本实用新型专利技术提供了一种旋转接头和一种硅片处理装置，旋转接头包括：轴承座，轴承座内设置有轴孔和进液腔，轴孔和进液腔相连通，轴孔的孔壁上设置有密封槽；转轴，设置于轴孔中，转轴内设置有通道，通道与进液腔相连通；密封件，位于密封槽内，密封件包括：耐磨圈，套设于转轴上；密封圈，套设于耐磨圈上。通过设置耐磨圈可以借助耐磨圈所具备的耐磨特性降低密封件在工作过程中的磨损量。避免出现因频繁转动的转轴磨损密封件所引起的液体泄漏现象。并且耐磨圈结构可以显著提升密封件的使用寿命，削减旋转结构的维护成本，提升产品的整体使用寿命。进而实现优化旋转接头结构，提升旋转接头密封可靠性，延长旋转接头使用寿命的技术效果。
【技术实现步骤摘要】
旋转接头和硅片处理装置
本技术涉及流体输送
，具体而言，涉及一种旋转接头和一种硅片处理装置。
技术介绍
旋转接头的应用领域十分广泛，几乎覆盖各行各业，如机床、冶金、塑料、发电、食品加工等行业，主要通的流体介质液是一些切削液，流体介质本身对旋转接头没有腐蚀性。但有很多需要用到化学药品的行业，如光伏和半导体行业，其输送流体介质的接头、管道有着严格的洁净度要求，且用的流体介质大多是有腐蚀性的化学药品，致使接头被化学药品腐蚀发生泄漏，并且当前密封结构在接头转轴频繁转动的情况下极易发生磨损，同样导致了药液的泄漏，如果发生泄漏则会产生严重的后果。因此，如何设计出一种可有效抵抗转动摩擦和药液腐蚀的旋转接头成为了亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的第一方面提出一种旋转接头。本技术的第二方面提出一种硅片处理装置。有鉴于此，本技术的第一方面提供了一种旋转接头，旋转接头包括：轴承座，轴承座内设置有轴孔和进液腔，轴孔和进液腔相连通，轴孔的孔壁上设置有密封槽；转轴，设置于轴孔中，转轴内设置有通道，通道与进液腔相连通；密封件，位于密封槽内，密封件包括：耐磨圈，套设于转轴上；密封圈，套设于耐磨圈上。在该技术方案中，限定了一种旋转接头，旋转接头包括轴承座、转轴和密封件，其中密封件包括耐磨圈和密封圈。轴承座为旋转接头的主体框架结构，旋转接头上的其他结构定位安装在轴承座上，轴承座内设置有相连通的进液腔和轴孔，轴孔用于定位安装轴承座，且转轴内开设有通道，需要传输的液体进入进液体腔体后流入转轴的通道中。轴孔的孔壁上设置有密封槽，用于定位安装密封件，密封件密封转轴和轴孔之间的缝隙，避免液体由该缝隙泄漏。在此基础上，密封件由密封圈和耐磨圈组成，耐磨圈套设在转轴上，密封圈套设在耐磨圈上，以使耐磨圈在密封圈和转轴之间，其中密封圈封堵密封槽，防止液体流过密封槽，耐磨圈与转动的转轴接触配合。通过设置耐磨圈可以借助耐磨圈所具备的耐磨特性降低密封件在工作过程中的磨损量。避免出现因频繁转动的转轴磨损密封件所引起的液体泄漏现象。并且通过设置耐磨圈结构可以显著提升密封件的使用寿命，削减旋转结构的维护成本，提升产品的整体使用寿命。进而实现优化旋转接头结构，提升旋转接头密封可靠性，延长旋转接头使用寿命，提升用户使用体验的技术效果。另外，本技术提供的上述旋转接头还可以具有如下附加技术特征：在上述技术方案中，优选地，耐磨圈为聚四氟乙烯耐磨圈，密封圈为氟橡胶密封圈。在该技术方案中，对耐磨圈和密封圈的材质做出了具体限定。其中耐磨圈为聚四氟乙烯耐磨圈，密封圈为氟橡胶密封圈。