述安装架(6)转动连接，所述空心转轴(8)的下端安装有喷淋盘(13)，空心转轴(8)与喷淋盘(13)连通，所述空心转轴(8)上安装有第一从动齿轮(11)，所述安装架(6)的下表面转动安装有从动轴(9)，所述从动轴(9)的下端安装有散热叶片(14)，所述从动轴(9)上安装有第二从动齿轮(12)，所述安装架(6)上固定安装有第二电机(7)，所述第二电机(7)的轴伸端安装有主动齿轮(10)，所述第一从动齿轮(11)、第二从动齿轮(12)分别与所述主动齿轮(10)啮合；
脉冲喷射组件，所述脉冲喷射组件安装在固定架(2)的顶部，所述冷却水箱(15)通过脉冲喷射组件与空心转轴(8)连通；
往复组件，所述往复组件安装在冷却工作台(1)的内部，所述往复组件与所述滑块(5)连接，用于驱动滑块(5)做横向往复运动；
传动组件，所述传动组件安装在固定架(2)的顶部，所述脉冲喷射组件通过传动组件与所述往复组件连接。


2.根据权利要求1所述的一种高纯铜靶材生产用的冷却设备，其特征在于，所述脉冲喷射组...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑巧，郑好，郑好巧妙，
申请(专利权)人：四川华芯腾科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51