一种护罩喷铝遮蔽治具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种外层防外层防护罩喷铝遮蔽治具，包括治具本体，所述治具本体呈中空帽形结构，其包括上下依次同轴连接的外延部以及主体部，所述治具本体可匹配放置于外层防护罩内，且所述外延部和主体部分别对所述外层防护罩的顶面和内壁进行遮蔽；通过设计一种中空帽形结构的遮蔽治具，其与外层防护罩尺寸以及遮蔽面形状对应匹配设置，并以“放”为设计重点，喷涂作业前只需将治具放置于外层防护罩内即可实现有效遮蔽，实现快速且正确地使用，且有效遮挡铝原料喷溅到无需涂层的部分，解决了现有技术中存在的效率慢、偏差大且杂质残留多的技术问题。多的技术问题。多的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种护罩喷铝遮蔽治具


[0001]本技术涉及涂层喷涂领域，具体涉及一种护罩喷铝遮蔽治具。

技术介绍

[0002]EnCore TaN机型属于半导体制造其中一环，主要用于金属物理气象沈积(PVD)领域，广泛用于28nm以下制程，因集成电路制造工艺需要，其中部件护罩需要进行表面处理，于特定部位制作铝涂层。由于喷涂层是针对护罩上的部分使用面，而非使用面则无需喷涂，因此在喷涂作业前需对其非喷涂部分进行遮蔽。
[0003]申请号为CN201821174719.7的中国技术专利公开了半导体钨化硅装置覆盖环部件洗净喷砂专用保护治具，包括治具本体，所述治具本体为圆环状结构，其结构包括外保护层和内保护层，所述外保护层和内保护层相连接，且外保护层高于内保护层；所述外保护层包括相连接的外覆盖层和外环绕圈，所述内保护层包括相连接的中间层和内环绕圈，所述内环绕圈底部设置有内覆盖层；所述外环绕圈与中间层连接；所述外环绕圈、中间层、内环绕圈之间围成一定位凹槽，其中外环绕圈的最低平面低于中间层的最低平面。
[0004]然而现有传统方法是使用遮蔽材料进行区隔，其有以下缺点：1.效率慢；2.偏差大；3、杂质残留多。

