一种用于脱离PBN坩埚的装置制造方法及图纸

技术编号:29245000 阅读:25 留言:0更新日期:2021-07-13 17:11
本实用新型专利技术公开了一种用于脱离PBN坩埚的装置,属于晶体制备装置技术领域,包括:箱体,其前端为开口端,开口端处设有箱门;水槽,其位于所述箱体内部;活动柜,其位于所述箱体内、水槽的上方,且可浸入到所述水槽中;置物架,其设置在所述活动柜上,所述置物架可漏水;提升装置,其位于箱体内并与所述活动柜连接,用于控制所述活动柜的上升与下降。本实用新型专利技术示例的脱离PBN坩埚的装置,可以批量将晶锭与PBN坩埚脱离开来,并能一次性将PBN坩埚取出,省时省力,可大大提高生产效率,而且在溶解的过程中能够对溶解液进行密封,安全环保。

【技术实现步骤摘要】
一种用于脱离PBN坩埚的装置
本技术涉及晶体制备装置
,特别是涉及一种用于脱离PBN坩埚的装置。
技术介绍
用VGF法(垂直梯度凝固法)生长晶体工艺过程中,如果晶体与坩埚直接接触,两者会由于热膨胀系数的差异而使晶体内部产生更大的热应力,容易产生漏料,引起多晶或孪晶产生,最终导致单晶率降低。因此,为了避免晶体与PBN坩埚直接接触,通常在PBN坩埚中加入一种B2O3覆盖剂,B2O3覆盖剂具有减少异质成核率、提高单晶率以及减少降温冷却过程中晶锭受到来自PBN坩埚内壁的应力的作用。生长好晶体之后,B2O3覆盖剂会将晶锭与PBN坩埚内壁粘接在一起,因此在晶体取出的过程中,根据B2O3的物理性质,首先会采用酸、醇等溶剂将B2O3溶解,然后再将晶体取出。但是,目前在晶体脱离PBN坩埚时,一般都是采用人工脱离,这种方法存在费时费力、安全系数低及生产效率低等问题。
技术实现思路
为了解决上述现有技术中的不足,本技术的目的在于提供一种用于脱离PBN坩埚的装置,该装置可以批量将晶锭与PBN坩埚脱离开来,并能一次性将PBN坩埚取出,省时省力,可大大提高生产效率,而且在溶解的过程中能够对溶解液进行密封,安全环保。本技术解决其技术问题所采用的技术方案为:提供了一种用于脱离PBN坩埚的装置,包括:箱体,其前端为开口端,开口端处设有箱门;水槽,其位于所述箱体内部;活动柜,其位于所述箱体内、水槽的上方,且可浸入到所述水槽中;置物架,其设置在所述活动柜上,所述置物架可漏水;提升装置,其位于箱体内并与所述活动柜连接,用于控制所述活动柜的上升与下降。进一步的,所述水槽的底部设有加热装置。进一步的,所述箱体的顶部还设有排风管。进一步的,所述箱体的后端面内侧设有滑槽,所述活动柜的后端设置有与所述滑槽适配的滑轮。进一步的,所述滑槽设有两个,所述滑轮设有四个并分别位于所述活动柜的后端面四角处。进一步的,所述提升装置包括电机、吊绳及导向轮,所述吊绳搭在导向轮上且一端与所述电机的输出轴连接,另一端与所述活动柜的上端面连接。进一步的,所述箱门设有上下两组。进一步的,所述箱体上设有控制器,控制所述提升装置及加热装置工作。进一步的,所述加热装置为弧形加热管。进一步的,两组箱门均为双开式。与现有技术相比,本技术的有益效果在于:1、本技术示例的脱离PBN坩埚的装置,能够同时将多个PBN坩埚浸泡,进行B2O3覆盖剂的溶解,B2O3覆盖剂溶解完毕后可一次性将PBN坩埚从溶解液中取出,实现了批量操作,避免了人工取放造成的费时费力、生产效率低的问题,同时在溶解的过程中PBN坩埚是封闭在箱体内的,避免了因溶解液挥发造成的安全系数低、污染周围环境等问题;2、本技术示例的脱离PBN坩埚的装置,在水槽的内部设置弧形加热管,能够在溶解的过程中加入溶解液,提高溶解效率,同时弧形的结构能够使加热更均匀;3、本技术示例的脱离PBN坩埚的装置,设置排风管,能及时将溶解过程中产生的有害气体排出,避免在溶解完毕后取出PBN坩埚时,有害气体对环境及操作人员造成危害;4、本技术示例的脱离PBN坩埚的装置,相对于直接利用提升装置带动活动柜上下移动的方式,活动柜与箱体采用滑轮、滑槽的方式可移动连接,能够在移动的过程中对活动柜起到限位的作用,使上下移动更加方便,并且能够防止在移动的过程中活动柜发生晃动而损坏晶锭,采用两个滑槽与四个滑轮的结构,进一步提高移动的流畅性;5、本技术示例的脱离PBN坩埚的装置,箱门设有上下两组,且每组箱门均为双开式,在PBN坩埚放置与取出的过程中不需要将所有箱门均打开,从而减少了溶解液的挥发。6、本技术示例的脱离PBN坩埚的装置,采用控制器控制提升装置及加热装置的工作,不需要人为将活动柜上下移动,减少了人工操作,提高了装置的机械化水平。