聚四氟乙烯具有优良的耐磨性和抗腐蚀性，通过选取聚四氟乙烯制备耐磨圈可以从材质上提升耐磨圈的耐磨性和抗腐蚀性，避免耐磨圈因磨损和腐蚀丧失密封效果。氟橡胶具备优良的抗腐蚀性，通过选取氟橡胶制备密封圈可以从材质上提升密封圈的抗腐蚀性，避免密封圈因腐蚀丧失密封效果，并且，氟橡胶具备优良的弹性，可以有效填充转轴和轴承座之间的缝隙。进而实现优化密封件结构，提升密封件耐磨性和抗腐蚀性，强化密封件密封可靠性的技术效果。在上述任一技术方案中，优选地，耐磨圈的外周侧面上设置有定位槽，密封圈嵌设于定位槽中。在该技术方案中，对耐磨圈和密封圈之间的配合关系做出了具体限定。耐磨圈的内周侧面与转轴相接触，外周侧面上设置有凹槽形状的定位槽，该定位槽的形状与密封圈的形状相适配，装配过程中将密封圈嵌入至定位槽内，以完成密封件的装配。通过设置定位槽可以提升耐磨圈和密封圈的结构稳定性，避免密封圈在工作过程中相对耐磨圈错位甚至脱落。进而实现优化密封件结构，提升密封件密封可靠性的技术效果。在上述任一技术方案中，优选地，转轴的周侧面上设置有第一进液口，第一进液口与通道相连通；转轴的端面上设置有出液口，出液口与通道相连通；其中，第一进液口为多个，多个第一进液口均匀分布在以转轴轴线为轴的同一个分度圆上。在该技术方案中，对转轴的结构做出了具体限定。转轴上开设有第一进液口和出液口，第一进液口开设在转轴的周侧面上，与通道相连通。出液口开设在转轴的端面上，与通道相连通。工作过程中，液体从进液腔经由转轴侧边的第一进液孔流入通道，其后经由转轴端部的出液口流出通道。从而使转轴内部的通道可传输液体。具体地，第一进液口为多个，多个第一进液口均匀分布在以转轴为轴线的同一个分度圆上，通过在转轴的周侧面均匀开设多个第一进液口，一方面可以提升通道的液体传输效率，另一方面可以通过均分分布的第一进液口避免液体在通道内出现紊乱现象，防止排出的液体出现湍流和紊流。进而实现优化转轴结构，提升转轴输送液体的实用性与可靠性，提升用户使用体验的技术效果。在上述任一技术方案中，优选地，轴孔为通孔，转轴穿设在轴孔中；进液腔环绕轴孔设置；密封槽为多个，在轴孔的轴线方向上，进液腔位于多个密封槽之间。在该技术方案中，限定了一种轴承座结构，该结构中，轴孔为通孔，完成转轴的装配后，转轴穿设在轴孔中，转轴的两端穿出轴承座。其中进液腔环绕轴孔设置，完成装配后转轴侧面上的第一进液口与进液腔相对，便于液体经由进液腔流入转轴内部的通孔中。在此基础上，由第一进液口至转轴的两个端面的方向上均设置有密封槽和密封件，通过在进液腔的两侧设置用于定位安装密封件的密封槽，可以有效避免液体由轴承座和转轴之间的缝隙泄漏。进而实现提升旋转接头密封可靠性的技术效果。具体地，在进液腔的单侧方向上可设置多个密封槽，优选两个密封槽，两个密封槽之间间隔设置，通过在进液腔的单侧方向上设置两个密封槽，实现了旋转接头的双重密封，进一步提升旋转接头的密封可靠性。在上述任一技术方案中，优选地，轴承座的周侧面上设置有第一流体入口，第一流体入口与进液腔相连通；轴承座上设置有环绕通孔设置的第一定位槽和第二定位槽，第一定位槽和第二定位槽分别设置在轴承座的两个端面上；旋转接头还包括：第一轴承，设置于第一定位槽内；第一端盖，与轴承座相连接，第一轴承与第一定位槽和第一端盖相抵接；第二轴承，设置于第二定位槽内；第二端盖，与轴承座相连接，第二轴承与第二定位槽和第二端盖相抵接，转轴穿过第二端盖。