本实用新型专利技术公开了一种光刻机基底架的精密抛光装置，包括箱体，箱体内固定安装有吸尘设备、电机和冷风机，箱体的顶部开设有圆孔、吸尘孔和冷风孔，圆孔内固定安装有轴承，轴承的一端固定连接有电机的传动轴，轴承的另一端固定安装有旋转轴，旋转轴的一端固定安装在有磨盘，箱体上固定连接有环形挡板，环形挡板内壁上固定连接有环形卡条，箱体上还固定连接有弹簧支撑柱，弹簧支撑柱的一端固定连接有盖板，盖板的两侧固定连接有挂钩，盖板的底部固定连接有橡胶压板；本申请，能够对圆架进行密封打磨，避免粉尘飞扬，避免了粉尘对操作人员造成身体伤害，避免了浪费水资源和避免了圆架与水接触氧化，增加了基底架的使用寿命。增加了基底架的使用寿命。增加了基底架的使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻机基底架的精密抛光装置
[0001]本技术涉及抛光装置
，具体为一种光刻机基底架的精密抛光装置。
技术介绍
[0002]光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
[0003]光刻机基底架在安装前需要进行精密抛光，现有的基底架抛光大部分是露天操作，会产生粉尘，操作人员在呼吸时容易将粉尘吸入到肺部内部，增加操作人员的患病风险，且大部分抛光设备在运行时需要用水对磨盘进行降温，但用水降温时，基底架与水接触容易氧化，降低基底架的使用寿命。因此，提出一种光刻机基底架的精密抛光装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种光刻机基底架的精密抛光装置，以解决上述
技术介绍
中提出现有的基底架抛光大部分是露天操作，会产生粉尘，操作人员在呼吸时容易将粉尘吸入到肺部内部，增加操作人员的患病风险，且大部分抛光设备在运行时需要用水对磨盘进行降温，但用水降温时，基底架与水接触容易氧化，降低基底架的使用寿命的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光刻机基底架的精密抛光装置，包括：
[0006]箱体，所述箱体内固定安装有吸尘设备、电机和冷风机，所述箱体的顶部开设有圆孔、吸尘孔和冷风孔；
[0007]所述圆孔内固定安装有轴承，所述轴承的一端固定连接有电机的传动轴，所述轴承的另一端固定安装有旋转轴，所述旋转轴的一端固定安装在有磨盘；
[0008]所述吸尘孔的一端与所述吸尘设备相连通，所述冷风孔与所述冷风机相连通；
[0009]所述箱体上固定连接有环形挡板，所述环形挡板内壁上固定连接有环形卡条，所述箱体上还固定连接有弹簧支撑柱，所述弹簧支撑柱的一端固定连接有盖板，所述盖板的两侧固定连接有挂钩，所述盖板的底部固定连接有橡胶压板，所述箱体的两侧固定连接有拉紧扣。
[0010]通过采用上述技术方案，首先启动箱体内的电机、冷风机和吸尘设备，然后将圆架放置到环形挡板内的环形卡条上，将拉紧扣上的拉绳扣到盖板上的挂钩上，将圆架向下压紧并与磨盘相贴合，整体圆架位于环形挡板内，在对圆架进行密封打磨时，避免粉尘飞扬，吸尘设备能够将打磨的粉尘吸附收集，避免了粉尘对操作人员造成身体伤害，其次通过电机带动磨盘旋转，将圆架的上表面打磨光滑，冷风机吹冷风为磨盘降温，避免了浪费水资源和避免了圆架与水接触氧化，增加了基底架的使用寿命。
[0011]优选的，所述箱体为圆柱形结构。
[0012]通过采用上述技术方案，箱体设置为圆柱结构能够与环形挡板相配合。
[0013]优选的，所述拉紧扣设置有两组，且所述拉紧扣上安装有用于拉紧所述挂钩的拉
绳。
[0014]通过采用上述技术方案，通过拉绳能够将盖板向下拉紧，盖板将圆架向下压并与磨盘相接触。
[0015]优选的，所述环形卡条上固定连接有环形橡胶垫，所述环形橡胶垫上放置有圆架。
[0016]通过采用上述技术方案，环形橡胶垫能够对圆架进行减震，更好的保护圆架。
[0017]优选的，所述冷风机的一侧开设有冷风口。
[0018]通过采用上述技术方案，冷风机的一侧冷风口能够为运转电机进行降温，增加电机使用寿命。
[0019]优选的，所述磨盘设置为树脂磨盘。
[0020]通过采用上述技术方案，树脂磨盘有耐磨性好，打磨精细等特点。
[0021]优选的，所述环形挡板为不锈钢挡板。
[0022]通过采用上述技术方案，确保了环形挡板的强度，能够更加稳定的支撑圆架在高速打磨的状态。
[0023]优选的，所述箱体的两侧开设有维修口。
