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一种增设导气管的掺杂剂掺杂装置,包括石英钟罩、第一挂钩、石英杯、导气管,所述石英钟罩的顶部封闭,所述石英钟罩的底部开口,在石英钟罩内侧的顶部设有第一挂钩,所述第一挂钩包括第一钩部、第一连接部,所述第一连接部与石英钟罩连接,所述石英杯的顶部开...该专利属于宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。
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一种增设导气管的掺杂剂掺杂装置,包括石英钟罩、第一挂钩、石英杯、导气管,所述石英钟罩的顶部封闭,所述石英钟罩的底部开口,在石英钟罩内侧的顶部设有第一挂钩,所述第一挂钩包括第一钩部、第一连接部,所述第一连接部与石英钟罩连接,所述石英杯的顶部开...