一种用于单晶炉多次加料的石英筒制造技术

技术编号:29124987 阅读:39 留言:0更新日期:2021-07-02 22:19
本实用新型专利技术公开了一种用于单晶炉多次加料的石英筒,包括石英筒、第一环形耳、第二环形耳、吊孔和筒塞子,所述石英筒顶部外围设有第一环形耳,所述第一环形耳底部且位于石英筒上设有第二环形耳,所述第一环形耳和第二环形耳上均分布贯穿开设有吊孔。通过将石英筒吊入单晶炉副室顶部,对石英筒内加入硅料,通过筒塞子对石英筒顶部进行盖合,通过隔板对石英筒底端的锥状出料口封堵,而后关闭副室,抽真空,再打开隔板,使石英筒内的硅料下落,实现给石英坩埚在真空状态下,二次添加硅料;整体加料石英筒可以实现多次加料,从而使石英坩埚的使用次数最大化,最大程度的缩减停机,开机次数,有效提高使用寿命,大大降低维护检修成本。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶炉多次加料的石英筒
本技术涉及石英筒
,特别涉及一种用于单晶炉多次加料的石英筒。
技术介绍
直拉式真空高温单晶炉,在使用过程中,石英坩埚有相应的寿命,而一次装料后,拉晶棒完成后,需要停机再次装料到坩埚中,坩埚需要拿出,容易损坏坩埚;且停机降温/开机升温,都需要时间和电能,是一种浪费,缺乏一种能够无需停机和取出坩埚的加料机构。为此,我们提出一种用于单晶炉多次加料的石英筒。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种用于单晶炉多次加料的石英筒,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种用于单晶炉多次加料的石英筒,包括石英筒、第一环形耳、第二环形耳、吊孔和筒塞子,所述石英筒顶部外围设有第一环形耳,所述第一环形耳底部且位于石英筒上设有第二环形耳,所述第一环形耳和第二环形耳上均分布贯穿开设有吊孔。进一步地,所述石英筒顶部进料口盖设有筒塞子,所述筒塞子顶部开设有扣槽。进一步地,所述石英筒内底部为锥状出料口,所述石英筒底部的壁厚厚于石英筒顶部。进一步地,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于单晶炉多次加料的石英筒,包括石英筒(1)、第一环形耳(2)、第二环形耳(3)、吊孔(7)和筒塞子(4),其特征在于,所述石英筒(1)顶部外围设有第一环形耳(2),所述第一环形耳(2)底部且位于石英筒(1)上设有第二环形耳(3),所述第一环形耳(2)和第二环形耳(3)上均分布贯穿开设有吊孔(7)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉多次加料的石英筒,包括石英筒(1)、第一环形耳(2)、第二环形耳(3)、吊孔(7)和筒塞子(4),其特征在于,所述石英筒(1)顶部外围设有第一环形耳(2),所述第一环形耳(2)底部且位于石英筒(1)上设有第二环形耳(3),所述第一环形耳(2)和第二环形耳(3)上均分布贯穿开设有吊孔(7)。


2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉多次加料的石英筒,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:英浩
申请(专利权)人:连云港保康石英制品有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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