[0024]通过采用上述技术方案，方便对箱体内部的电机、吸尘设备和冷风机进行检查修复。
[0025]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0026]1、本申请，通过将圆架放置到环形挡板内的环形卡条上，然后将拉紧扣上的拉绳扣到盖板上的挂钩上，将圆架向下压紧并与磨盘相贴合，整体圆架位于环形挡板内，在对圆架进行密封打磨时，避免粉尘飞扬，吸尘设备能够将打磨的粉尘吸附收集，避免了粉尘对操作人员造成身体伤害；
[0027]2、通过箱体内的电机带动磨盘旋转，将圆架的上表面打磨光滑，冷风机吹冷风为磨盘和电机进行降温，避免了浪费水资源和避免了圆架与水接触氧化，增加了基底架的使用寿命。
附图说明
[0028]图1为本技术的剖面结构示意图；
[0029]图2为本技术的另一剖面结构示意图；
[0030]图3为本技术的图1中B部放大图；
[0031]图4为本技术的图1中A部放大图；
[0032]图5为本技术的圆架结构示意图。
[0033]图中：1、箱体；2、吸尘设备；3、电机；4、冷风机；5、拉紧扣；6、弹簧支撑柱；7、拉绳；8、挂钩；9、盖板；10、圆架；11、橡胶压板；12、磨盘；13、环形挡板；14、环形卡条；15、环形橡胶垫；16、旋转轴；17、轴承；18、圆孔；19、传动轴；20、维修口；21、吸尘孔；41、冷风孔；42、冷风口。
具体实施方式
[0034]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0035]请参阅图1
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图5，本技术提供一种技术方案：
[0036]一种光刻机基底架的精密抛光装置，包括：
[0037]箱体1，箱体1为圆柱形结构，箱体1设置为圆柱结构能够与环形挡板13相配合，箱体1内固定安装有吸尘设备2、电机3和冷风机4，箱体1的顶部开设有圆孔18、吸尘孔21和冷风孔41，箱体1的两侧开设有维修口20，方便对箱体1内部的电机3、吸尘设备2和冷风机4进行检查修复。
[0038]圆孔18内固定安装有轴承17，轴承17的一端固定连接有电机3的传动轴19，轴承17的另一端固定安装有旋转轴16，旋转轴16的一端固定安装在有磨盘12，磨盘12设置为树脂磨盘，树脂磨盘有耐磨性好，打磨精细等特点。
[0039]吸尘孔21的一端与吸尘设备2相连通，冷风孔41与冷风机4相连通，冷风机4的一侧开设有冷风口42，冷风机4的一侧冷风口42能够为运转电机3进行降温，增加电机3使用寿命。
[0040]箱体1上固定连接有环形挡板13，环形挡板13的上沿低于圆架10的底部2公分，方便后期打磨完的圆架10从环形挡板13内取出，环形挡板13为不锈钢挡板，确保了环形挡板13的强度，能够更加稳定的支撑圆架10在高速打磨的状态，环形挡板13内壁上固定连接有环形卡条14，环形卡条14上固定连接有环形橡胶垫15，环形橡胶垫15上放本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻机基底架的精密抛光装置，其特征在于，包括：箱体（1），所述箱体（1）内固定安装有吸尘设备（2）、电机（3）和冷风机（4），所述箱体（1）的顶部开设有圆孔（18）、吸尘孔（21）和冷风孔（41）；所述圆孔（18）内固定安装有轴承（17），所述轴承（17）的一端固定连接有电机（3）的传动轴（19），所述轴承（17）的另一端固定安装有旋转轴（16），所述旋转轴（16）的一端固定安装有磨盘（12）；所述吸尘孔（21）的一端与所述吸尘设备（2）相连通，所述冷风孔（41）与所述冷风机（4）相连通；所述箱体（1）上固定连接有环形挡板（13），所述环形挡板（13）内壁上固定连接有环形卡条（14），所述箱体（1）上还固定连接有弹簧支撑柱（6），所述弹簧支撑柱（6）的一端固定连接有盖板（9），所述盖板（9）的两侧固定连接有挂钩（8），所述盖板（9）的底部固定连接有橡胶压板（11），所述箱体（1）的两侧固定连接有拉紧扣（5）。2.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡志华，何平，
申请(专利权)人：苏州航菱微精密组件有限公司，
类型：新型
国别省市：
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