一种基于柔顺机构的压电分流阻尼增强柔性导向机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于柔顺机构的压电分流阻尼增强柔性导向机构，包括菱形位移放大机构和阻尼增强导向机构，所述菱形位移放大机构内嵌有多层叠堆压电陶瓷，所述阻尼增强导向机构包括两根相互对称设置的导向梁，所述菱形位移放大机构的一端固定，其另一端分别与两根导向梁的一端相连，两根导向梁的另一端固定，所述导向梁的表面一及表面二分别粘贴至少一片压电陶瓷片，表面一及表面二为相对面。本实用新型专利技术减少了自由层阻尼或约束层阻尼所引起的系统非共振区能量的损耗，从而保证了压电驱动柔顺机构的运动敏捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种基于柔顺机构的压电分流阻尼增强柔性导向机构
本技术涉及自动控制领域，具体涉及一种基于柔顺机构的压电分流阻尼增强柔性导向机构。
技术介绍
随着集成电路技术的快速发展，尤其是5G芯片需求的到来，芯片制造工艺越来越受关注。光刻机是芯片制造工艺不可或缺的关键精密设备，其纳米精密定位的核心在于纳米精密定位平台。而柔顺机构是纳米精密定位平台的核心构件，其基于压电驱动的动力学特性会直接限制平台的运动控制带宽。因为由控制理论可知，二阶动力学模型的最大控制带宽小于固有频率与阻尼比的乘积的两倍，且压电驱动柔顺机构的最大带宽通常不超过其一阶固有频率的2％(柔顺机构的阻尼比一般为0.01量级)。而基于柔顺机构的纳米精密定位平台，其末端平台常常采用柔性导向机构，以保证纳米精密定位平台的运动定位精度与输出方向性。因此，通常将导向机构的导向刚度设计足够大同时也将导向机构的质量设计足够小，即尽可能以更大的低阶固有频率来保证柔性导向机构的导向运动控制带宽。但是基于压电驱动柔顺机构的多层叠堆压电陶瓷的驱动能力有限以及刚度/输出位移关系的矛盾等限制了该设计思想的推广应用。显然，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于柔顺机构的压电分流阻尼增强柔性导向机构，其特征在于，包括，菱形位移放大机构和阻尼增强导向机构，所述菱形位移放大机构内嵌有多层叠堆压电陶瓷，所述阻尼增强导向机构包括两根相互对称设置的导向梁，所述菱形位移放大机构的一端固定，其另一端分别与两根导向梁的一端相连，两根导向梁的另一端固定，所述导向梁的表面一及表面二分别粘贴至少一片压电陶瓷片，表面一及表面二为相对面。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于柔顺机构的压电分流阻尼增强柔性导向机构，其特征在于，包括，菱形位移放大机构和阻尼增强导向机构，所述菱形位移放大机构内嵌有多层叠堆压电陶瓷，所述阻尼增强导向机构包括两根相互对称设置的导向梁，所述菱形位移放大机构的一端固定，其另一端分别与两根导向梁的一端相连，两根导向梁的另一端固定，所述导向梁的表面一及表面二分别粘贴至少一片压电陶瓷片，表面一及表面二为相对面。


2.根据权利要求1所述的压电分流阻尼增强柔性导向机构，其特征在于，所述多层叠堆压电陶瓷是由多片压电...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈忠，钟喜能，石俊杰，张宪民，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：新型
国别省市：广东;44