一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板制造技术

本实用新型专利技术涉及溅射机光学成膜治具技术领域，尤其涉及一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，置于所述夹具与底座之间，包括隔板本体，其特征在于，所述隔板本体整体呈圆形，所述隔板本体的边缘均匀固定有至少三个凸沿，所述凸沿上均开设有透磁通孔，所述隔板本体上开设有若干用于透过底座对所述夹具位置检测的检测信号的信号透过孔。本实用新型专利技术通过在底座与夹具之间设置本消磁隔板，从而减小或消除因底座上磁铁吸附夹具而产生的过盛磁场，进而避免对溅射镀膜的磁场产生干扰，从而使溅射机对基板镀膜更加均匀，免受干扰，从而提高成品质量，节省材料，提高效率。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板
本技术涉及溅射机光学成膜治具
，尤其涉及一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板。
技术介绍
目前在溅射机镀膜8寸窄带产品片时会产生均匀性不良或均匀性范围太小，增大了成本。为了保证溅射机能够在基板上溅射均匀，溅射点子良好，需要治具的底座进行自转来维持镀膜均匀。底座自转时，为了保证夹具不会在自转和大盘公转的同时被甩飞出去而导致镀膜机损坏，底座需要加磁铁来对夹具进行吸附。由于溅射机本身原理就是磁场溅射，所以在底座加了磁铁后会对原本的磁场造成或多或少的破坏，进而对溅射磁场产生影响，从而导致镀膜均匀性不良，进而导致产品品质下降，材料成本、人工成本投入加大等不良影响。另外，目前窄带干涉滤光片可替代如光栅那样昂贵的分光器件，广泛应用于光学实验和工业领域。所以窄带滤光片的需求增大，若不改善磁场均匀性问题会造成很大成本上的浪费。因此，急需在底座和夹具之间加一个特殊设计的消磁隔板进行改进，从而保证不影响原本的镀膜磁场或者将影响降到最小，以便最大程度的保证镀膜均匀性良好，降低投入成本，增大产出。技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，置于所述夹具(101)与底座(102)之间，包括隔板本体(1)，其特征在于，所述隔板本体(1)整体呈圆形，所述隔板本体(1)的边缘均匀固定有至少三个凸沿(2)，所述凸沿(2)上均开设有透磁通孔(3)，所述隔板本体(1)上开设有若干用于透过底座(102)对所述夹具(101)位置检测的检测信号的信号透过孔(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，置于所述夹具(101)与底座(102)之间，包括隔板本体(1)，其特征在于，所述隔板本体(1)整体呈圆形，所述隔板本体(1)的边缘均匀固定有至少三个凸沿(2)，所述凸沿(2)上均开设有透磁通孔(3)，所述隔板本体(1)上开设有若干用于透过底座(102)对所述夹具(101)位置检测的检测信号的信号透过孔(4)。


2.根据权利要求1所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，各所述凸沿(2)与所述隔板本体(1)一体成型。


3.根据权利要求1所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述隔板本体(1)为金属材质。


4.根据权利要求1所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在于，所述隔板本体(1)的厚度为0.3～0.8mm。


5.根据权利要求1所述的溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林帆，王刚，
申请(专利权)人：浙江美迪凯光学半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33