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显:图1为本技术结构示意图;图2为本技术内部结构示意图。图中:1-箱门,2-控制器,3-排风管,4-弧形加热管,5-活动柜,6-电机,7-吊绳,8-导向轮,9-滑轮,10-滑槽,11-置物架,12-水槽,13-箱体。具体实施方式下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术,而非对该技术的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与技术相关的部分。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。如图1、2所示,一种用于脱离PBN坩埚的装置,包括箱体13,箱体13的内部设有位于下方的水槽12及位于水槽12上方的活动柜5,所述活动柜5可以上下移动且可以进入到所述水槽12中。活动柜5上设有用于放置PBN坩埚的置物架11,所述置物架11可漏水,当活动柜5移动至水槽12中时,水槽12中的溶解液能够将B2O3覆盖剂溶解,溶解完毕后,将活动柜5上移,沾附在PBN坩埚上的液体会再次流入到水槽12中,一段时间后即可取出PBN坩埚,将晶锭取出。本实施例中,所述置物架11水平设置,置物架11有具有一定间隔的条状杆组成,这样能够方便活动柜5在提升后液体能快速向下滴落到水槽12中。置物架11可以设置多个,以提高容纳PBN坩埚的量,提高生产效率。所述活动柜5的上下移动通过提升装置带动。具体的,所述提升装置包括电机6、吊绳7及导向轮8。吊绳7的一端连接在电机6的输出轴上,另一端搭在导向轮8上方后连接在活动柜5上,本实施例中,活动柜5的上端面为置物架11,因此,吊绳7的另一端与上端面的置物架11连接。为了提高在活动柜5移动的过程中的稳定性,避免因其晃动导致的晶锭的损坏,本装置在箱体13的后端面内侧设置了滑槽10,且滑槽10设有左右两个,在活动柜5的后端四角处分别设置了与滑槽10适配的滑轮9。这样在活动柜5上下移动的过程中滑轮9与滑槽10对活动柜5起到限位作用,保证了上下移动的流畅度与平稳度,对晶锭起到有效的保护作用。在水槽12的底部设置了弧形加热管4,在溶解时可以对溶解液进行加热,提高溶解速率。在箱体13的顶部还设有排风管3,在溶解的过程中打开排风管3,及时将溶解过程产生的有害气体排出,避免在后续打开箱门1取出PBN坩埚时,箱内大量有害气体对环境及操作人员造成危害。箱体13的前端为开口端,在开口端处设有箱门1,在溶解的过程将箱门1关闭,避免溶解产生的有害气体进入外界空气。箱门1设有上下两组,且每组箱门1均为双开式,在溶解完毕后取出PBN坩埚时,不需要将所有箱门1打开,避免因箱门大敞导致的溶解液的大量挥发,进一步提高了操作的安全性。电机6及弧形加热管均通过位于箱体13上的控制器2控制,提高了装置的机械本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于脱离PBN坩埚的装置,其特征在于,包括:/n箱体,其前端为开口端,开口端处设有箱门;/n水槽,其位于所述箱体内部;/n活动柜,其位于所述箱体内、水槽的上方,且可浸入到所述水槽中;/n置物架,其设置在所述活动柜上,所述置物架可漏水;/n提升装置,其位于箱体内并与所述活动柜连接,用于控制所述活动柜的上升与下降。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于脱离PBN坩埚的装置,其特征在于,包括:
箱体,其前端为开口端,开口端处设有箱门;
水槽,其位于所述箱体内部;
活动柜,其位于所述箱体内、水槽的上方,且可浸入到所述水槽中;
置物架,其设置在所述活动柜上,所述置物架可漏水;
提升装置,其位于箱体内并与所述活动柜连接,用于控制所述活动柜的上升与下降。


2.根据权利要求1所述的一种用于脱离PBN坩埚的装置,其特征在于,所述水槽的底部设有加热装置。


3.根据权利要求1所述的一种用于脱离PBN坩埚的装置,其特征在于,所述箱体的顶部还设有排风管。


4.根据权利要求1所述的一种用于脱离PBN坩埚的装置,其特征在于,所述箱体的后端面内侧设有滑槽,所述活动柜的后端设置有与所述滑槽适配的滑轮。


5.根据权利要求4所述的一种用于...

【专利技术属性】
技术研发人员:涂洁磊肖祥江刘祖明胡凯李雷余首柘吴佳豪
申请(专利权)人:云南师范大学
类型:新型
国别省市:云南;53

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