一种晶圆机械减薄用边缘处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种晶圆机械减薄用边缘处理装置，包括滑轨，所述滑轨外壁套接有固定滑块，且固定滑块通过螺栓与滑轨紧固连接，所述固定滑块上端固定连接有锯齿外螺纹套柱装置，所述锯齿外螺纹套柱装置包括固定底座、外螺纹固定套柱和锯齿柱，所述固定底座上端固定连接有外螺纹固定套柱，通过对固定螺帽、锯齿外螺纹套柱装置和可调式支撑杆装置进行操作，就可以进行角度调节工作，同时通过对可调式支撑杆装置进行操作以及对滑轨和固定滑块进行操作，就可以进行高度调节工作和位置调节，从而在使用的过程中，就会避免对晶圆造成损坏，并且整个装置在使用的过程中，无需人工进行操作，这样就提高了生产效率。这样就提高了生产效率。这样就提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆机械减薄用边缘处理装置


[0001]本技术属于晶圆生产加工相关
，具体涉及一种晶圆机械减薄用边缘处理装置。

技术介绍

[0002]圆晶(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶；圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片；单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶。
[0003]现有的晶圆生产加工技术存在以下问题：现有的晶圆在进行机械减薄生产加工的时候，边缘就会容易产生毛刺，目前在对晶圆边缘进行处理工作的时候，就需要人工进行毛刺去除工作，这样不仅降低了生产效率，而且还增加了晶圆的损坏率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆机械减薄用边缘处理装置，以解决上述
技术介绍
中提出的降低了生产效率和增加了晶圆的损坏率问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆机械减薄用边缘处理装置，包括滑轨，所述滑轨外壁套接有固定滑块，且固定滑块通过螺栓与滑轨紧固连接，所述固定滑块上端固定连接有锯齿外螺纹套柱装置，所述锯齿外螺纹套柱装置包括固定底座、外螺纹固定套柱和锯齿柱，所述固定底座上端固定连接有外螺纹固定套柱，所述外螺纹固定套柱内壁固定连接有锯齿柱，所述锯齿外螺纹套柱装置上侧内部套接有可调式支撑杆装置，所述可调式支撑杆装置包括固定插孔、紧固螺栓、齿轮柱、外固定套柱、凸字形内螺纹固定孔、内支撑柱和外螺纹连接体，所述齿轮柱上端固定连接有外固定套柱，所述外固定套柱前后两端上侧开设有凸字形内螺纹固定孔，所述外固定套柱上侧套接有内支撑柱，所述内支撑柱前后两端开设有多个固定插孔，所述内支撑柱通过紧固螺栓、凸字形内螺纹固定孔和固定插孔与外固定套柱紧固连接，所述内支撑柱上侧外壁开设有外螺纹连接体，所述可调式支撑杆装置外壁套接有固定螺帽，且可调式支撑杆装置通过固定螺帽与锯齿外螺纹套柱装置螺纹连接，所述可调式支撑杆装置上侧螺纹连接有内螺纹套柱，所述内螺纹套柱上端固定连接有凹字形固定框架，所述凹字形固定框架左侧通过螺栓个螺栓固定连接有磨砂带。
[0006]优选的，所述滑轨的形状结构为工字形方柱结构，所述滑轨外壁提油防氧化漆层结构，所述滑轨底端两侧开设有多个固定圆孔，且固定圆孔呈等间隔横向分布在滑轨底端两侧，同时通过螺栓穿过固定圆孔，可以使得滑轨与机械减薄装置的固定端固定连接。
[0007]优选的，所述固定滑块的厚度为五毫米，所述固定滑块前后两端开设有凸字形内螺纹圆孔，所述固定滑块内、外两壁涂有防氧化漆层结构。
[0008]优选的，所述锯齿外螺纹套柱装置的高度为三厘米，所述锯齿外螺纹套柱装置内、
外两壁涂有防氧化漆层结构。
[0009]优选的，所述可调式支撑杆装置中的齿轮柱的高度为二点五厘米，所述可调式支撑杆装置外壁涂有防氧化漆层结构。
[0010]优选的，所述凹字形固定框架左侧上下两端固定连接有凹字形固定座，且凹字形固定座两端开设有凸字形圆孔，且通过凸字形圆孔，方便螺栓和螺帽对磨砂带固定连接，所述凹字形固定框架内、外两壁位置处涂有防氧化漆层结构。
[0011]优选的，所述磨砂带上下两端固定连接有连接插板，且连接插板中间开设有通过圆孔，所述磨砂带的厚度为三毫米。
[0012]与现有技术相比，本技术提供了一种晶圆机械减薄用边缘处理装置，具备以下有益效果：
