本实用新型专利技术公开了一种InP清洗用水枪水压控制装置及包含它的水枪，InP清洗用水枪水压控制装置，包括螺纹管、螺纹杆、螺帽和套环；螺纹管内侧设有内螺纹，螺纹管一端为控制端、另一端为连接端，螺纹管的连接端设有连接口，螺纹管的侧壁上设有两条相对设置、且与螺纹管的长度方向一致的长条滑孔；螺纹杆的一端连接螺帽，螺纹杆的另一端从螺纹管的控制端伸入螺纹管内、并与螺纹管内侧形成螺纹连接，螺帽留在螺纹管外；套环可旋转地连接在螺纹杆伸入螺纹管内一端的端部。上述装置可保证在InP衬底清洗过程中，出水水压一致，从而保证晶圆表面受水均匀，达到晶圆表面均匀清洗的效果，减轻了操作者的工作强度，提高了InP晶圆表面洁净度和一致性，提升了产品质量。提升了产品质量。提升了产品质量。
【技术实现步骤摘要】
一种InP清洗用水枪水压控制装置及包含它的水枪
[0001]本技术涉及一种InP清洗用水枪水压控制装置及包含它的水枪，属于半导体清洗
技术介绍
[0002]近年来，半导体器件和大规模集成电路的需求量越来越大，相应的电性能和可靠性要求也越来越高。这样一来，如何使半导体材料抛光片表面洁净度尽可能提高，成为了加工生产过程中需要解决的重要问题。现有技术中，InP衬底在清洗时，需要操作者手握水枪冲洗晶圆表面，通过控制水枪上出水按压杆的角度，控制水量大小，不仅劳动强度大，且即便是同一个操作者操作，也难以保证清洗过程中水压的恒定，进而影响清洗效果。
技术实现思路
[0003]本技术提供一种InP清洗用水枪水压控制装置及包含它的水枪，可以在控制水枪水压稳定的同时，减轻了操作者的工作强度，提高了InP晶圆表面的洁净度和一致性，提升了产品质量。
[0004]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案如下：
[0005]一种InP清洗用水枪水压控制装置，包括螺纹管、螺纹杆、螺帽和套环；螺纹管内侧设有内螺纹，螺纹管一端为控制端、另一端为连接端，螺纹管的连接端设有连接口，螺纹管的侧壁上设有两条相对设置的长条滑孔，滑孔的长度方向与螺纹管的长度方向一致；螺纹杆的一端连接螺帽，螺纹杆的另一端从螺纹管的控制端伸入螺纹管内、并与螺纹管内侧形成螺纹连接，螺帽的直径大于螺纹管的内径，螺帽留在螺纹管外；套环可旋转地连接在螺纹杆伸入螺纹管内一端的端部。
[0006]使用时，将水枪上的出水按压杆的端部同时穿过两条长条滑孔和套环，将螺纹管的连接口连接在水枪的连接件上，旋转螺纹杆，螺纹杆带动套环移动，进而带动出水按压杆的转动，进而实现出水按压杆角度的调整，从而实现水压的调整，水压调整好后，停止旋转螺纹杆，可确保水压在整个冲洗过程中的一致性。
[0007]螺纹管的侧壁上设有两条相对设置的长条滑孔，为出水按压杆的位置调整提供空间，且出水按压杆同时穿过两条长条滑孔和套环，也即出水按压杆的端部是超出螺纹管的侧壁的，可以有效避免出水按压杆从套环中滑出，确保冲洗的稳定性。套环可旋转地连接在螺纹杆伸入螺纹管内一端的端部，也即在旋转螺纹杆时，在出水按压杆的限制下，套环相对出水按压杆是静止的，相对螺纹杆是旋转的，这样不会因螺纹杆的旋转而影响套环相对出水按压杆的位置。
[0008]作为其中一种实现的方案，套环的外侧设有旋转球，螺纹杆伸入螺纹管内一端的端部设有与旋转球匹配的球形凹槽，旋转球位于球形凹槽内、并可相对球形凹槽旋转。
[0009]为了提高控制的精准性，螺纹管由透明材质制备，螺纹管上设有刻度值。这样可更加精准地调整螺纹杆在螺纹管内的位置，进而确保不同批次晶圆清洗的一致性。
[0010]一种InP清洗用水枪，包括水枪本体和上述InP清洗用水枪水压控制装置，水枪本体包括第一水管、第二水管和出水按压杆，第一水管一端设有喷洒头、另一端与第二水管的一端连通，第二水管的另一端连接水源管路，第一水管与第二水管呈90～150
°
夹角，出水按压杆连接在第一水管上、且与第二水管位于同一侧，第二水管上设有连接件，螺纹管的连接口连接在连接件上；出水按压杆的端部同时穿过两条长条滑孔和套环。
[0011]上述通过旋转螺纹杆可使出水按压杆从自由状态压缩至其最大转动角度。作为常识，出水按压杆自由状态时的出水量为零，压缩至其最大转动角度的出水量为最大出水量。
[0012]使用时，旋转螺纹杆，螺纹杆带动套环移动，进而带动出水按压杆的转动，进而实现出水按压杆角度的调整，从而实现水压的调整，水压调整好后，停止旋转螺纹杆，可确保水压在整个冲洗过程中的一致性。
[0013]组装时，先将出水按压杆的端部同时穿过两条长条滑孔和套环，然后再将螺纹管的连接口连接在连接件上。
