下载光电传感器安装机构及真空设备的技术资料

文档序号:29164401

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本实用新型公开了一种光电传感器安装机构及真空设备,真空设备包括腔体、光电传感器和至少两个光电传感器安装机构,光电传感器安装机构包括:安装件,安装件内设置有两端开口的第一通道;视窗件,设置于安装件的一端,以传输光束和封堵第一通道的对应端的开口...
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