[0013]本技术通过对固定螺帽、锯齿外螺纹套柱装置和可调式支撑杆装置进行操作，就可以进行角度调节工作，同时通过对可调式支撑杆装置进行操作以及对滑轨和固定滑块进行操作，就可以进行高度调节工作和位置调节，从而在使用的过程中，就会避免对晶圆造成损坏，并且整个装置在使用的过程中，无需人工进行操作，这样就提高了生产效率。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制，在附图中：
[0015]图1为本技术提出的一种晶圆机械减薄用边缘处理装置结构示意图；
[0016]图2为本技术提出的锯齿外螺纹套柱装置正视结构示意图；
[0017]图3为本技术提出的锯齿外螺纹套柱装置俯视结构示意图；
[0018]图4为本技术提出的可调式支撑杆装置结构示意图；
[0019]图中：1、磨砂带；2、可调式支撑杆装置；21、固定插孔；22、紧固螺栓；23、齿轮柱；24、外固定套柱；25、凸字形内螺纹固定孔；26、内支撑柱；27、外螺纹连接体；3、固定螺帽；4、滑轨；5、固定滑块；6、锯齿外螺纹套柱装置；61、固定底座；62、外螺纹固定套柱；63、锯齿柱；7、内螺纹套柱；8、凹字形固定框架。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种晶圆机械减薄用边缘处理装置，包括滑轨4，滑轨4的形状结构为工字形方柱结构，滑轨4外壁提油防氧化漆层结构，滑轨4底端两侧开设有多个固定圆孔，且固定圆孔呈等间隔横向分布在滑轨4底端两侧，同时通过螺栓穿过固定圆孔，可以使得滑轨4与机械减薄装置的固定端固定连接，通过滑轨4，方便固定滑块5进行滑动工作，同时也为了更好地进行固定支撑工作，滑轨4外壁套接有固定滑块5，且固定滑块5通过螺栓与滑轨4紧固连接，固定滑块5的厚度为五毫米，固定滑块5前后两端开设有凸字形内螺纹圆孔，固定滑块5内、外两壁涂有防氧化漆层结构，通过固定滑块
5，可以更好地进行位置调节工作，同时也为了更好地进行固定连接工作和固定支撑工作，固定滑块5上端固定连接有锯齿外螺纹套柱装置6，锯齿外螺纹套柱装置6包括固定底座61、外螺纹固定套柱62和锯齿柱63，固定底座61上端固定连接有外螺纹固定套柱62，外螺纹固定套柱62内壁固定连接有锯齿柱63，锯齿外螺纹套柱装置6的高度为三厘米，锯齿外螺纹套柱装置6内、外两壁涂有防氧化漆层结构，通过锯齿外螺纹套柱装置6，可以更好地进行固定工作，同时也方便可调式支撑杆装置2进行角度调节工作，锯齿外螺纹套柱装置6上侧内部套接有可调式支撑杆装置2，可调式支撑杆装置2包括固定插孔21、紧固螺栓22、齿轮柱23、外固定套柱24、凸字形内螺纹固定孔25、内支撑柱26和外螺纹连接体27，齿轮柱23上端固定连接有外固定套柱24，外固定套柱24前后两端上侧开设有凸字形内螺纹固定孔25，外固定套柱24上侧套接有内支撑柱26，内支撑柱26前后两端开设有多个固定插孔21，内支撑柱26通过紧固螺栓22、凸字形内螺纹固定孔25和固定插孔21与外固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆机械减薄用边缘处理装置，包括滑轨(4)，其特征在于：所述滑轨(4)外壁套接有固定滑块(5)，且固定滑块(5)通过螺栓与滑轨(4)紧固连接，所述固定滑块(5)上端固定连接有锯齿外螺纹套柱装置(6)，所述锯齿外螺纹套柱装置(6)包括固定底座(61)、外螺纹固定套柱(62)和锯齿柱(63)，所述固定底座(61)上端固定连接有外螺纹固定套柱(62)，所述外螺纹固定套柱(62)内壁固定连接有锯齿柱(63)，所述锯齿外螺纹套柱装置(6)上侧内部套接有可调式支撑杆装置(2)，所述可调式支撑杆装置(2)包括固定插孔(21)、紧固螺栓(22)、齿轮柱(23)、外固定套柱(24)、凸字形内螺纹固定孔(25)、内支撑柱(26)和外螺纹连接体(27)，所述齿轮柱(23)上端固定连接有外固定套柱(24)，所述外固定套柱(24)前后两端上侧开设有凸字形内螺纹固定孔(25)，所述外固定套柱(24)上侧套接有内支撑柱(26)，所述内支撑柱(26)前后两端开设有多个固定插孔(21)，所述内支撑柱(26)通过紧固螺栓(22)、凸字形内螺纹固定孔(25)和固定插孔(21)与外固定套柱(24)紧固连接，所述内支撑柱(26)上侧外壁开设有外螺纹连接体(27)，所述可调式支撑杆装置(2)外壁套接有固定螺帽(3)，且可调式支撑杆装置(2)通过固定螺帽(3)与锯齿外螺纹套柱装置(6)螺纹连接，所述可调式支撑杆装置(2)上侧螺纹连接有内螺纹套柱(7)，所述内螺纹套柱(7)上端固定连接有凹字形固定框架(8)，所述凹字形固定框架(8)左侧通过螺栓个螺栓固定连接有磨...

【专利技术属性】
技术研发人员：高增禄，陈新玲，常杰，
申请(专利权)人：新郑市宝德高技术有限公司，
类型：新型
国别省市：