在该技术方案中，承接上一技术方案，进一步限定了该结构下旋转接头的结构。轴承座的周侧面上设置有第一流体入口，第一流体入口与进液腔相连通，工作过程中液体从第一流体入口流入旋转接头内部，由转轴上的出液口排出旋转接头。旋转接头上还设置有第一轴承和第二轴承，在通孔的两个端面上开设有第一定位槽和第二定位槽，第一定位槽和第二定位槽环绕轴孔设置，第一轴承套设在转轴的一端上，且定位安装在第一定位槽内，第二轴承套设在转轴的另一端上，且定位安装在第二定位槽内。通过设置第一定位槽和第二定位槽可以将第一轴承和第二轴承精准定位在轴承座上，防止第一和轴承和第二轴承在工作过程中窜动，并且通过精准定位第一轴承和第二轴承还可实现转轴的精准定位。在此基础上旋转接头还设置有第一端盖和第二端盖，第本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种旋转接头，其特征在于，包括：/n轴承座，所述轴承座内设置有轴孔和进液腔，所述轴孔和所述进液腔相连通，所述轴孔的孔壁上设置有密封槽；/n转轴，设置于所述轴孔中，所述转轴内设置有通道，所述通道与所述进液腔相连通；/n密封件，位于所述密封槽内，所述密封件包括：/n耐磨圈，套设于所述转轴上；/n密封圈，套设于所述耐磨圈上。/n
【技术特征摘要】
1.一种旋转接头，其特征在于，包括：
轴承座，所述轴承座内设置有轴孔和进液腔，所述轴孔和所述进液腔相连通，所述轴孔的孔壁上设置有密封槽；
转轴，设置于所述轴孔中，所述转轴内设置有通道，所述通道与所述进液腔相连通；
密封件，位于所述密封槽内，所述密封件包括：
耐磨圈，套设于所述转轴上；
密封圈，套设于所述耐磨圈上。
2.根据权利要求1所述的旋转接头，其特征在于，所述耐磨圈为聚四氟乙烯耐磨圈，所述密封圈为氟橡胶密封圈。
3.根据权利要求1所述的旋转接头，其特征在于，所述耐磨圈的外周侧面上设置有定位槽，所述密封圈嵌设于所述定位槽中。
4.根据权利要求1所述的旋转接头，其特征在于，所述转轴的周侧面上设置有第一进液口，所述第一进液口与所述通道相连通；
所述转轴的端面上设置有出液口，所述出液口与所述通道相连通；
其中，所述第一进液口为多个，多个所述第一进液口均匀分布在以所述转轴轴线为轴的同一个分度圆上。
5.根据权利要求4所述的旋转接头，其特征在于，所述轴孔为通孔，所述转轴穿设在所述轴孔中；
所述进液腔环绕所述轴孔设置；
所述密封槽为多个，在所述轴孔的轴线方向上，所述进液腔位于多个所述密封槽之间。
6.根据权利要求5所述的旋转接头，其特征在于，所述轴承座的周侧面上设置有第一流体入口，所述第一流体入口与所述进液腔相连通；
所述轴承座上设置有环绕所述通孔设置的第一定位槽和第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽分别设置在所述轴承座的两个端面上；
所述旋转接头还包括：
第一轴承，设置于所述第一定位槽内；
第一端盖，...
【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，成旭，邱瑞，谈丽文，李雄朋，任金枝，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。