一种用于曝光光源的控制系统技术方案

技术编号:29001586 阅读:17 留言:0更新日期:2021-06-23 10:14
本实用新型专利技术公开了一种用于曝光光源的控制系统,包括光源模块、多路控制模块、主控板、数模转换模块和前端面板;所述光源模块包括至少一个灯板及安装于所述灯板上的至少一个灯体单元;所述灯板上设有与各个所述灯体单元电连接的温度传感器;所述灯体单元包括呈矩阵式分布的多个LED灯珠;所述多路控制模块与所述灯板对应设置,每个所述多路控制模块上设有与所述灯体单元对应电连接的单元控制通道;所述主控板与所述多路控制模块电连接;所述数模转换模块与所述主控板电连接;所述前端面板与所述数模转换模块电连接;通过采用多通道智能恒流控制的方式对光源模块进行控制,能够有效监控以及控制光源,不需深入设备内部进行检测,调节便捷。

【技术实现步骤摘要】
一种用于曝光光源的控制系统
本技术涉及光学
,特别涉及一种用于曝光光源的控制系统。
技术介绍
紫外曝光机,也称光刻机、曝光系统、光刻系统等,是印刷线路板(PCB)制作工艺中的重要设备。随着大规模集成电路器件集成度的提高,光刻工作分辨力要求愈来愈高,而除了要求曝光机的整体机构系统精度必须保证外,对曝光系统的曝光光源的控制便捷性和工作稳定性的要求就越来越高。由于紫外光源工作时所发出的光,对人体具有光辐射的伤害,因此曝光光源都是安装于设备的内部纵深位置,操作人员难以触摸和操作。相应的控制系统也会选择性的镶嵌于光源系统的主体内部或设备的特定控制区域,导致了该系统在工作时无法直接接触使用和操作;并且现有采用大面积阵列式排布光源的曝光光源,大多只有简单的单片机控制开关或者触发控制,缺少对光源在工作过程中的有效监控以及控制,缺少对产品的自我检测补偿能力,缺少了对产品的智能化和人性化的考量等缺陷。因此,需要改进。
技术实现思路
本技术的目的就在于提供一种用于曝光光源的控制系统,以解决上述问题。本技术通过以下技术方案来实现上述目的:一种用于曝光光源的控制系统,包括光源模块、多路控制模块、主控板、数模转换模块和前端面板;所述光源模块包括至少一个灯板及安装于所述灯板上的至少一个灯体单元;所述灯板上设有与各个所述灯体单元电连接的温度传感器;所述灯体单元包括呈矩阵式分布的多个LED灯珠;所述多路控制模块与所述灯板对应设置,每个所述多路控制模块上设有与所述灯体单元对应电连接的单元控制通道;所述主控板与所述多路控制模块电连接;所述数模转换模块与所述主控板电连接;所述前端面板与所述数模转换模块电连接。进一步地,还包括电源输入模块;所述电源输入模块用于供电,其所述多路控制模块、所述主控板和所述数模转换模块设置于一水冷散热板的正面;所述光源模块设置于所述水冷散热板的反面。进一步地,所述电源输入模块通过安装支架设置于所述水冷散热板上;所述多路控制模块、所述主控板、所述数模转换模块和所述光源模块通过螺丝固定于所述水冷散热板上,并与该水冷散热板之间涂有导热介质材料。进一步地,所述前端面板上设有分别与所述数模转换模块电连接的液晶显示器、按键模块、冷水机接口、电源输入端口、使能端口、冷水机端口、状态输出端口、报警输出端口、通讯端口、烧录端口、钥匙钥匙开关和电源开关按。进一步地,所述LED灯珠采用多波段紫外LED灯珠。本技术的有益效果在于,有效监控及控制光源,调节便捷;本技术设有光源模块、多路控制模块、主控板、数模转换模块、电源输入模块和前端面板,通过采用多通道智能恒流控制的方式对光源模块进行控制,每个多路控制模块上设有与灯体单元对应电连接的单元控制通道;单元控制通道通过连接负载端子与灯体单元对应电连接,多个多路控制模块通过主控板进行集中控制处理,并通过数模转换模块和前端面板将数据转出至上位机,操作人员能够轻松得知目前的运行状态,且能通过上位机或触摸屏对参数进行调整修改,能够有效监控以及控制光源,不需深入设备内部进行检测,调节便捷。附图说明图1为本技术的正面结构示意图;图2为本技术的反面结构示意图;图3为本技术的灯板的结构示意图;图4为本技术的多路控制模块的结构示意图;图5为本技术的前端面板的结构示意图;图6为本技术的连接框图示意图。10、光源模块;11、灯板;12、灯体单元;13、LED灯珠;20、多路控制模块;21、单元控制通道;22、连接负载端子;30、主控板;40、数模转换模块;50、电源输入模块;60、前端面板;61、液晶显示器;62、按键模块;63、冷水机接口;64、电源输入端口;65、状态输出端口;66、报警输出端口;67、烧录端口;68、钥匙开关;69、电源开关按钮;70、水冷散热板。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。需说明的是,本技术附图均采用简化的形式并均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。