增设导气管的掺杂剂掺杂装置及单晶炉制造方法及图纸

一种增设导气管的掺杂剂掺杂装置，包括石英钟罩、第一挂钩、石英杯、导气管，所述石英钟罩的顶部封闭，所述石英钟罩的底部开口，在石英钟罩内侧的顶部设有第一挂钩，所述第一挂钩包括第一钩部、第一连接部，所述第一连接部与石英钟罩连接，所述石英杯的顶部开口，所述石英杯的底部封闭，在石英杯的顶部设有吊耳，在石英杯内盛装掺杂剂，所述吊耳与第一钩部连接，所述导气管的上端与石英钟罩的底部开口对接，所述导气管的下端与石英坩埚的顶部开口对接，新的设计方案增加了导气管，气态掺杂剂全部进入导气管，然后集中进入石英坩埚，导气管的容积相比单晶炉的副炉室和主炉室的容积要小的多，掺杂剂的利用率高，避免了掺杂剂的浪费。

【技术实现步骤摘要】
增设导气管的掺杂剂掺杂装置及单晶炉
本技术涉及直拉法生产单晶硅设备
，特别涉及一种增设导气管的掺杂剂掺杂装置及单晶炉。
技术介绍
现有的8寸以及12寸砷、红磷N型硅单晶掺杂主要以气相挥发的掺杂方式，由于电阻率的要求，掺杂量较大。原掺杂装置的设计方案，依靠单晶炉内热量将掺杂剂气化，然后依靠氩气扩散进硅熔液，气态掺杂剂会扩散至单晶炉的副炉室和主炉室，只有部分进入石英坩埚的态掺杂剂与硅熔液接触，才能被有效利用，导致掺杂效率低，需要大量的掺杂剂进行掺杂，造成掺杂剂浪费。
技术实现思路
有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种掺杂效率高的增设导气管的掺杂剂掺杂装置。还有必要提出一种单晶炉。一种增设导气管的掺杂剂掺杂装置，包括石英钟罩、第一挂钩、石英杯、导气管，所述石英钟罩的顶部封闭，所述石英钟罩的底部开口，在石英钟罩内侧的顶部设有第一挂钩，所述第一挂钩包括第一钩部、第一连接部，所述第一连接部与石英钟罩连接，所述石英杯的顶部开口，所述石英杯的底部封闭，在石英杯的顶部设有吊耳，在石英杯内盛装掺杂剂，所述吊耳与第一钩部连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种增设导气管的掺杂剂掺杂装置，其特征在于：包括石英钟罩、第一挂钩、石英杯、导气管，所述石英钟罩的顶部封闭，所述石英钟罩的底部开口，在石英钟罩内侧的顶部设有第一挂钩，所述第一挂钩包括第一钩部、第一连接部，所述第一连接部与石英钟罩连接，所述石英杯的顶部开口，所述石英杯的底部封闭，在石英杯的顶部设有吊耳，在石英杯内盛装掺杂剂，所述吊耳与第一钩部连接，所述导气管的上端与石英钟罩的底部开口对接，所述导气管的下端与石英坩埚的顶部开口对接。/n

【技术特征摘要】
1.一种增设导气管的掺杂剂掺杂装置，其特征在于：包括石英钟罩、第一挂钩、石英杯、导气管，所述石英钟罩的顶部封闭，所述石英钟罩的底部开口，在石英钟罩内侧的顶部设有第一挂钩，所述第一挂钩包括第一钩部、第一连接部，所述第一连接部与石英钟罩连接，所述石英杯的顶部开口，所述石英杯的底部封闭，在石英杯的顶部设有吊耳，在石英杯内盛装掺杂剂，所述吊耳与第一钩部连接，所述导气管的上端与石英钟罩的底部开口对接，所述导气管的下端与石英坩埚的顶部开口对接。


2.如权利要求1所述的增设导气管的掺杂剂掺杂装置，其特征在于：所述导气管的下端的直径与石英坩埚的顶部开口的直径相等。


3.如权利要求1所述的增设导气管的掺杂剂掺杂装置，其特征在于：所述导气管的上端的直径与石英钟罩的底部开口的直径相等。


4.如权利要求1所述的增设导气管的掺杂剂掺杂装置，其特征在于：所述导气管的下端伸入至石英坩埚内腔，并与石英坩埚内的硅熔液液面接触。


5.如权利要求1所述的增设导气管的掺杂剂掺杂装置，其特征在于：所述导气管的纵截面成“工...

【专利技术属性】
技术研发人员：周文辉，伊冉，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64