【技术实现步骤摘要】
一种磁场动态叠加的磁流变抛光装置及抛光方法
本专利技术涉及超精密加工的
，更具体地，涉及一种磁场动态叠加的磁流变抛光装置及抛光方法。
技术介绍
随着光电子微电子器件应用的日益广泛，对相关元件的质量提出了更高的要求，需要在加工过程中最大限度地提高加工质量，磁流变抛光技术是基于磁流变效应提出的一种新型的光学表面加工方法，其加工过程是利用磁流变工作液在高梯度磁场下形成的高粘度、低流动性的“柔性抛光膜”对工件表面材料进行微量去除，具有不产生次表面损伤、适合曲面加工等传统抛光所不具备的优点，具有广阔的应用前景。但是由于传统的磁流变抛光属于点接触的抛光，需要控制抛光轮沿着工件表面按一定的轨迹扫描才能实现整个表面的加工，导致抛光效率低下，需要采取一定措施以提高磁流变抛光效率。中国专利CN201911422110.6公开了一种动态磁场磁流变抛光装置及抛光方法，以超声辅助提高化学反应速率以提高抛光效率，通过单元磁路的接通与断开，实现抛光盘磁场的动态变化，但此方案通过单元磁路的接通与断开所产生的动态磁场的动态均匀性差，且多个单元磁...
【技术保护点】
1.一种磁场动态叠加的磁流变抛光装置，包括机床(1)、设于机床(1)顶部的机架(2)、第一驱动组件(41)、第二驱动组件(42)、动磁场发生组件(3)、工件安装组件(6)和抛光盘组件(5)，所述动磁场发生组件(3)、抛光盘组件(5)和工件安装组件(6)均安装于机架(2)，所述动磁场发生组件(3)、抛光盘组件(5)分别与所述第一驱动组件(41)、第二驱动组件(42)连接，所述抛光盘组件(5)位于所述动磁场发生组件(3)上方，所述抛光盘组件(5)内盛有磁流变抛光液(54)，所述工件安装组件(6)可伸入抛光盘组件(5)内，其特征在于，所述动磁场发生组件(3)包括与第一驱动组件(4...
【技术特征摘要】
1.一种磁场动态叠加的磁流变抛光装置，包括机床(1)、设于机床(1)顶部的机架(2)、第一驱动组件(41)、第二驱动组件(42)、动磁场发生组件(3)、工件安装组件(6)和抛光盘组件(5)，所述动磁场发生组件(3)、抛光盘组件(5)和工件安装组件(6)均安装于机架(2)，所述动磁场发生组件(3)、抛光盘组件(5)分别与所述第一驱动组件(41)、第二驱动组件(42)连接，所述抛光盘组件(5)位于所述动磁场发生组件(3)上方，所述抛光盘组件(5)内盛有磁流变抛光液(54)，所述工件安装组件(6)可伸入抛光盘组件(5)内，其特征在于，所述动磁场发生组件(3)包括与第一驱动组件(41)连接的旋转组件(31)、设于旋转组件(31)顶部的斜置磁极(32)和中心磁极(33)，所述斜置磁极(32)为倾斜设置，所述斜置磁极(32)和中心磁极(33)均产生磁场且共同作用于磁流变抛光液(54)。
2.根据权利要求1所述的磁场动态叠加的磁流变抛光装置，其特征在于，所述旋转组件(31)包括行星架(311)和设于行星架(311)顶部的底座(312)，所述行星架(311)顶部固设有支承架(313)，所述斜置磁极(32)倾斜设置于底座(312)顶部，所述中心磁极(33)安装于支承架(313)，所述行星架(311)和底座(312)均与第一驱动组件(41)连接。
3.根据权利要求2所述的磁场动态叠加的磁流变抛光装置，其特征在于，所述动磁场发生组件(3)还包括连接设置的动力轴(34)和齿轮组(35)，所述齿轮组(35)包括中心齿轮(351)、齿轮(353)和固定设于机架(2)的齿轮圈(352)，所述动力轴(34)的一端与第一驱动组件(41)连接，所述动力轴(34)的另一端与中心齿轮(351)连接，所述齿轮(353)与中心齿轮(351)和齿轮圈(352)啮合，所述齿轮(353)连接有与底座(312)连接的连接轴，所述行星架(311)转动连接于动力轴(34)顶部且所述齿轮(353)的连接轴穿过行星架(311)与底座(312)固定连接，中心磁极(33)的中轴线、行星架(311)的中轴线与动力轴(34)的中轴线重合，所述第一驱动组件(41)与动力轴(34)的一端连接。
4.根据权利要求3所述的磁场动态叠加的磁流变抛光装置，其特征在于，所述机架(2)上通过连接件固定连接有外壳(36)，动力轴(34)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁智镔，阎秋生，潘继生，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东;44
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