如图1~图6所示,一种用于曝光光源的控制系统,包括光源模块10、多路控制模块20、主控板30、数模转换模块40、电源输入模块50和前端面板60;所述光源模块10包括至少一个灯板11及安装于所述灯板11上的至少一个灯体单元12;所述灯板11上设有与各个所述灯体单元12电连接的温度传感器;所述灯体单元12包括呈矩阵式分布的多个LED灯珠13;所述LED灯珠13采用多波段紫外LED灯珠13;所述多路控制模块20与所述灯板11对应设置,每个所述多路控制模块20上设有与所述灯体单元12对应电连接的单元控制通道21;所述单元控制通道21通过连接负载端子22与所述灯体单元12对应电连接;所述主控板30与所述多路控制模块20电连接;所述数模转换模块40与所述主控板30电连接;所述电源输入模块50用于供电,其与所述多路控制模块20、所述主控板30和所述数模转换模块40设置于一水冷散热板70的正面;所述光源模块10设置于所述水冷散热板70的反面;所述电源输入模块50通过安装支架设置于所述水冷散热板70上;所述多路控制模块20、所述主控板30、所述数模转换模块40和所述光源模块10通过螺丝固定于所述水冷散热板70上,并与该水冷散热板70之间涂有导热介质材料;所述前端面板60与所述数模转换模块40电连接,其上设有液晶显示器61、按键模块62、冷水机接口63、电源输入端口64、状态输出端口65、报警输出端口66、烧录端口67、钥匙开关68和电源开关按钮69;所述液晶显示器61,用于显示系统控制的具体细节以及相关信息的反馈显示;所述按键模块62,用于控制操作相关功能,以及在液晶显示器61上进行交互显示;所述冷水机接口63,用于使得水冷散热板70与外界冷水机连接;所述电源输入端口64,用于与电源输入模块50通电;所述状态输出端口65,与上位机相接,用于输出该系统的运行状态或所处状态;所述报警输出端口66,用于输出报警信息,如出现报警,该端口会发送信号至上位机,蜂鸣器会蜂鸣提醒,并暂时所有工作状态,直至该状态解除;所述烧录端口67,用于对系统内部的相关程序或参数进行升级;所述钥匙开关68,用于提供锁定开关功能;所述电源开关按钮69,用于开启关闭系统。工作原理:本技术设有光源模块10、多路控制模块20、主控板30、数模转换模块40、电源输入模块50和前端面板60,通过采用多通道智能恒流控制的方式对光源模块10进行控制,每个多路控制模块20上设有与灯体单元12对应电连接的单元控制通道21;单元控制通道21通过连接负载端子22与灯体单元12对应电连接,多个多路控制模块20通过主控板30进行集中控制处理,并通过数模转换模块40和前端面板60将数据转出至上位机,操作人员能够轻松得知目前的运行状态,且能通过上位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于曝光光源的控制系统,其特征在于:光源模块、多路控制模块、主控板、数模转换模块和前端面板;所述光源模块包括至少一个灯板及安装于所述灯板上的至少一个灯体单元;所述灯板上设有与各个所述灯体单元电连接的温度传感器;所述灯体单元包括呈矩阵式分布的多个LED灯珠;所述多路控制模块与所述灯板对应设置,每个所述多路控制模块上设有与所述灯体单元对应电连接的单元控制通道;所述主控板与所述多路控制模块电连接;所述数模转换模块与所述主控板电连接;所述前端面板与所述数模转换模块电连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于曝光光源的控制系统,其特征在于:光源模块、多路控制模块、主控板、数模转换模块和前端面板;所述光源模块包括至少一个灯板及安装于所述灯板上的至少一个灯体单元;所述灯板上设有与各个所述灯体单元电连接的温度传感器;所述灯体单元包括呈矩阵式分布的多个LED灯珠;所述多路控制模块与所述灯板对应设置,每个所述多路控制模块上设有与所述灯体单元对应电连接的单元控制通道;所述主控板与所述多路控制模块电连接;所述数模转换模块与所述主控板电连接;所述前端面板与所述数模转换模块电连接。


2.根据权利要求1所述的一种用于曝光光源的控制系统,其特征在于:还包括电源输入模块;所述电源输入模块用于供电,其所述多路控制模块、所述主控板和所述数模转换模块设置于一水冷散热板的正面;所述光源模块设置于...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡存银吴志雄
申请(专利权)人:东莞康耐德智能控制有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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