用于晶体硅切割装置的冷却装置及切割装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于晶体硅切割装置的冷却装置及切割装置，其中，冷却装置包括一槽体、与所述槽体连通的进液管、与所述槽体连通的出液结构，所述出液结构包括连通槽体的导流段、连接导流段且水平延伸的排液段，在液体的排出方向上，所述排液段内部的纵向尺寸逐渐减小。通过上述装置可有效增加冷却液的喷射距离，使得冷却液被带入到大尺寸硅棒的中部，对切割区域进行有效降温，同时将切割过程中产生的硅粉冲刷出来；另外，本实用新型专利技术提供的切割装置匹配冷却装置实现大尺寸硅棒在切割过程中的降温和冲刷硅粉的需求，此装置可有效提升硅片产品的良品率。

【技术实现步骤摘要】
用于晶体硅切割装置的冷却装置及切割装置
本技术涉及晶体硅切片生产设备领域，尤其涉及一种用于晶体硅切割装置的冷却装置及切割设备。
技术介绍
近年来，因金刚线切割技术具有经济环保、切割效率高、所切割的硅片在后续电池工艺制作中碎片率低等优点，受到光伏行业的广泛重视。但是，金刚线切割晶体硅的加工速度快，切割过程中产生的热量较多，若热量不能及时被带走，硅片容易出现翘曲、电镀金刚线发生断线等异常。而且切割过程中产生的硅粉也需要及时地从切割锯缝中带出，否则硅片容易产生线痕和TTV等质量问题。因此，金刚线切割硅棒过程中的冷却作用显得尤为重要。通常，硅片加工过程中将冷却水浇到切割线表面，通过切割线的高速运动把冷却水带入到硅棒的切割锯缝中，从而起到冷却金钢线和硅棒以及带出硅粉的目的。然而，随着晶体硅大尺寸化的推进和金刚线线径的逐渐降低，目前的硅片加工冷却方式已经满足不了切割需求。切割过程中，金钢线很难把冷却水带入到硅棒中部，导致硅棒中心区域的冷却效果不佳；而且，随着切割通道内硅粉的聚集，电镀线表面的金刚石逐渐被硅粉包裹，相邻硅棒中心的锯缝中的硅粉很本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶体硅切割装置的冷却装置，包括一槽体、与所述槽体连通的进液管，其特征在于：还包括与所述槽体连通的出液结构，所述出液结构包括连通槽体的导流段、连接导流段且水平延伸的排液段，在液体的排出方向上，所述排液段内部的纵向尺寸逐渐减小。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶体硅切割装置的冷却装置，包括一槽体、与所述槽体连通的进液管，其特征在于：还包括与所述槽体连通的出液结构，所述出液结构包括连通槽体的导流段、连接导流段且水平延伸的排液段，在液体的排出方向上，所述排液段内部的纵向尺寸逐渐减小。


2.如权利要求1所述的用于晶体硅切割装置的冷却装置，其特征在于：所述排液段的末端具有出液口，所述出液口的内部纵向尺寸为1mm至3mm。


3.如权利要求1所述的用于晶体硅切割装置的冷却装置，其特征在于：所述导流段在槽体与排液段之间向下倾斜延伸，且导流段与水平面之间的夹角为45°至70°之间。


4.如权利要求1所述的用于晶体硅切割装置的冷却装置，其特征在于：所述导流段具有与所述槽体连接的导流口，在纵向方向上，所述导流口高于所述槽体底端设置。


5.如权利要求2所述的用于晶体硅切割装置的冷却装置，其特征在于：所述出液结构具有形成出液腔的壳体，所述冷却装置还包括设置在壳体外侧的接液板，所述接液板延伸至所述排液段的出液口上方。


6....

【专利技术属性】
技术研发人员：郭庆红，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，阿特斯光伏电力洛阳有限公司，阿特斯阳光电力集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32