光电传感器安装机构及真空设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光电传感器安装机构及真空设备，真空设备包括腔体、光电传感器和至少两个光电传感器安装机构，光电传感器安装机构包括：安装件，安装件内设置有两端开口的第一通道；视窗件，设置于安装件的一端，以传输光束和封堵第一通道的对应端的开口；封堵结构，设置于安装件，封堵结构能够封堵或者避让第一通道。设置有封堵结构，当视窗件需要维护时，通过封堵结构封堵第一通道，隔断视窗件与腔体的内腔的连通，在内腔处于真空状态下即拆卸视窗件进行维护，与现有技术相比，本技术方案无需真空设备破真空即可维护视窗件，节省时间，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
光电传感器安装机构及真空设备


[0001]本技术涉及真空设备
，特别涉及一种光电传感器安装机构及真空设备。

技术介绍

[0002]真空设备被广泛应用于现代化工业生产，通常要求真空设备的腔体内部元器件耐高温、低放气率、高可靠性等。光电传感器具有检测距离长、非接触检测、快速相应、分辨率高、便于调整等优点，被广泛安装在腔体外部用于监测工件状态。
[0003]通常，光电传感器直接安装在真空设备的腔体上，光电传感器的发射器发射光束穿过视窗件和腔体，光电传感器的接收器接收光束，视窗件能够传输光束。在使用过程中，视窗件表面不可避免地吸附腔体内的粒子造成透光率降低，影响检测效果甚至无法正常检测。如果需要维护视窗件，真空设备必须停机破真空至大气状态，而工作中的真空设备，尤其是真空镀膜生产线，停机到大气状态进行维护，再到开机正常生产，需要消耗大量的时间和经济成本。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种光电传感器安装机构，所述光电传感器安装机构无需真空设备破真空即可维修，节省时间，降本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.光电传感器安装机构，其特征在于，包括：安装件(10)，所述安装件(10)内设置有两端开口的第一通道(11)；视窗件(20)，设置于所述安装件(10)的一端，以传输光束或者封堵所述第一通道(11)的对应端的开口；封堵结构(30)，设置于所述安装件(10)，所述封堵结构(30)能够封堵或者避让所述第一通道(11)。2.根据权利要求1所述的光电传感器安装机构，其特征在于，所述封堵结构(30)包括：连接件(31)，设置在所述安装件(10)上，所述连接件(31)内设置有第二通道(311)，所述第二通道(311)与所述第一通道(11)连通；阀芯(32)，设置在所述第二通道(311)内，并能够沿所述第二通道(311)轴向移动；密封端面(33)，设置在所述第一通道(11)的侧壁；其中，所述阀芯(32)能够移动至所述第一通道(11)，并与所述密封端面(33)配合以封堵所述第一通道(11)。3.根据权利要求2所述的光电传感器安装机构，其特征在于，所述安装件(10)与所述连接件(31)之间呈小于90度角度设置，且所述连接件(31)背离所述安装件(10)的一端靠近所述视窗件(20)。4.根据权利要求1所述的光电传感器安装机构，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志海，邝斌，陈金良，齐鹏飞，赖新暖，
申请(专利权)人：中山瑞科新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：