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本实用新型涉及溅射机光学成膜治具技术领域，尤其涉及一种溅射镀膜夹具消磁用消磁隔板，置于所述夹具与底座之间，包括隔板本体，其特征在于，所述隔板本体整体呈圆形，所述隔板本体的边缘均匀固定有至少三个凸沿，所述凸沿上均开设有透磁通孔，所述隔板本体上...
该专利属于浙江美迪凯光学半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江美迪凯光学半导体有限公司授权不得商用。

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