技术实现思路

[0005]针对以上问题，本技术提供了一种外层防护罩喷铝遮蔽治具，通过设计一种中空帽形结构的遮蔽治具，其与外层防护罩尺寸以及遮蔽面形状对应匹配设置，并以“放”为设计重点，喷涂作业前只需将治具放置于外层防护罩内即可实现有效遮蔽，实现快速且正确地使用，且有效遮挡铝原料喷溅到无需涂层的部分，解决了现有技术中存在的效率慢、偏差大且杂质残留多的技术问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种外层防护罩喷铝遮蔽治具，包括治具本体，所述治具本体呈中空帽形结构，其包括上下依次同轴连接的外延部以及主体部，所述治具本体可匹配放置于外层防护罩内，且所述外延部和主体部分别对所述外层防护罩的顶面和内壁进行遮蔽。
[0008]作为优选，所述外延部为环状结构，所述主体部为中空筒状结构，所述外延部与主体部的内径相同。
[0009]作为优选，所述外层防护罩包括中空筒体、由所述中空筒体的轴向一端沿径向向外延伸的外环部、由所述中空筒体的轴向另一端沿径向向内延伸的内环部以及由所述内环部的延伸端沿轴向向上延伸的圆环部，所述圆环部的高度小于中空筒体的高度。
[0010]作为优选，所述中空筒体的内壁高于所述圆环部的部分为竖直遮蔽面，所述外环部的上表面为水平遮蔽面。
[0011]作为优选，所述主体部的外径与所述中空筒体的内径相匹配，所述主体部的外圆周面形成用于遮蔽所述竖直遮蔽面的竖直覆盖面。
[0012]作为优选，所述外延部的外径大于所述外环部的外径，所述外延部的下环面形成用于遮蔽所述水平遮蔽面的水平覆盖面。
[0013]作为优选，所述外延部与主体部为一体成型设置。
[0014]作为优选，所述治具本体采用白钢材质。
[0015]作为优选，所述外延部的高度小于所述主体部的高度。
[0016]本技术的有益效果在于：
[0017](1)本技术通过设计一种中空帽形结构的遮蔽治具，其与外层防护罩尺寸以及遮蔽面形状对应匹配设置，并以“放”为设计重点，喷涂作业前只需将治具放置于外层防护罩内即可实现有效遮蔽，实现快速且正确地使用，且有效遮挡铝原料喷溅到无需涂层的部分，提升作业人员作业正确性与作业效率，提高产品喷涂品质；
[0018](2)本技术的遮蔽治具采用白钢为主要材质，有抗高温、耐磨损、不易变形优点，提高喷涂遮蔽准确性以及治具的使用寿命。
附图说明
[0019]图1为本技术治具与外层防护罩安装状态示意图；
[0020]图2为本技术的治具整体结构示意图；
[0021]图3为本技术的外层防护罩整体结构示意图。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0024]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0025]实施例一
[0026]如图1
‑
2所示，一种外层防护罩喷铝遮蔽治具，包括治具本体1，所述治具本体1呈中空帽形结构，其包括上下依次同轴连接的外延部11以及主体部12，所述治具本体1可匹配放置于外层防护罩2内，且所述外延部11和主体部12分别对所述外层防护罩2的顶面和内壁进行遮蔽。
[0027]在本实施例中，通过设计一种中空帽形结构的遮蔽治具1，其与外层防护罩2的尺寸以及遮蔽面形状对应匹配设置，能够有效遮挡铝原料喷溅到无需涂层的部分，及下述所
述的竖直遮蔽面240以及水平遮蔽面220，仅露出剩余需要制作铝涂层的部分。
[0028]除此此外，以“放”为设计重点，喷涂作业前，作业人员只需将所述治具1从上往下套放于外层防护罩2内即可完成准确遮蔽，定位准确，不易松动，实现快速且正确地使用，进而提升作业人员作业正确性与作业效率，提高产品喷涂品质。
[0029]作为优选，所述外延部11为环状结构，所述主体部12为中空筒状结构，所述外延部11与主体部12的内径相同。
[0030]作为优选，如图3所示，所述外层防护罩2包括中空筒体21、由所述中空筒体21的轴向一端沿径向向外延伸的外环部22、由所述中空筒体21的轴向另一端沿径向向内延伸的内环部23以及由所述内环部23的延伸端沿轴向向上延伸的圆环部24，所述圆环部24的高度小于中空筒体21的高度。
[0031]作为优选，所述中空筒体21的内壁高于所述圆环部24的部分为竖直遮蔽面240，所述外环部22的上表面为水平遮蔽面220。
[0032]作为优选，所述主体部12的外径与所述中空筒体21的内径相匹配，所述主体部12的外圆周面形成用于遮蔽所述竖直遮蔽面240的竖直覆盖面210。
[0033]作为优选本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种护罩喷铝遮蔽治具，包括治具本体(1)，其特征在于，所述治具本体(1)呈中空帽形结构，其包括上下依次同轴连接的外延部(11)以及主体部(12)，所述治具本体(1)可匹配放置于外层防护罩(2)内，且所述外延部(11)和主体部(12)分别对所述外层防护罩(2)的顶面和内壁进行遮蔽。2.根据权利要求1所述的一种护罩喷铝遮蔽治具，其特征在于，所述外延部(11)为环状结构，所述主体部(12)为中空筒状结构，所述外延部(11)与主体部(12)的内径相同。3.根据权利要求2所述的一种护罩喷铝遮蔽治具，其特征在于，所述外层防护罩(2)包括中空筒体(21)、由所述中空筒体(21)的轴向一端沿径向向外延伸的外环部(22)、由所述中空筒体(21)的轴向另一端沿径向向内延伸的内环部(23)以及由所述内环部(23)的延伸端沿轴向向上延伸的圆环部(24)，所述圆环部(24)的高度小于中空筒体(21)的高度。4.根据权利要求3所述的一种护罩喷铝遮蔽治具，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨苏圣，
申请(专利权)人：湖州科秉电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：