[0014]本申请对出水按压杆的结构和控制水压的原理等无特别改进，因此不再赘述。
[0015]上述装置通过旋转螺纹杆即可实现对水量的控制，且可保证清洗过程中压力的恒定。
[0016]为了方便使用，第二水管上与连接件相对的一侧设有挂钩。
[0017]使用时，可通过挂钩将水枪挂置在机台上，然后通过控制螺纹杆达到清洗InP时所需的水压，冲洗水通过喷洒口完全的喷洒在InP衬底表面，提高了晶圆表面的清洗力度，为员工提供便利的同时，保证了清洗水量水压的稳定，降低了劳动强度，为晶圆表面质量提供保障，本设计结构简单，操作方便，值得推广。
[0018]作为另一种实现方案，第二水管上与连接件相对的一侧设有固定环，固定环内侧设有内螺纹。这样可通过螺栓将水枪临时固定在机台上，以确保冲洗的稳定性。
[0019]为了延长装置的使用寿命，确保装置的洁净性，第一水管、第二水管和出水按压杆所用材质均为特氟龙。前述材料防酸防碱、洁净性好。
[0020]作为一种实现方案，第二水管上的连接件与螺纹管的连接口螺纹连接。旋紧状态下，出水按压杆与两条长条滑孔相对，也即使对出水按压杆在不可转动的方向上形成扭转变形。
[0021]作为另一种实现方案，第二水管的连接件上设有卡槽，螺纹管的连接口上设有与卡槽匹配的弹性凸起，螺纹管的连接口插接在第二水管的连接件上、且弹性凸起卡合在卡槽内。类似于笔管、笔套的配合，这样既方便操作，又能确保装置的使用稳定性。
[0022]本技术未提及的技术均参照现有技术。
[0023]本技术InP清洗用水枪水压控制装置，可保证在InP衬底清洗过程中，出水水压一致，从而保证晶圆表面受水均匀，达到晶圆表面均匀清洗的效果，减轻了操作者的工作强度，提高了InP晶圆表面洁净度和一致性，提升了产品质量。
附图说明
[0024]图1为本技术InP清洗用水枪水压控制装置的结构示意图；
[0025]图2为本技术螺纹管的结构示意图；
[0026]图3为本技术InP清洗用水枪的结构示意图一；
[0027]图4为本技术InP清洗用水枪的结构示意图二；
[0028]图中，1为螺纹管，11为连接口，12为长条滑孔，13为刻度值，2为螺纹杆，3为螺帽，4为套环，41为球形凹槽(旋转球)，5为第一水管,51为喷洒头，6为第二水管，7为出水按压杆，8为挂钩，9为固定环。
具体实施方式
[0029]为了更好地理解本技术，下面结合实施例进一步阐明本技术的内容，但本技术的内容不仅仅局限于下面的实施例。
[0030]本申请“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等方位词为基于附图所示或使用状态时的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0031]实施例1
[0032]如图1<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种InP清洗用水枪水压控制装置，其特征在于：包括螺纹管、螺纹杆、螺帽和套环；螺纹管内侧设有内螺纹，螺纹管一端为控制端、另一端为连接端，螺纹管的连接端设有连接口，螺纹管的侧壁上设有两条相对设置的长条滑孔，滑孔的长度方向与螺纹管的长度方向一致；螺纹杆的一端连接螺帽，螺纹杆的另一端从螺纹管的控制端伸入螺纹管内、并与螺纹管内侧形成螺纹连接，螺帽的直径大于螺纹管的内径，螺帽留在螺纹管外；套环可旋转地连接在螺纹杆伸入螺纹管内一端的端部。2.如权利要求1所述的InP清洗用水枪水压控制装置，其特征在于：套环的外侧设有旋转球，螺纹杆伸入螺纹管内一端的端部设有与旋转球匹配的球形凹槽，旋转球位于球形凹槽内、并可相对球形凹槽旋转。3.如权利要求1或2所述的InP清洗用水枪水压控制装置，其特征在于：螺纹管由透明材质制备，螺纹管上设有刻度值。4.一种InP清洗用水枪，包括水枪本体和权利要求1
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3任意一项所述的InP清洗用水枪水压控制装置，水枪本体包括第一水管、第二水管和出水按压杆，第一水管一端设有喷洒头、另一端与第二水管连通，第...
【专利技术属性】
技术研发人员：张成龙，柯尊斌，王卿伟，
申请(专利权)人：中锗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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